品牌: | SNU | 型号: | SIS 2000 | 操作方式: | 自动 |
功能: | 检测、观察、分析 | 精度 : | 1nm | ||
其它型号: | SIS 1200 |
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德国BMT WLIRing 干涉仪 |
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德国BMT WLIRing 干涉仪 该测量系统用于快速准确测量圆柱形工件的表面形貌,计算粗糙度参数,微型结构,及内外部表面特征。 特点 l 对内外层都可进行测量 l 光滑粗糙表面都可进行测量 l 测量结果不受工件的颜色和材料影响 l 数秒内进行快速测量 l 用于在线测量的OEM测量头 l 光源:LED l 垂直分辨率(nm):<1 l 水平分辨率(μm):≥1 l 焦距,大约(mm):1 l 测量区域的尺寸:由物体决定 l 图像尺寸(Pixel):1000×1000 移动平台 l Z轴(mm):10~50 l 步进速度(μm/min):1 |
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SJ6000采用高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、 几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(5~10 分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,采用不同的光学镜组与激光配合,得到不同的干涉信号,然后通过高精度激光 干涉信号处理系统得到干涉数据,将数据通过计算机进行显示和动态分析。
使用时,操作者先按照设计的几何光路安装相配合的镜组,几何光路是以迈克尔逊型激光干涉仪原理为基础设计的,下图是迈克尔逊干涉仪的基本原理图:
迈克尔逊干涉仪的原理是一束入射光分为两束后各自被对应的平面镜反射回来,这两束光从而能 够发生干涉。干涉中两束光的不同光程可以通过调整干涉臂长度以及改变介质的折射率来实现,从而形成不同的干涉图样。干涉条纹是等光程差点的轨迹,因此,要 分析某种干涉产生的图样,必求出相干光的光程差位置分布函数。
搭建好几何光路后,在检定软件上设定测量的开始、结束位置,点击“开始”按钮,软件界面会实时显示测量所得动态数据;扫描结束后,操作者可通过对测量所得 数据曲线进行分析,得到如长度、角度、直线度、垂直度、平面度等参数。并根据系统内置的检测标准对被测件的各项参数进行合格判定,检测结束后自动生成检定 结果。
二、特点优势 三、技术参数1 | 线性测长距离 | 40m |
2 | 线性测长精度 | ±(0.02+0.5L)um |
3 | 激光稳频精度 | 0.05ppm |
4 | 分辨率 | 0.001um |
5 | *大测量速度 | 4.0m/S |
6 | 动态采集频率 | 50KHZ |
7 | 预热时间 | 5~10分钟 |
8 | 环境补偿精度 | 空气压力:±1.0mBar, 空气湿度:±6%, 材料温度:±0.1℃ |
9 | 基本重量(含三脚架,包装) | 15Kg |
实验内容:
1、调整两个反射镜之间的相对位置,使之平行,形成F-P干涉仪。
2、观察激光在F-P干涉仪中的多光束干涉现象,了解F-P干涉仪的工作原理和理论。
3、改变腔长,测量计算干涉仪的特征参数。用压电陶瓷微调两个反射镜的间距,观察其对透射光波长的扫描特性,了解F-P扫描干涉仪的工作原理。观察激光器的频率特性,测量激光器的特征参数。
光学精密机械 >> 干涉仪 >> 曲率半径测量干涉仪︱干涉仪 | ||||||||||||||||||
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产 品 说 明 | ||||||||||||||||||
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产品 >> 光学精密机械 >> 干涉仪 | 共有 18 个产品 | |
产品简介 |
随着精密机械零件的要求在继续增加,Agilent 5529A动态校准系统能帮助机床用户获得成功。Agilent 5529A为机床制造商和用户提供测量机床定位和精度的基本部件;用经补偿的数据校准机床的定位误差;诊断几何形状问题;以及符合7种国际标准的机床性能文档。 您可用Agilent 5529A选择全套校准部件,包括激光源、校准器和材料补偿板、材料和空气传感器、光纤套件、电缆和附件。您也可选择3种预配置系统(不包括光纤)。 Agilent 5529B基本系统:包括激光源、校准器和材料补偿板、材料和空气传感器、电缆和附件。 Agilent 5529V Vectra系统:包括校准器和材料补偿板、HP Vectra PC和super VGA显示。 Agilent 5529U升级系统:包括校准器和材料补偿板、适配器电缆,您能从Agilent 5528A升级到Agilent 5529A。 |
特性: |
l 专利Agilent激光管设计,性MTBF大于 50,000 小时 l 用户友好的Windows软件 l 文档使用8种语言:英语、法语、德语、意大利语、日语、西班牙语,以及简体和繁体汉语 l 符合7种国际标准: NMTBA, BDI/DGQ 3441, ANSI B5.54, BSI 3800, ESO 230-2, JIS, 和 GB 10931-89 l 在线帮助 如果需要详细的资料请发Email:xie_feng79@163.com |