白光干涉仪AE-100M/万濠白光干涉仪

白光干涉仪AE-100M/万濠白光干涉仪产用途：结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用域包含：玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光碟/影碟、精密微机电元件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、IC封装、材料分析与微表面研究等。

产特点:● 纳米深度3D检测● 高速、无接触量● 表面形状、粗糙度分析● 非透明、透明材质皆适用● 非电子束、非雷射的安全量测● 低维护成本 

的3D图形处理与分析软体（Post Topo）：● 提供3D图形处理与分析● 提供自动表面平整化处理功能● 提供高阶标准片的软件自校功能● 深度、高度分析功能提供线性分析与区域分析等两种方式● 线性分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Roughness）与起伏度● （waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据（Wafer）● 区域分析方式提供图形分析与统计分析● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出 

高速精密的干涉解析软件(ImgScan)：● 系统硬件搭配ImgScan处理软件自动解析白光干涉条纹● 垂直高度可达0.1nm● 高速的分析算法则，让你不在苦候测量结果● 垂直扫描范围的设定轻松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择● 平台X、Y、Z位置数字式显示，使检测目标寻找快速又便利● 具有手动/自动光强度调整功能以取得佳的干涉条纹对比● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择● 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌● 具有自动补点功能● 可自行设定扫描方向技术规格参数：

型号 AE-100M
移动台(mm) 平台尺寸100*100 ，行程13*13
物镜放大倍率 10X 20X 50X
观察与量测范围(mm) 0.43*0.32 0.21*0.16 0.088*0.066
光学分辨力(μm) 0.92 0.69 0.5
收光角度(Degrees) 17 23 33
工作距离 7.4 4.7 3.4
传感器分辨率 640*480像素
机台重量(kg)/载重kg 20kg/小于1kg
Z轴移动范围 45mm , 手动细调
Z轴位置数字显示器 分辨力1μm
倾斜调整平台 双轴/手动调整
高度测量
测量范围 100(μm)(400μm ,选配)
量测分辨力 0.1nm
重复精度 ≤ 0.1％ (量测高度:>10μm)
≤10nm(量测高度1μm 10μm)
≤ 5nm(量测高度:<1μm )
量测控制 自动
扫描速度(μm/s) 12(高)
光源
光源类型 仪器用卤素（冷）光源
平均使用寿   1000小时100W 500小时（150W）
光强度调整 自动/手动
数据处理与显示用计算机
中央处理运算屏幕 双核心以上CPU
影像与数据显示屏幕 17 " 双晶屏幕
操作系统 Windows XP(2)
电源与环境要求 AC100 －－240 V 50-60Hz
环境振动 VC-C等以上
测量分析软件
量测软件ImgScan ImgScan测量软件：具VSI/ PVSI/PSI 测量模式（PSI量测模式需另选配PSI模块搭配）
分析软件PosTopo ISO 粗燥度/阶高分析，快速传利叶转换和滤波，多样的2D和3D 观测视角图，外形/面积/体积分析，图像缩放、标准影像文件格式转换 报表输出，程序教导测量等。

该公司产品分类： 干燥机 静点测试仪 张力计 玛芝哈克 韩国DONG-DO 亮度计 光泽度仪 大理石 扭力起子 插规，深度规 蔚仪试验仪器 宝禾密仪器系列 意大利GIVIMISURE 显微镜 瑞士杰恩尔 常州首丰影像仪 各式千/百分表测头 其他仪器仪表 污点规，点卡，对比测量 推拉力测试仪器

ML10 Gold激光干涉仪

仪器介绍     ML10 Gold 高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准 用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及的光电子技术，使ML10 Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更的任选功能。 ML10 Gold 激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件。 ML10 Gold 激光测量系统所有功能都设计与Laser 10 软件配合使用。除了测 量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测 量和电子水平仪及千分表程序接口模块。 该激光干涉仪系统由激光头ML10 Gold、环境监测补偿器EC10，计算机接口卡 PC10* 或PCM20* 及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内， 一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携 性。 该激光干涉仪系统通过接口与IBM 兼容的PC 机（包括笔记本计算机）连接， 在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误 差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如ISO230-2、JIS-B6330、 VDI3441、VDI2617、ASME B89等并适用中国国家标准GB17421-2000等，以便于按 不同标准进行机床精度的评定和比较。 技术参数     1.线性测量分辨率: 0.001μm2.线性测量范围： 40m（或任选80m）3.线性测量精度: ±0.7ppm4.测量速度： 60m/min5.稳频精度： ±0.05ppm  

F601激光干涉仪日本富士F601专业维修

该公司产品分类： 仪器维修 仪器维修 执行器 保护板 调速板 接口转换板 测速传感器 继电器 光学仪器 AVR励磁控制调压器 光学仪器 仪器销售

CCI6000英国原装进口Talysurf CCI系列白光干涉仪表面轮廓仪

Talysurf CCI 6000白光干涉仪 随着科技潮流,非接触式的量测至今已被广泛的应用在生产及研发上，而Taylor Hobson经多年的研发于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉仪可堪称目前世界上精度最高功能最强的白光干涉仪，,其超高解析度的特性（0.1Å），可以运用在量测晶圆 ，微机电及抛光元件等产品的粗糙度 平面度 及膜厚分析等，而非破坏性的特性更可以有效的量测软性物质，在迈入奈米纪元同时相信Talysurf CCI 6000绝对是各大企业不可少的量测系统。 Talysurf CCI 6000白光干涉仪： &解析度（Z轴） 0.01nm （0.1Å） &测量范围（Z轴） 100um &测量范围（X x Y） 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm（依物镜倍率不同可自由选择） &1024 x 1024 高解析量测点数 &受测物的反射率 0.3% - 100% （透明物亦可量测） 硬件及软件 &气浮式防震系统已隔绝楼板震动‧隔离罩以隔离外在环境避免影响量测精度 &相容于Windows 2000及 Windows XP 系统 CCI干涉仪 Mirau 干涉 白光干涉仪3D分析软件 &Talymap 3D & 2D 分析软体。 &可分析项目: 粗度 平面度 波纹 膜厚 体积计算 承压比值 等等。 &微机电尺寸计算（距离 高度 等计算）‧表面频谱分析（FFT） MEMS Sensor Optics Diamond Turned& Wafer Step Talysurf CCI 6000白光干涉仪应用： &MEMS 微小尺寸计算 &Silicon Wafer 表面粗度 平面度 &非球面镜表面粗糙度 &硬碟 光碟表面组织形状 &OLED PDP LCD 膜厚分析计算  

该公司产品分类： 尼康 卡规、角度尺、水平仪 步距规、 量块、测厚规 测长仪 数码工程打印机 其他各种常用量具 数显表、百分表、杠杆表 卡尺、千分尺、微分头 材料试验机 除锈油 美国施泰力 东京精密 三坐标测量机 涂层测厚仪 镀层测厚仪 测量投影仪、影像测量仪 电子天平、水分测试仪 色差、光泽计 齿轮测量仪 显微镜、内窥镜

MI-5025激光干涉仪

　　　　PG15激光平面干涉仪　　1、工作基于双光束等厚干涉原理。　　2、根据近代光学的研究结果，http://www.tjhuayue.cn 装生产线 BOSCH电磁阀 粉末包装机 调味品包装机 光兼有波动与微粒两重特性。光的干涉现象是光的波动性的特性。　　JDS立式接触式干涉仪　　是一种采用量块或标准零件借以高精度的比较方式的立式精密长度计量仪器。主要用于150mm以下块规，亦可用作高精密度的长度和外径的精密测量，是各级计量室的基本长度计量仪器之一。　　技术参数：　　1、被测件最大长度：150mm　　2、工作台行程：5mm　　3、测杆移动范围：0.5mm　　4、分划板刻度范围：±50格　　5、直接测量范围：5-20μm http://www.heima88.com.cn 数字电桥 数字示波器 直流电子负载 函数信号发生器 含气饮料生产线　6、分度值调整范围：0.05-0.2μm　　7、推荐使用分度值：0.1μm　　8、测量压力：（1.5±0.1）N　　9、仪器示值稳定性：0.02μm http://www.meifukeji.com  粒包装机 茶叶包装机 粉剂包装机 液体包装机 粉末包装机 　10、仪器误差：±（0.03+1.5ni△λ/λ）um　　n是格数,i是格值,λ是滤光片中心波长，△λ是滤光片波长误差　　11、仪器体积：280×500×700mm　　12、仪器重量：40kg高压灭菌器 全自动给袋式包装机 机床防护罩价格 钳工平台 三坐标测量平台 大理石平台 PE膜收缩机 精密增力电动搅拌器 电镜两用电极 栓剂模具 贺德克滤芯 滚齿机 BlueM YPC电磁阀 煤炭检测设备 装载机电子秤

　　

PG15-J透镜中心仪、激光平面干涉仪等各种光学测量仪器

PG15-J型激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。仪器配有激光光源（波长为6328A）。对于干涉条纹可目视、测量读数、照相留存记录。工作时对防震要求一般。该仪器可应用于光学车间、实验室、计量室。如配购相关的必要附件，可精密测量光学平板的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属块规表面的平面度，90o棱角的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。主要技术参数1、标准平面（A面），不镀膜。 工作直径：D1=Φ146mm 不平度小于0.02μm(λ/30)。2、第二标准平面（B面），不镀膜。 工作直径：D2=Φ140mm 不平度小于0.03μm(λ/20)。3、准直系统：孔径F/2.8， 工作直径：D1=Φ146mm 焦距：f=400mm.4、测微目镜：焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X，视场角2w=40o 成像物镜：I、D=4.5 П、D=7 Ш、D=10 f=16 f=23 f=375、干涉室尺寸：深260宽300190mm。6、光源规格：激光ZN18（He-Ne）。7、仪器的外形尺寸：长宽高 350400720mm。8、仪器重量：100公斤。

JDS-1供应立式接触式干涉仪JDS-1

一、产品说明

采用量块或标准零件，以高精度比较方式的立式精密长度计量仪器。主要用于150 mm以下块规，亦可用作高精密度的长度和外径的精密测量，是各级计量室的基本长度计量仪器之一。

二.技术参数

1.被测件最大长度：   150 mm2.工作台行程：         5 mm

3.测杆移动范围：0.5mm

4.分划板刻度范围：±50格5.直接测量范围：5-20μm6.分度值调整范围：     0.05 - 0.2μm7.推荐使用分度值：     0.1μm8.测量压力：           (1.5 ± 0.1) N9.仪器示值稳定性：     0.02μm10.仪器误差：           ±(0.03 + 3n i λ) μm  ( n－格数, i－ 格值,                          λ－滤光片波长误差)11.仪器体积：28＊50＊70cm12.仪器重量：40KG

13.标准配件： 五筋园台；九筋玛瑙台；可调园平台；辅助台；                       平面测帽 Ф2；小球面测帽；干涉滤光片

JC503-marc25系统干涉仪 元件高精度分析仪 元件高精度检测仪

 产品名称:系统干涉仪 元件高精度分析仪 元件高精度检测仪产品型号:JC503-marc25功能： ◆平面面形精度及局部误差测量； ◆球面面形精度及局部误差测量。  特点：      ◆      适用于工厂、研究所和高校等对光学元件的高精度检测。 ◆      采用光、机、电、算结合的系统软件，可打印检测报告。 ◆      性能卓越、操作简便、测试结果直观。 ◆  分立、卧两种类型。 测量方式菲索干涉原理 口径25mm 倍率1-5倍 激光源He-Ne激光器（λ=632.8nm） 分辨率795H*596V 平面测试精度P-V λ/20,RMS λ/100 球面面形精度P-V λ/10,RMS λ/50 电源AC 220V 50HZ 标准配件普通显示器
该公司产品分类： 显微镜系列 复合气体检测仪 可燃气体检测仪/探测仪 甲烷检测仪 有毒气体检测仪 酒精测试仪 垃圾场气体检测 空气质量检测仪 熏蒸气体检测仪 气体检测报警仪 氢气气体检测报 氧气检测仪 测氡仪 干燥箱系列 培养箱系列 振荡器系列 搅拌器系列 水浴锅系列 离心机系列 粉碎机系列

英国雷尼绍ML10 GOLD激光干涉仪

 ML10 Gold 高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准 用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及的光电子技术，使ML10 Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更的任选功能。 ML10 Gold 激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件ML10 Gold是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪,其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理,性能稳定,使用,功能扩展性强,价格适中1.线性测量分辨率: 0.001μm 2.线性测量范围： 40m（或任选80m） 3.线性测量精度: ±0.7ppm 4.测量速度： 60m/min 5.稳频精度： ±0.05ppm

LICS-300激光干涉仪

产品介绍

 

MCV-500H 激光多普勒干涉仪

测量功能、主要技术指标和仪器成套性

1.主要测量功能：直线位移测量

1) 测量数控轴系直线运动的定位精度和重复定位精度。简称数控 机床定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量。又称：线性 测量，直线测量等。

2)测量数控机床的体对角线精度。

 

注：在 MCV-500H 标准配置基础上用户还需选购 LD-37S 万能 折光镜和 LD-58 对角线测量靶标座以后才具有数控机床 的体对角线精度测量功能。

3)测量机械平台、坐标测量机的单轴精度和空间精度。

注：在 MCV-500H 标准配置基础上用户还需选购 LD-37S 万能 折光镜和 LD-58 对角线测量靶标座以后才具有坐标测量 机的空间精度测量功能。

4)作为精密平台的长度基准器。

2.MCV-500H 主要技术指标

 

序技术指标名称标准配置特殊订货

1激光频率稳定性0.02ppm

2位移测量分辨率0.001μ m

3位移测量精度0.2ppm(0.2 μm/m) ※

 MCV-500H 激光多普勒干涉仪测量功能、主要技术指标和成套性 科望技术咨询(上海)有限公司T E L :   第 1  页 共 6 页2015-5-4

 4位移测量距离80m

5最大移动速度5.0m/秒

6工作环境温度5  ～38℃

7工作环境海拔高度0～3000m

8工作环境相对湿度0～95%

9空气温度传感器精度±0.1℃

10材料温度传感器精度±0.1℃

11空气压力传感器精度±1.1mmHg

13电源电压90～265VAC

14电源频率50～60 赫

※  此精度是在标准大气环境中不使用材料温度传感器自动温度修正(ATC) 实现的，使用 ATC时 精度受限于材料温度传感器的准确性。

 

3.MCV-500 仪器（标准配置）成套性明细表

 

序代号名称数量备注

1L-109H单光束激光头1

2P-108D信号处理器1

 

3IATCP

自动温度气压补偿传感器

1空气温度传感器、空气 压力传感器、材料温度 传感器各一只，空气压 力传感安装在 P-108D 处理器的主板上。

4LD-21L电缆组、接头。1

长度为 12 英尺(3.5m)

5R-102A0.5 英寸平行反射镜1

6LD-3790 度折光镜1

7LD-03磁坐1

8LD-03P磁坐加立柱1

9LD-14A装置板1

10内六角板手1 套6 支

11220V 电源线1

12USB 连接线1

13W-500测长软件1

14LD-500使用手册1

15LD-20D包装箱1

 

4.MCV-500H 测量软件对直线位移测量数据可按以下标准进行分析

 

序标准标准号

1中国国家标准GB/T 17421.2-2000

2国际标准ISO 230-2:1997

3国际标准ISO 230-2:1988

4德国工程协会VDI-3441

5日本标准Japanese Standard

6美国国家机床制造协会NMTBA

7美国国家机床制造协会具零飘移的 NMTBA

8美国机械工程师协会ASME B5.54

9美国机械工程师协会ASME B5.57

 

5.MCV-500H分析软件可自动生成螺距误差补偿软件的控制器品牌和 型号(该部份软件为选购附件)：

6.可供 MCV-500H 选购的各种测量功能附件

 

序选购件代号测量功能备注

 

1.W-500LB1.动态测量。

2.直线运动时位移、速度、加速度测 量。W-500LB 为

圆形轨迹测 量软件。

2LB-5001.动态测量。

2.直线运动时位移、速度、加速度测 量。

3.机床在做二轴插补运动时位移、速 度、加速度的测量。

4.圆形运动轨迹测量。

5.圆形运动轨迹分析。

 LB-500 为圆

形轨迹测量 组件。

2SP-5001.动态测量。

2.直线运动时位移、速度、加速度测 量。

3.机床在做二轴插补运动时位移、速 度、加速度的测量。

4.圆形运动轨迹测量。

5.主轴精度(径向跳动、端面跳动)测 量。

 

SP-500 为主

轴精度(径向 跳动、端面 跳动)测量组 件。

 

3SD-5001.对角线精度测量。

2.分轴步进对角线测量和分析。

3.生成相应控制器的空间精度补偿程 序(该部份软件为选购件)。SD-500 为空

间精度(分轴 步进对角线) 测量组件。

 

4SQ-5001.直线轴的直线度(水平直线度、上下

直线度)测量。

2.二轴垂直度测量。

3.二轴平行度测量。SQ-500 为垂

直度、 直线 度测量组 件。

 5AM-500导轨(直线轴)运动中的角偏(俯仰角、偏 摆角)测量。AM-500   为

角偏测量组 件。

 详细技术报价方案请致电业务人员： 潘宏刚 13601906309

 

上海道勤检测仪器有限公司是全球领先的测量解决方案提供商，公司多年来已为全球20多个国家和地区的客户提供测量技术与产品解决方案。道勤公司拥有计量检测业界最完整的测量解决方案，通过全系列计量检测产品和专业技术服务，灵活满足不同客户的差异化需求以及快速检测及创新的追求。 　　道勤公司坚持以持续技术创新为客户不断创造价值，所销售产品在德国、美国、法国、瑞士、英国、挪威、中国等地设有全球研发机构，产品荣获诸多国际专利，凭借不断增强的创新能力、突出的灵活定制能力、日趋完善的技术能力赢得全球客户的信任与合作。 道勤公司始终贯彻可持续发展理念，运用高、精、尖的测量技术帮助不同地区的客户提供完善的计量应用方案。 公司的核心价值观：为客户服务是道勤公司存在的唯一理由！客户需求是道勤公司发展的原动力！我们坚持以客户为中心，快速响应客户需求，持续为客户创造长期价值。为客户提供有效服务是我们工作的方向和价值评价的标尺，帮助客户提升产品在市场上的强有力竞争。我们的价值主张,为适应现代工业的革命性变化，道勤公司围绕客户需求和技术领先持续创新，与业界伙伴开放合作，为用户提供最先进的计量检测产品，我们力争成为客户计量检测领域的最佳合作伙伴，成为用户最信赖的供应商。道勤公司所销售的产品在全球20多个国家设有生产及研发机构，强大的研发团队使我们时刻保持成为计量检测领域的风向标，努力为世界制造业用户提供最佳解决方案！ 主要销售的产品有：三坐标，光谱仪，投影仪，偏摆仪，硬度计，气动量仪，色谱仪，测长仪，影像测量仪，齿轮测量仪，测高仪，粗糙度仪，轮廓仪，万能材料试验机，测量显微镜，万能工具显微镜，高低温试验箱，盐雾试验箱，探伤仪，三维扫描仪，激光干涉仪，光笔测量仪，圆度仪，圆柱度仪，涂层测厚仪，超声波测量仪，工业内窥镜，工业CT等。以及各类检测仪器的升级改造，维修保养服务。

 

 

该公司产品分类： 激光干涉仪 气动测量仪 圆度圆柱度测量仪 便携式三坐标 龙门式三坐标测量仪 桥式三坐标
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