SJ6000激光干涉仪
SJ6000采用高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、 几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10 分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光 干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。
使用时，操作者先按照设计的几何光路安装相配合的镜组，几何光路是以迈克尔逊型激光干涉仪原理为基础设计的，下图是迈克尔逊干涉仪的基本原理图：
迈克尔逊干涉仪的原理是一束入射光分为两束后各自被对应的平面镜反射回来，这两束光从而能 够发生干涉。干涉中两束光的不同光程可以通过调整干涉臂长度以及改变介质的折射率来实现，从而形成不同的干涉图样。干涉条纹是等光程差点的轨迹，因此，要 分析某种干涉产生的图样，必求出相干光的光程差位置分布函数。
搭建好几何光路后，在检定软件上设定测量的开始、结束位置，点击“开始”按钮，软件界面会实时显示测量所得动态数据；扫描结束后，操作者可通过对测量所得 数据曲线进行分析，得到如长度、角度、直线度、垂直度、平面度等参数。并根据系统内置的检测标准对被测件的各项参数进行合格判定，检测结束后自动生成检定 结果。
二、特点优势三、技术参数| 1 | 线性测长距离 | 40m |
| 2 | 线性测长精度 | ±（0.02+0.5L）um |
| 3 | 激光稳频精度 | 0.05ppm |
| 4 | 分辨率 | 0.001um |
| 5 | *大测量速度 | 4.0m/S |
| 6 | 动态采集频率 | 50KHZ |
| 7 | 预热时间 | 5~10分钟 |
| 8 | 环境补偿精度 | 空气压力：±1.0mBar， 空气湿度：±6%， 材料温度：±0.1℃ |
| 9 | 基本重量(含三脚架，包装) | 15Kg |
F-DGS1160多光束的干涉（F-P扫描干涉仪）
实验内容：
1、调整两个反射镜之间的相对位置，使之平行，形成F-P干涉仪。
2、观察激光在F-P干涉仪中的多光束干涉现象，了解F-P干涉仪的工作原理和理论。
3、改变腔长，测量计算干涉仪的特征参数。用压电陶瓷微调两个反射镜的间距，观察其对透射光波长的扫描特性，了解F-P扫描干涉仪的工作原理。观察激光器的频率特性，测量激光器的特征参数。
供应曲率半径测量干涉仪︱干涉仪
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| 产 品 说 明 | ||||||||||||||||||
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| 产品 >> 光学精密机械 >> 干涉仪 | 共有 18 个产品 | |
Agilent 5529A双频激光干涉仪
产品简介 |
随着精密机械零件的要求在继续增加，Agilent 5529A动态校准系统能帮助机床用户获得成功。Agilent 5529A为机床制造商和用户提供测量机床定位和精度的基本部件；用经补偿的数据校准机床的定位误差；诊断几何形状问题；以及符合7种国际标准的机床性能文档。 您可用Agilent 5529A选择全套校准部件，包括激光源、校准器和材料补偿板、材料和空气传感器、光纤套件、电缆和附件。您也可选择3种预配置系统（不包括光纤）。 Agilent 5529B基本系统：包括激光源、校准器和材料补偿板、材料和空气传感器、电缆和附件。 Agilent 5529V Vectra系统：包括校准器和材料补偿板、HP Vectra PC和super VGA显示。 Agilent 5529U升级系统：包括校准器和材料补偿板、适配器电缆，您能从Agilent 5528A升级到Agilent 5529A。 |
特性： |
l 专利Agilent激光管设计，性MTBF大于 50,000 小时 l 用户友好的Windows软件 l 文档使用8种语言：英语、法语、德语、意大利语、日语、西班牙语，以及简体和繁体汉语 l 符合7种国际标准： NMTBA, BDI/DGQ 3441, ANSI B5.54, BSI 3800, ESO 230-2, JIS, 和 GB 10931-89 l 在线帮助 如果需要详细的资料请发Email：xie_feng79@163.com |
ML10 Gold激光干涉仪
双频激光干涉仪ZLM700
产品功能 定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等，从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。性能优势
技术参数
| 型号：ZLM700 | 使用高性能数据处理器AE950 PCI |
| He-Ne激光平均波长： | 632.8 nm |
| 激光稳频精度： | 一小时2x10-9（±0.002ppm） 寿命内2x10-8（±0.02ppm） |
| 系统精度（0-40℃时）： | ±0.4ppm |
| 光束直径： | 6mm （可选3.2mm） |
| 激光管突发最大输出功率： | 1mW （激光等级2） |
| 每束光可测量的轴数： | 1 |
| 线性测量距离： | 40m，可扩展为120m |
| 角度测量范围： | ± 15°，20m轴线范围 |
| 平面度测量范围： | 20m行程 |
| 直线度测量范围： | ± 5mm，2m或10m行程， 选用角度干涉仪可测30m行程 |
| 垂直度测量范围： | ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉仪 |
| 最大速度： | 4m/s，可选16m/s 80rad/s，角速度 |
| 最大加速： | 无限制 |
| 采样频率： | 内部1MHz，外部40MHz |
| 预热时间： | 10分钟 |
| 精度/非线性： | ±0.3nm （角隅反射镜） ±0.1nm （平面反射镜） |
| 距离测量分辨率： | 0.6nm （角隅反射镜） 0.3nm （平面反射镜） 0.1nm 可选 |
| 距离测量精度： （20°±0.5°） 使用AUK时 （20°±0.5°） 真空中时 | ±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m） |
| 线性度测量分辨率： | 0.6nm （角隅反射镜） 0.3nm （平面反射镜） 0.1nm 可选 |
| 线性度测量精度： （20°±0.5°） 使用AUK时 （20°±0.5°） 真空中时 | ±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m） |
| 速度测量精度： | ±0.5ppm实测值 |
| 角度测量分辨率： | 0.015μrad （3x10-3 弧秒） |
| 角度测量精度： | ±0.1ppm实测值 |
| 平面度测量分辨率： | 0.015μrad （3x10-3 弧秒） |
| 平面度测量精度： | ±0.2%实测值 ±0.05 弧度/米运行距离 |
| 直线度测量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 直线度测量精度： | ±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程 |
| 垂直度测量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 垂直度测量精度： | ±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒* |
| 数据接口： | 积分信号 32 Bit （实时时间） Dt » 20 ns |
| 数据分析标准： | ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
| 工作环境： | 温度：15°C-30°C 湿度：<90%无冷凝 |
| 储存环境： | 温度：10°C-40°C 湿度：<95%无冷凝 |
应用光路图
以上为直线度测量示意图，包括水平方向直线度和垂直方向直线度
以上是平面度测量示意图
以上是垂直度测量示意图
以上是位移、线性度、速度、加速度、定位精度测量示意图
以上是对角测量示意图
以上是俯仰角测量示意图
以上是偏摆角测量示意图
以上是滚动角测量示意图
以上是回转台定位精度测量示意图
资料下载
耶拿尔双频激光干涉仪样本（中文）.pdf激光干涉仪说明书（中文）.pdf
Fabry-Perot太赫兹Fabry-Perot扫描干涉仪
高分辨测量可达至120MHz用户可选的频率范围容易操作的软件可按照客户要求订制 技术参数:测量频率范围1）：10~100 cm-1（30GHz~3THz）光谱自由程：0.8~20 cm-1分辨率2）：4 x 10-3 cm-1金属栅格间隔距离：0~12 mm（或根据客户要求选择）间隔距离精度：+ / - 5 um光束高度： 100 mm有效通光孔径： 20 mm（或根据客户要求选择）尺寸： 160 （L） x 120 （W） x 130 （H） mm3重量：2.5 kg 1： 用户选择范围：10~30cm-1 或者 30~100cm-1
111光纤干涉仪
动物注射泵 样品均质器 粘合剂分配器 蠕动泵
111斐索干涉仪