立式接触式干涉仪 JDS1
一、仪器用途本仪器是是一种采用量块或标准零件借以高精度的比较方式的立式精密长度计量仪器。主要用于150mm以下块规,亦可用作高精密度的长度和外径的精密测量,是各计量室的基本长度计量仪器之一。立式接触式干涉仪JDS-1技术参数:1、被测件大长度:150 mm2、工作台行程:5 mm3、测杆移动范围:0.5mm4、分划板刻度范围:±50格5、直接测量范围:5-20μm6、分度值调整范围:0.05-0.2 μm7、推荐使用分度值:0.1 μm8、测量压力:(1.5±0.1) N9、仪器示值稳定性:0.02 μm10、仪器误差:±(0.03+1.5ni △λ/λ)um n 是格数, i是格值,λ是滤光片中心波长,△λ是滤光片波长误差 11、仪器体积:280×500×700 mm12、仪器重量:40 kg标准配件:1、五筋园台2、九筋玛瑙台3、可调园平台4、辅助台5、平面测帽 Ф26、小球面测帽7、干涉滤光片
SLF-C-1 |
SLF-C-2 |
YBLX-KLT2-1 |
YBLX-KLT2-2 |
YBLX-KLT2-I |
YBLX-KLT2-II |
KHJ0.3/24 |
KHJ0.05/12 |
KHJ0.5/12 |
KHJ1/12L |
KHJ-3/24 |
ZWL2-I-C2 |
ZWL2-II-C2 |
LXB-02GKK |
SFXL-I |
SFXL-II |
SP-2DM |
SP-2DMS |
ZGLS-Z |
配置方式 | |
立式、卧式配置 平面总成,球面总成 静态测量,相位移调制测量 | |
附件 | |
标准平面和球面参照镜 与ZYGOTM参照镜相容 标准衰镜 干涉仪支撑/调整用四脚座 水平五轴调整座 | |
IntelliWave TM分析 | |
Windows XP系统 干涉条纹静态与相位移调制分析 完整的分析工具,包括统计资料、像差 绕射分析、影像加工、以及几何影像转换 干涉图转换成光学(OPD)或表面地图(surface map) 自动反复测量或自动化分析功能 相互连接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel软件 1 蜂谷值(PV ,Peak-to-Valley) 是取得长度上,测量高度最高点与最低点间的距离 2 均方根值(RMS,Root-Mean-Square)是取样长度上,距离高度中心线的均方根偏差值。 3 三平面检定方(3-Flat Test )最使用三个平面参照镜相互检测的测量方式。 4 重复性(Repeatability)的定义:对相同的组件进行100次量测,而每组量数据是由20个数据平均后取得,100组测数据统计分析,定义重复性即是一个标准差值。 | |
型号 | AK-40 Fizeau type |
激光光源 | |
波长/ 功率 | He-Ne ,632.8nm , 0.7mw |
测量光束直径 | 15英寸(38mm) |
偏振性 | 圆偏振动(Circular Polarization) |
相干长度 | >100公尺 |
控制方式 | |
观察调整 | 4On/off 开关 |
变焦 | 旋转度盘 |
对焦调整 | 旋转钮 |
光强调整 | 旋转钮 |
模式切换 | 手动切换 |
光 学 部 分 | |
变焦范围 | 1X—6X |
对准调整 | 二点调整 |
观察调整角 | ±1.8度 |
预热时间 | < 30分钟 |
视频规格 | |
摄像机 | RS170, 640X480像素 |
显示器 | 计算机含LCD屏幕或视频监视器 |
电气部份 | |
电 源 | 110/240 Volts ,50/60Hz (50 watts) |
机械部份 | |
尺寸 | 120*120*250mm |
重量 | 6 kg |
测量性能(应用 IntelliWAare TM软件量结果) | |
系统准确度(三平面检定法)(3) | λ/100 , 峰谷值(1) |
峰谷值重复性(4)(PV Repeatability) | λ/3 00 , 峰谷值(1) |
均方值重复性能(2)(4)(RMS Repeatability) | λ/2,000 |
干涉条纹解像度(Fringe Resolution ) | 180条 |
产特点:● 纳米深度3D检测● 高速、无接触量● 表面形状、粗糙度分析● 非透明、透明材质皆适用● 非电子束、非雷射的安全量测● 低维护成本
的3D图形处理与分析软体(Post Topo):● 提供3D图形处理与分析● 提供自动表面平整化处理功能● 提供高阶标准片的软件自校功能● 深度、高度分析功能提供线性分析与区域分析等两种方式● 线性分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Roughness)与起伏度● (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer)● 区域分析方式提供图形分析与统计分析● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
高速精密的干涉解析软件(ImgScan):● 系统硬件搭配ImgScan处理软件自动解析白光干涉条纹● 垂直高度可达0.1nm● 高速的分析算法则,让你不在苦候测量结果● 垂直扫描范围的设定轻松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择● 平台X、Y、Z位置数字式显示,使检测目标寻找快速又便利● 具有手动/自动光强度调整功能以取得佳的干涉条纹对比● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择● 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌● 具有自动补点功能● 可自行设定扫描方向技术规格参数:
型号 | AE-100M | ||
移动台(mm) | 平台尺寸100*100 ,行程13*13 | ||
物镜放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
观察与量测范围(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
光学分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
工作距离 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
传感器分辨率 | 640*480像素 | ||
机台重量(kg)/载重kg | 20kg/小于1kg | ||
Z轴移动范围 | 45mm , 手动细调 | ||
Z轴位置数字显示器 | 分辨力1μm | ||
倾斜调整平台 | 双轴/手动调整 | ||
高度测量 | |||
测量范围 | 100(μm)(400μm ,选配) | ||
量测分辨力 | 0.1nm | ||
重复精度 | ≤ 0.1% (量测高度:>10μm) | ||
≤10nm(量测高度1μm 10μm) | |||
≤ 5nm(量测高度:<1μm ) | |||
量测控制 | 自动 | ||
扫描速度(μm/s) | 12(高) | ||
光源 | |||
光源类型 | 仪器用卤素(冷)光源 | ||
平均使用寿 | 1000小时100W 500小时(150W) | ||
光强度调整 | 自动/手动 | ||
数据处理与显示用计算机 | |||
中央处理运算屏幕 | 双核心以上CPU | ||
影像与数据显示屏幕 | 17 " 双晶屏幕 | ||
操作系统 | Windows XP(2) | ||
电源与环境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
环境振动 | VC-C等以上 | ||
测量分析软件 | |||
量测软件ImgScan | ImgScan测量软件:具VSI/ PVSI/PSI 测量模式(PSI量测模式需另选配PSI模块搭配) | ||
分析软件PosTopo | ISO 粗燥度/阶高分析,快速传利叶转换和滤波,多样的2D和3D 观测视角图,外形/面积/体积分析,图像缩放、标准影像文件格式转换 报表输出,程序教导测量等。 |
Talysurf CCI 6000白光干涉仪 随着科技潮流,非接触式的量测至今已被广泛的应用在生产及研发上,而Taylor Hobson经多年的研发于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉仪可堪称目前世界上精度最高功能最强的白光干涉仪,,其超高解析度的特性(0.1Å),可以运用在量测晶圆 ,微机电及抛光元件等产品的粗糙度 平面度 及膜厚分析等,而非破坏性的特性更可以有效的量测软性物质,在迈入奈米纪元同时相信Talysurf CCI 6000绝对是各大企业不可少的量测系统。 Talysurf CCI 6000白光干涉仪: &解析度(Z轴) 0.01nm (0.1Å) &测量范围(Z轴) 100um &测量范围(X x Y) 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm(依物镜倍率不同可自由选择) &1024 x 1024 高解析量测点数 &受测物的反射率 0.3% - 100% (透明物亦可量测) 硬件及软件 &气浮式防震系统已隔绝楼板震动‧隔离罩以隔离外在环境避免影响量测精度 &相容于Windows 2000及 Windows XP 系统 CCI干涉仪 Mirau 干涉 白光干涉仪3D分析软件 &Talymap 3D & 2D 分析软体。 &可分析项目: 粗度 平面度 波纹 膜厚 体积计算 承压比值 等等。 &微机电尺寸计算(距离 高度 等计算)‧表面频谱分析(FFT) MEMS Sensor Optics Diamond Turned& Wafer Step Talysurf CCI 6000白光干涉仪应用: &MEMS 微小尺寸计算 &Silicon Wafer 表面粗度 平面度 &非球面镜表面粗糙度 &硬碟 光碟表面组织形状 &OLED PDP LCD 膜厚分析计算
PG15激光平面干涉仪 1、工作基于双光束等厚干涉原理。 2、根据近代光学的研究结果,http://www.tjhuayue.cn 装生产线 BOSCH电磁阀 粉末包装机 调味品包装机 光兼有波动与微粒两重特性。光的干涉现象是光的波动性的特性。 JDS立式接触式干涉仪 是一种采用量块或标准零件借以高精度的比较方式的立式精密长度计量仪器。主要用于150mm以下块规,亦可用作高精密度的长度和外径的精密测量,是各级计量室的基本长度计量仪器之一。 技术参数: 1、被测件最大长度:150mm 2、工作台行程:5mm 3、测杆移动范围:0.5mm 4、分划板刻度范围:±50格 5、直接测量范围:5-20μm http://www.heima88.com.cn 数字电桥 数字示波器 直流电子负载 函数信号发生器 含气饮料生产线 6、分度值调整范围:0.05-0.2μm 7、推荐使用分度值:0.1μm 8、测量压力:(1.5±0.1)N 9、仪器示值稳定性:0.02μm http://www.meifukeji.com 粒包装机 茶叶包装机 粉剂包装机 液体包装机 粉末包装机 10、仪器误差:±(0.03+1.5ni△λ/λ)um n是格数,i是格值,λ是滤光片中心波长,△λ是滤光片波长误差 11、仪器体积:280×500×700mm 12、仪器重量:40kg高压灭菌器 全自动给袋式包装机 机床防护罩价格 钳工平台 三坐标测量平台 大理石平台 PE膜收缩机 精密增力电动搅拌器 电镜两用电极 栓剂模具 贺德克滤芯 滚齿机 BlueM YPC电磁阀 煤炭检测设备 装载机电子秤
乌式干涉仪测试专用数显量仪测力计数显量仪测力计产品简介: 上海实干是专业的数显量仪测力计厂家,本厂家销售的SGSLC数显量仪测力计可用于测微量具(千分尺、测深千分尺)、指示式量具(百分表、千分表、杠杆表、内径表、扭簧表、测微计)及光学仪器(光学计、乌式干涉仪)等测力的检定,具有精度高、使用范围广、结构可靠、操作方便等特点,是计量部门不可缺少的测力检定仪器。
数显量仪测力计图片
序号 NO | 产品型号 (Model) | 量程(N) | 分度值 (N) | 外形尺寸 (mm) | 重量 (KG) |
01 | SGSLC | 0-15 | 0.01 | 230X220X310 | 10 |
乌式干涉仪测试专用数显量仪测力计