格参数: | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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仪器标准配备及选购件(0.5X附加镜,2X附加镜,特殊配备0.5X镜筒) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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技术参数:
仪器参数 | \\\\ | 仪器型号 | BROS-2010 | BROS-3020 | BROS-4030 |
测量范围(MM) | X | 200 | 300 | 400 | |
Y | 100 | 200 | 300 | ||
Z | 120 | 120 | 120 | ||
工作台(MM) | 硬铝合金台面 | 356×266 | 506×326 | 606×476 | |
玻璃台面 | 260×160 | 360×260 | 460×360 | ||
承重 | 20kg | 20kg | 30kg | ||
影像及测量系统 | CCD | 美国ezoom高分辨率彩色工业CCD 1/3英寸 480线 | |||
物镜 | 0.7-4.5X连续变倍 | ||||
放大倍率 | 20-120X | ||||
工作距离 | 100 | ||||
显示分辨率 | 0.001mm | ||||
线性精度(um) | E1=3+L/200 E2=3.5+L/150 (L为被测长度,单位为mm) | ||||
外形尺寸(mm) | 600×550×780 | 760×580×820 | 870×620×820 | ||
仪器重量 | 150kg | 215kg | 300kg | ||
照明 | LED表面光及轮廓光 | ||||
电源 | 220V±10%(AC) 50HZ |
技术规格参数
工 作 台 | 金属尺寸(mm) 700X450 玻璃台尺寸(mm) 550X350 运动行程(mm) 500X300 |
Z轴升降行程 | 200 | X 、Y、Z数显戒心度:0.5μm |
工作距离 | 92mm | X 、Y坐标示值误差: ≤(3+L)μm(L为被测长度,单位:mm) |
影像系统 | 摄像机:SONY彩色1/2"CCD摄像机 双焦镜头倍率:美国NAVITAR 0.7X~4.5X 视频总倍率:23.5~148X 物方视场:11.1~1.7mm 表面光源与透射光源均用LED,亮度可调 |
测量系统 | VMS-F/ Ⅱ USB-302 M2D-AT 客户自配电脑 |
电源 | 220V ± 10% 50/60Hz 总功率 50W (不包含电脑) |
压缩空气 | ≥ 0.5Mpa |
压缩空气流量 | 120L/min(.04MPa) |
工作环境 | 温度(20 ± 2) ℃ 温度 40%~70% |
仪器重量(kg) | 500 |
外形尺寸(mm) | 1600X800X1660 |
仪器配件 |
非接触方式/Non-contact mode 高度测量/Masuring Height 三坐标非接触影像测量仪/3D Non-contact Image Measuring Instrument 3D测量软件主界面/3D Measuring Software Main Icon | 本仪器所使用的影像测量技术、图像处理技术、自动调焦技术、亚象素寻边技术、测量分析软件极大提高测量精度和测量效率。 ■仪器光学系统品质优良,物镜成像清晰,倍率广泛。 ■提供物体轮廓(透射)和表面(反射)同轴照明,保证物体影像清晰。 ■导轨、丝杠、光栅尺、电机等关键部件全部选用国外著名品牌,保证系统的高质量和高可靠性。 ■自动识辨物体焦面位置和自动寻找物体亚象素边界。 ■优质运动控制器和图像传感器,保证高品质图像质量和工作台的低噪音平稳运动。 ■ ■平面定义与自动三维采点测量,按国标GB11337-98的各种方法自动进行平面度误差检测。 ■提供测量编程指令,具有自学习编程功能,自动批量快速测量,大大提高检测效率。 ■人性化方便的运动控制和多种方式的测量功能,编程和自学习,成倍提高测量效率。 ■系统提供多达20个机械坐标和工件坐标。 ■无需转台,实时非接触测量物体的高度、距离、角度等参数。 ■无需倾斜台,对物体基准面进行数学找正,避免物理找正的烦琐。 ■提供强大的数理统计分析和数据库功能:统计参数计算,正态、历史、直方图、X2、T、F分布,X2、T、F检验,单因素方差分析和相关性检验等。 ■输出结果形式多样,可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等应用软件使用。 ■几何形状测量与构造实时图形的直观显示,利于测量检查。 ■提供在线帮助功能,操作简便,易学易用。 |
技术参数
工作台行程 | 标配:X=150mm, Y=150mm, Z=100mm |
选配:X: 100mm~400mm;Y: 100mm~200mm;Z: 100mm-150mm | |
光学尺分辨率 | 标配:0.001mm闭式; 选配:0.0005mm闭式,0.0001mm开式 |
重复定位精度 | X,Y,Z: ≤0.0015mm |
重复调焦精度(倍率大于150X) | ≤0.0015mm |
系统不确定度 | 分辨率为0.001mm时:X,Y: (3.0+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm |
分辨率为0.0005mm时:X,Y: (1.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm | |
分辨率为0.0001mm时:X,Y: (0.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm |
仪器配置
部件名称 | 规格(标配) | 选件 | 备注 |
CCD工业摄像头 | 彩色CCD(1/2”) | 黑白CCD(1/2”) | 复合或标准视频 |
工业显微镜 | 连续变倍:1:10 1.5X物镜 (50~500X) | 连续变倍:0.7-4.5X; 工业内照明高倍率长工作距显微镜,物镜倍率:3X~100X | C-Mount接口 |
计算机系统 | 商用PC,98/2000/XP | 工业控制机,彩色喷墨打印机 |
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测量控制软件 | TDYMS V60CNC |
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| 花岗石00级 |
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照明光源 | 透 6V20W,反21V150W可调卤素灯 | 外接照明 |
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工作台行程(测量范围) | X:150mm,Y:150mm,Z:100mm | X:100-400mm,Y:100-200mm Z:100-200mm | Z轴带有粗微调机构,以满足不同高度工件的测量 |
驱动方式 | X、Y、Z:CNC电动 | JOG控制盒 |
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驱动电机 | 三相步进电机 | 伺服电机 |
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工件限重 | 10Kg |
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工件限高 | 120mm |
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仪器重量 | 100Kg |
| 不包括计算机系统 |
MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。主要技术参数:◆ 测量范围(XYZ):标准:200×200×25mm;可选:300x300x25◆ 视场内测量精度:10nm(100X 镜头);Z轴聚焦范围:25 mm◆ 视场内测量范围:0.5um~400um;◆ 视场内测量重复性(100x 物镜): 晶圆上<0.010um(1δ); 掩模板上0.005um(1δ);
◆ 承重:2kg
◆ 标配镜头10x,可选镜头:5X, 20X, 50X, 100X
MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .
The main technical parameters :
◆ X,Y,Z Measuring Range (mm): standard :200x200x25 optional : 300X300x25
◆ The field measurement accuracy :10nm (100X lens ) Z Foucsing Range (mm) : 25
◆ The field measurement range :0.5um~400um;
◆ The field measurement repeatability (100X lens):on wafer < 0 0.010m(1δ);
on mask plate 0.005um(1δ);
◆ Max Recommanded Load : 2kg
◆ Lens : standard :10X
optional :5X,20X,50X,100X。
1 | 型号 | VMS-1510 | VMS-2010 | VMS-3020 | VMS-4030 |
2 | 主机体尺寸 | 530*460*850mm | 600*490*850mm | 700*500*940mm | 1000*600*1000 |
3 | 花岗石平台尺寸 | 300*250mm | 350*250mm | 450*350mm | 550*450 |
4 | 玻璃台尺寸 | 200*160mm | 220*160mm | 320*240mm | 450*350 |
5 | 重量 | 90KG | 150KG | 200KG | 220KG |
6 | 机台底坐 | 高精度花岗石底座及立柱 | |||
7 | 线性精度 | (3.0+L/75)μm | |||
8 | 表面照明 | LED环形超亮冷光源(亮度可调) | |||
9 | 轮廓照明 | LED超亮圆形灯(亮度可调) | |||
10 | 计算测量功能 | REICA 2.5D精密测量系统软件 | |||
11 | 解析力 | 0.001mm | |||
12 | 重复精度 | 0.002mm | |||
13 | CCD | SONY芯片1/3彩色CCD/台湾1/2摄像装置 | |||
14 | 目镜 | 0.5X(可选配1X,2x) | |||
15 | 物镜 | 0.7X~4.5X 放大倍数20X~120X | |||
16 | 载重 | 20\30\50KG |