技术参数:
仪器参数 | \\\\ | 仪器型号 | BROS-2010 | BROS-3020 | BROS-4030 |
测量范围(MM) | X | 200 | 300 | 400 | |
Y | 100 | 200 | 300 | ||
Z | 120 | 120 | 120 | ||
工作台(MM) | 硬铝合金台面 | 356×266 | 506×326 | 606×476 | |
玻璃台面 | 260×160 | 360×260 | 460×360 | ||
承重 | 20kg | 20kg | 30kg | ||
影像及测量系统 | CCD | 美国ezoom高分辨率彩色工业CCD 1/3英寸 480线 | |||
物镜 | 0.7-4.5X连续变倍 | ||||
放大倍率 | 20-120X | ||||
工作距离 | 100 | ||||
显示分辨率 | 0.001mm | ||||
线性精度(um) | E1=3+L/200 E2=3.5+L/150 (L为被测长度,单位为mm) | ||||
外形尺寸(mm) | 600×550×780 | 760×580×820 | 870×620×820 | ||
仪器重量 | 150kg | 215kg | 300kg | ||
照明 | LED表面光及轮廓光 | ||||
电源 | 220V±10%(AC) 50HZ |
技术规格参数
工 作 台 | 金属尺寸(mm) 700X450 玻璃台尺寸(mm) 550X350 运动行程(mm) 500X300 |
Z轴升降行程 | 200 | X 、Y、Z数显戒心度:0.5μm |
工作距离 | 92mm | X 、Y坐标示值误差: ≤(3+L)μm(L为被测长度,单位:mm) |
影像系统 | 摄像机:SONY彩色1/2"CCD摄像机 双焦镜头倍率:美国NAVITAR 0.7X~4.5X 视频总倍率:23.5~148X 物方视场:11.1~1.7mm 表面光源与透射光源均用LED,亮度可调 |
测量系统 | VMS-F/ Ⅱ USB-302 M2D-AT 客户自配电脑 |
电源 | 220V ± 10% 50/60Hz 总功率 50W (不包含电脑) |
压缩空气 | ≥ 0.5Mpa |
压缩空气流量 | 120L/min(.04MPa) |
工作环境 | 温度(20 ± 2) ℃ 温度 40%~70% |
仪器重量(kg) | 500 |
外形尺寸(mm) | 1600X800X1660 |
仪器配件 |
MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。主要技术参数:◆ 测量范围(XYZ):标准:200×200×25mm;可选:300x300x25◆ 视场内测量精度:10nm(100X 镜头);Z轴聚焦范围:25 mm◆ 视场内测量范围:0.5um~400um;◆ 视场内测量重复性(100x 物镜): 晶圆上<0.010um(1δ); 掩模板上0.005um(1δ);
◆ 承重:2kg
◆ 标配镜头10x,可选镜头:5X, 20X, 50X, 100X
MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .
The main technical parameters :
◆ X,Y,Z Measuring Range (mm): standard :200x200x25 optional : 300X300x25
◆ The field measurement accuracy :10nm (100X lens ) Z Foucsing Range (mm) : 25
◆ The field measurement range :0.5um~400um;
◆ The field measurement repeatability (100X lens):on wafer < 0 0.010m(1δ);
on mask plate 0.005um(1δ);
◆ Max Recommanded Load : 2kg
◆ Lens : standard :10X
optional :5X,20X,50X,100X。
1 | 型号 | VMS-1510 | VMS-2010 | VMS-3020 | VMS-4030 |
2 | 主机体尺寸 | 530*460*850mm | 600*490*850mm | 700*500*940mm | 1000*600*1000 |
3 | 花岗石平台尺寸 | 300*250mm | 350*250mm | 450*350mm | 550*450 |
4 | 玻璃台尺寸 | 200*160mm | 220*160mm | 320*240mm | 450*350 |
5 | 重量 | 90KG | 150KG | 200KG | 220KG |
6 | 机台底坐 | 高精度花岗石底座及立柱 | |||
7 | 线性精度 | (3.0+L/75)μm | |||
8 | 表面照明 | LED环形超亮冷光源(亮度可调) | |||
9 | 轮廓照明 | LED超亮圆形灯(亮度可调) | |||
10 | 计算测量功能 | REICA 2.5D精密测量系统软件 | |||
11 | 解析力 | 0.001mm | |||
12 | 重复精度 | 0.002mm | |||
13 | CCD | SONY芯片1/3彩色CCD/台湾1/2摄像装置 | |||
14 | 目镜 | 0.5X(可选配1X,2x) | |||
15 | 物镜 | 0.7X~4.5X 放大倍数20X~120X | |||
16 | 载重 | 20\30\50KG |
尼康VMZ-R4540影像测量仪|尼康VMZ-R4540全自动三次元
1, 2, 和 3 型变焦系统可以提供清晰、低失真率的图像和很高的NA值。A型变焦系统是专为大视野范围和长工作距离而设计的。
放大倍率 vs. 视野范围(mm)
1型 | 总光学放大倍率 | 0.5× 18× | 1× 36× | 2× 72× | 4× 144× | 7.5× 270× |
视野范围 (mm) | 9.33×7 | 4.67×3.5 | 2.33×1.75 | 1.165×0.875 | 0.622×0.467 | |
2型 | 总光学放大倍率 | 1× 36× | 2× 72× | 4× 144× | 8× 288× | 15× 540× |
视野范围 (mm) | 4.67×3.5 | 2.33×1.75 | 1.165×0.875 | 0.582×0.437 | 0.311×0.233 | |
3型 | 总光学放大倍率 | 2× 72× | 4× 144× | 8× 288× | 16× 576× | 30× 1080× |
视野范围 (mm) | 2.33×1.75 | 1.165×0.875 | 0.582×0.437 | 0.291×0.218 | 0.155×0.117 | |
A型 | 总光学放大倍率 | 0.35×14× | 0.6× 24× | 1× 40× | 1.8× 73× | 3.5× 141× |
视野范围 (mm) | 13.3×10 | 7.8×5.8 | 4.7×3.5 | 2.6×1.9 | 1.33×1 | |
* 总放大倍率是按照20寸显示器在UXGA (1600 x 1200 pixels) 模式下计算的。
新设计的激光自动对焦系统拥有和VMR系列一样的高速度和高精度,而且可以用于检测轻薄透明的材料。 *不兼容A型 | ![]() |
新设计的激光自动对焦系统 新的传感器能同时探测到上表面和下表面。 |
*不兼容A型
重新设计了用户界面,测量精灵可以帮助初学者更容易使用软件和制作测量程序。
[标准软件]
[选配软件]
使用尼康专门开发的高解析力的线性编码器'ModuRay',测量精度进一步提高。
450 x 400 x 200mm的测量形成适合大范围的应用。
自动影像测量仪 经济型自动影像测定仪 自动影像分析仪
型号 | SOV-3020A |
重现性 | <0.005mm |
外形尺寸(W*D*H) | 700*500*900mm |
解析力标准 | 0.001mm |
台面大小 | 500*350mm |
线性精度 | 4+L/150um |
机台重量 | 150kg |
精度 | 4+L/150um |
放大倍数 | 20x~120x |
X行程 | 300mm |
台面荷重 | 30kg |
Y行程 | 200mm |
CCD | 1/3寸 35万画素 |