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厦门锡尔摩电气有限公司 坐落于美丽的鹭岛厦门,是一家长年专业从事全球知名品牌自动化产品的研发与销售,我们售出的备品备件均提供一年的质量保证、并且都经过了严格的测试和认证,公司自成立以来始终坚持以纯电子商务模式运营、缩减中间环节、为客户在第一时间提供优质的产品及满意的服务、为您的生产以及采购工作提供‘安全 快捷 方便’公司拥有完善的物流供应系统、现已与众多国外知名品牌生产厂商建立了良好的合作关系。我司能直接从境外进货、能够提供不同国别、厂商的设备以及备件、解决您多处寻找的麻烦或对产品质量问题的担心等、在价格上我们有很大的优势、如需了解更多的产品信息、欢迎您来电查询。
公司:厦门锡尔摩电气有限公司
姓名:朱平香
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邮编:361000
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联系地址:厦门市 思明区 吕厝摩尔莲花大厦2803
机器型号 | | Function plus 10158 | Function plus 10218 | Function plus 10308 | Function plus 122110 | Function plus 123010 | Function plus 152110 | Function plus 153010 | Function plus 152112 | Function plus 153012 |
行程(mm) | X | 1000 | 1000 | 1000 | 1200 | 1200 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
Y | 1500 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | |
Z | 800 | 800 | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1200 | 1200 | |
测量空间(mm) | Dx | 1364 | 1364 | 1364 | 1564 | 1564 | 1864 | 1864 | 1864 | 1864 |
Dz | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | |
Dz1 | 951 | 951 | 951 | 1151 | 1151 | 1151 | 1151 | 1351 | 1351 | |
平台(mm) | Ph | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
Py | 2000 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | |
支撑(mm) | Sy1 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
Sy2 | 1200 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | |
Sx | 1300 | 1300 | 1300 | 1500 | 1500 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | |
外形尺寸(mm) | L | 2726 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 |
W | 1780 | 1780 | 1780 | 1980 | 1980 | 2280 | 2280 | 2280 | 2280 | |
H | 3422 | 3422 | 3422 | 3622 | 3622 | 3622 | 3622 | 3822 | 3822 | |
承重(kg) | | 1300 | 1800 | 2000 | 3000 | 3500 | 3000 | 3500 | 3000 | 3500 |
机器重量(kg) | | 5500 | 6500 | 9500 | 7600 | 11000 | 8600 | 13000 | 8800 | 13200 |
MPEe(μm) | | 3.1+L/300 | 3.5+L/300 | 4.0+L/300 | 5.0+L/300 | |||||
MPEp(μm) | | 3.3 | 3.7 | 4.2 | 5.2 | |||||
光栅尺分辨率(μm) | | 0.078 | ||||||||
空间移动速度(mm/s) | | 433 | ||||||||
空间移动加速度(mm/s2) | | 1039 | ||||||||
流量/供气压力 | | 2.5dm3/s(150 NImin). >0.7Mpa |
型号 | LCD-70-TEG | LCD-100-TEG | |
外形 | 2500mm长*2000mm宽*2500mm高 | 3800mm长*2500mm宽*2500mm高 | |
重量 | 约9700KG | 约14200KG | |
电力需求 | 380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max | ||
可测试液晶屏尺寸 | 长宽≤1600 * 1100 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 长宽≤2400 * 1400 mm(W x D) , 厚度≤3mm | |
平台功能 | Gantry结构 | 龙门式 | |
X-Y-Z轴运动行程 | 1600 * 1100 *58mm | 2400 * 1400 *58mm | |
X-Y运动速度 | 0~400mm/s可调 | ||
X-Y精度(最小移动量) | 0.1um | ||
X-Y重复定位精度 | ±5um | ||
X-Y 轴驱动 | 直线电机+光栅尺 | ||
Z 运动速度 | 0~2mm/s可调 | ||
Z精度 | 0.25um | ||
Z重复定位精度 | ±1um | ||
Z轴驱动 | 伺服电机+光栅尺 | ||
Z轴保护 | 电机保护+机械限位保护 | ||
样品台平整度 | 25um平整度 (检测方法:显微镜等焦面测试法) | ||
样品台涂层 | 防静电涂层 | ||
样品台高低温 | Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) | ||
光学特性 | 光路系统倍率: | 5X ,10X ,20X,50X Objects ,放大倍率范围50X~ 500X | |
聚焦 | 自动聚焦 | ||
CCD | 200/500万像素工业相机 | ||
光源 | 面背光、点背光、上光源 | ||
光源亮度独立可调,面背光可选择分区控制 | |||
激光特性 | 激光系统 | 激光切割系统(2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) | |
0-100% | |||
激光波长 | 1064nm,532nm,355nm | ||
光斑尺度 | 0.8~1.5um @100X object | ||
1.0~3.0um @50X object | |||
工作模式 | One Shot/Burst/Continue | ||
形状 | 可调节的矩形 | ||
探针规格 | 针卡 | 两套,可同时测试两个patten | |
Pitch范围:定制 | |||
探针材质:钨or铍铜等 | |||
工作模式:可以单独测试,或者两个针卡一起测试。两个针卡间的相互距离可调。 | |||
探针和TEG对位方式 | 坐标定位 | ||
测试过程中的二次视觉自动校准 | |||
探针和TEG的接触方式 | 自动接触 | ||
探针自动保护功能:机械限位,可以根据panel厚度设定限位高度,也可以按探针接触样品测试Pad时发生的形变,设备通过探针形变情况,从而确定压入量。 | |||
探针轴旋转行程 | 360° | ||
探针旋转精度 | 0.01° | ||
旋转重复定位精度 | 0.03° | ||
探针清洁 | 自动清洁 | ||
清洁后视觉自动判断 | |||
探针台漏电精度(安装针卡的情况) | 100fA 以内(测试标准:给针卡任意针脚加压-5V~+5V,在不吹N2的情况下,空载测试漏电流<100fA) | ||
吹氮气N2辅助干燥(Recipe 可以设置是否开启,且测试报告体现开N2与不开N2区别) | |||
测试能力 | 测试系统 | 两套 | |
半导体参数测试系统 2*HRSMU+4*MPSMU+CV 测试单元等 | |||
TFT测试项目 | Ion | ||
Ioff | |||
Vth | |||
Mobility | |||
Swing | |||
Resistance测试项目 | Rs | ||
Rc | |||
其他客户需要的项目 | options | ||
最大输送电压 | +-200V | ||
最大输送电流 | +-1A | ||
电流测试分辨率 | 1fA(无需前置放大器) | ||
电压测试分辨率 | 0.5uV | ||
CV 测试频率范围 | 1kHz~5MHz | ||
接地单元电流宿能力 | 4.2A GNDU | ||
控制 | 工作模式 | 自动测试,实现数据的自动导入和输出,联机通讯 | |
手动或者半自动测试 | |||
上下片 | 机械手或者流水线 | ||
CIM系统 | 有 | ||
减震 | 主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动 | ||
工业PC | 23寸显示器&电脑:i7 处理器,1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘),8G内存,1G独立显卡,DVD-ROM | ||
通讯接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||
安全 | 整机带屏蔽罩,操作人员在屏蔽罩外操作 | ||
紧急开关EMO | |||
限位sensor,运动平台和探针系统限位互锁 | |||
Interlock报警,自动关闭系统(软件设置为可选) | |||
应用 | TFT-LCD Panel TEG 探针测试,OLED Panel TEG探针测试 |
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