盐雾、酸雾耐腐蚀实验
上海松安制冷技术有限公司
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德国FRIZLEN调速电阻、FRIZLEN电机、FRIZLEN制动电阻箱
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CJBH-IIIK投入式液位变送器(气体导压式,用于高温、腐蚀性液体、污水等)
CJBH-IIIK型硅压阻式液位变送器将OEM充油芯体封装在不锈钢壳体内,前端防护帽起保护传感器膜片的作用,也能使液体流畅地接触到膜片,防水导线与外壳密封连接,通气管在电缆内与外界相连,内部结构防结露设计。CJBH-IIIK型内置微型信号处理电路,可进行远程传输。
CJBH-IIIK投入式液位变送器(气体导压式,用于高温、腐蚀性液体、污水等)的传感器部分与信号处理电路在接线盒内部,由投入液体内的集气筒内的气体与介质接触,通过导气管将压力传递给传感器,避免了传感器与被测介质的直接接触,适应于高温强腐蚀性等场合,有效地解决了高温腐蚀液体以及污水液位测量的难题。它特别适合于高温、腐蚀性液体和污水的测量。CJBH-II液位变送器选用MC20B型压力变送器为压力测量部件,由集气筒采集到液位压力信号,传送给压力变送器,将压力信号转换为液位信号输出。
压力变送器与液位关系为: P=0.0098ρH+Pc
式中:P 压强MPa; ρ 液体密度(g/cm3);H 液面深度(m);Pc 液面压力(常压为0)
PCM260型广泛应用于环保、水利、变频供水、工业过程控制、化工等领域的液位测量控制。
主要特点:
主要技术参数:
量程(米) | 0—1.5.......50m |
输 出 | 4—20mA(1-5V);0—10mA(0—5V); |
精 度 | 0.5% |
非线性、重复性、迟 滞(%F·S) | 0.3% |
零点及灵敏度温度漂移(%/℃F·S) | ≤0.03 |
零点漂移(%/F·S4h) | ≤0.3 |
长期稳定性(%F·S/年) | 0.3 |
工作电压(V) | +24标定(+18~+36) |
补偿温度(℃) | 0~70 |
工作温度(℃) | -20℃~250 |
过载能力(%) | 300 |
寿 命 | >1×108压力循环(25℃) |
频响(Hz) | >1000 |
测量介质 | 高温液体、腐蚀性液体 |
膜片材料 | 316L不锈钢 |
防护等级 | IP67 |
壳体材料 | 1Cr18Ni9Ti |
接口 | 投入分体式 |
HMDS预处理系统
在半导体生产工艺中,光刻是至关重要的一个工艺环节,而涂胶工艺的好坏,直接影响到光刻的质量,所以涂胶也显得尤为必要,尤其在所刻线条比较细的时候,任何一个环节有一点纰漏,都可能导致光刻的失败。在涂胶工艺中,所用到的光刻胶绝大多数是疏水的,而晶片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,如果在晶片表面直接涂胶的话,势必会造成光刻胶和晶片的粘合性较差,甚至造成局部的间隙或气泡,涂胶厚度和均匀性都受到了影响,从而影响了光刻效果和显影。
为了解决这一问题,涂胶工艺中引入了一种化学制剂,即HMDS,它的英文全名叫Hexamethyldisilazane(HMDS),化学名称叫六甲基二硅氮甲烷,把它涂到硅片表面后,通过加温可反应生成以硅氧烷为主题的化合物,这实际上是一种表面活性剂,它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起到耦合的作用,再者,在显影的过程中,由于它增强了光刻胶与基底的粘附力,从而有效地抑制刻蚀液进入掩模与基底的侧向刻蚀。 最初,人们用液态的HMDS直接涂到晶片上,然后借着晶片的高速旋转在晶片表面形成一层HMDS膜。这样就阶段性的解决了基片和光刻胶之间的结合问题,但随着光刻线条的越来越细,胶的越来越薄,对粘附力提出了更高的要求,于是我们研制出了现在的HMDS预处理系统。
2 HMDS预处理系统的优越性
HMDS预处理系统的优点在于:
(1)预处理性能更好,由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,再者,由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-200℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着更好的处理效果。
(2)处理更加均匀。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性。
(3)效率高。液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达多盒的晶片。
(4)更加节省药液。实践证明,用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理多盒晶片所用药液还多;
(5)更加环保和安全,HMDS是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境造成污染。
3系统结构
整个系统由加热、真空系统、充氮、加药和控制模块等5部分组成。
3.1加热模块
由于工艺的整个过程都需要在150℃左右的环境下进行,所以自始至终加热系统都在工作。
本系统采用在腔体外侧加热,采用人工智能PID调节仪实现闭环控制,调节仪控制固态继电器的输出,从而实现温度的精确稳定控制,测温采用通用的高精度热敏电阻Pt100。
3.2真空模块
由机械泵、真空组件、真空测量等组成,主要作用是置换气体和抽走剩余的HMDS蒸汽,不再赘述。
3.3充氮模块
作用是在置换过程中,用氮气来逐渐稀释空气或药液蒸汽,从而最终替换空气或药液蒸汽的气氛。
主要由氮气源、控制阀和喷头组成。
3.4加药模块
加药模块的作用是在需要的时候把药液变成蒸汽,均匀的涂布到晶片表面。
它主要由药液瓶,接口、控制阀和喷头组成。
3.5控制模块
控制模块是本系统的核心模块,它的作用是控制各个模块的动作和时序,完成整个工艺过程。
它主要由人机界面,CPU控制中心,控制接口和输出部件,报警等5部分组成。
人机界面采用台湾威纶通触摸屏来实现参数、状态等界面的显示和参数的设定输入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。
4软件组成
整个控制软件共分4个部分,即自动运行、手动控制、参数设定、帮助。
当按下自动运行键后,画面转换到运行画面,显示当前的工艺状态,运行时间等,同时系统开始运行。
首先打开真空泵、开始抽真空、待腔内真空度达到某高真空度(该值可预设)后,开始充入氮气,充到达到某低真空度(该值也可预设)后的再次重复抽真空、充入氮气的过程,达到设定的充入氮气的次数后再次抽真空,然后充入药液,达到设定时间后,停止充入药液,进入保持阶段。当到达设定的保持时间后,再次开始抽真空、充入氮气,次数为设定值,当系统自动工作完成后,画面切换到结束画面,同时给出声光报警等待取片,在自动工作过程中若出现异常可点击运行画面中的停止键,随时终止程序的运行。5、 HMDS-90真空系统规格参数
内部尺寸:450X450X450
电源: AC220V,功率:3000W
真空度: 常压到—133pa或1TORR以下
材质: 内部SUS316电解处理 外壳SS41静电喷涂。
管路: SUS洁净管
层架; SUS316材质
门内板: 钢化玻璃
流程控制:液晶触摸屏(台湾威纶通)、PLC控制(三菱),流程可编辑,可以预存5组程序。(可根客户要求可以更改流程)
加热方式:腔体外侧加温。 温度:RT+10℃~ 200℃;微电脑温度控制器,控温
精确可靠。控温精度:1℃,真空室温度均匀
氮气装置:氮气进入箱内有调压装置,控制有自动阀完成。
HMDS装置:HMDS药液进入箱内采用压力差吸取瓶内HMDS方式,自动阀控制
真空泵:抽气速度4升\秒
工作流程:
首先打开真空泵、开始抽真空、待腔内真空度达到某高真空度(该值可预设)后,开始充入氮气,充到达到某低真空度(该值也可预设)后的再次重复抽真空、充入氮气的过程,达到设定的充入氮气的次数后再次抽真空,然后充入药液,达到设定时间后,停止充入药液,进入保持阶段。当到达设定的保持时间后,再次开始抽真空、充入氮气,次数为设定值,当系统自动工作完成后,画面切换到结束画面,同时给出声光报警等待取片,在自动工作过程中若出现异常可点击运行画面中的停止键,随时终止程序的运行。
温度交变试验箱http://www.shmaijie.net.cn/产品用途
高低温试验箱:该仪器适用于工业产品高、低温的可靠性试验。对电子电工、汽车摩托、航空航天、船舶兵器、高等院校、科研单位等相关产品的零部件及材料在高、低温(交变)循环变化的情况下,检验其各项性能指标。产品具有较宽的温度控制范围,其性能指标均达到国家标准。
温度交变试验箱设备工作原理
1. 工作原理
制冷工作原理:制冷循环采用逆卡若循环,该循环出两个等温过程和两个绝热过程组成,其过程如下:制冷剂经压缩机绝热压缩到较高的压力,消耗了的功使排气温度升高,之后制冷剂经冷凝器等温地和四周介质进行热交换将热量传给四周介质。后制冷剂经截流阀绝热膨胀做功,这时制冷剂温度降低。最后制冷剂通过蒸发器等温地从温度较高的物体吸热,使被冷却物体温度降低。此循环周而复始从而达到降温之目的。本试验箱之制冷系统采用1套法国产泰康全封闭压缩机所组成的单元氟利昂制冷系统。制冷系统的设计应用能量调节技术,既能保证制冷机组正常运行,又能对制冷系统的能耗及制冷量进行有效的调节,使制冷系统保持在最佳的运行状态。采用平衡调温(BTC),既在制冷系统在连续工作的情况下,控制系统根据设定之温度点通过PID自动运算输出的结果去控制加热器的输出量,最终达到一种动态平衡。
2.满足标准
系列试验箱适用于工业产品恒定湿热的可靠性试验。性能指标符合GB/T2423.1-2001 电工电子产品基本试验规程 试验A:低温试验方法,GB/T2423.2-2001 电工电子产品基本试验规程 试验B:高温试验方法,GB2424.1-89 电工电子产品基本环境试验规程。
推荐产品:步入式气候循环试验室http://www.shmaijie.net.cn/
移动式登车桥:用于现场无装卸货平台或需要流动装卸货物的场所。如果物流现场没有装卸货平台,作为补救措施,移动式登车桥是非常适用的方案之一,移动式登车桥相当于一个移动的钢结斜坡,叉车同样能直接驶入卡车车厢内部进行批量装卸作业。只需单人操作,不需动力电源,即可实现货物的安全快速装卸。
结构: 移动式登车桥采用特制异型钢管,台面采用特制的菱形网格板,防滑(网)板。它的波形钢格网状结构,充分保证了卓越的防滑性能,使叉车有更好的爬坡性和可操纵性。配置的刹车垫(可有效防止货车装卸时液压登车桥移位)。可调节长度的索链能方便地钩住货车,使登车桥与货车始终紧密贴合。 移动式液压登车桥广泛用于无装卸设备的货台及流动装卸场所,是与叉车配合使用的货物辅助设备。借助该设备,叉车能直接驶入汽车车厢内部进行批量装卸作业。只需单人操作,不需动力电源,即可实现货物的安全快速装卸。既可使您减轻劳动强度,又能成倍提高装卸作业效率,加快物料流通速度,获取更大经济效益。
移动登车桥是与叉车配合使用的货物装卸辅助设备,可根据汽车车厢的高低调节高度,叉车可以直接通过本设备驶入车厢内部进行货物的批量装卸,仅需单人作业,即可实现货物的快速装卸。它使企业减少大量劳力,提高工作效率,获取更大经济效益
产品规格:6、8、10吨,与叉车配套使用,设备采用手动液压方式,无需电源 ,省时省力。 液压登车桥使用场所:车型不一的企业、车站、码头、仓储物流基地。 移动登车桥特点:台面采用特制的菱形网格板有可靠的强度,能保证长期使用而不变形。它的菱形网状结构,充分保证了卓越的防滑性能,使叉车有更好的爬坡性和可操纵性。即使在雨、雪天气,仍能保证正常使用。 可调节长度的索链能方便地钩住货车,使移动式登车桥与货车始终紧密贴合。
采用手摇液压泵作动力,勿需外接动力电源即可轻松实现登车桥的高度调节。
配置的刹车垫可有效防止货车装卸时登车桥移位。。 移动登车桥结构:采用特制异型钢管,台面采用特制的菱形网格板,防滑(网)板。它的波形钢格网状结构,充分保证了卓越的防滑性能,使叉车有更好的爬坡性和可操纵性。配置的刹车垫(可有效防止货车装卸时液压登车桥移位)。可调节长度的索链能方便地钩住货车,使登车桥与货车始终紧密贴合.
型号 | 额定温度 | 额定功率 | 电压/相数/频率 | 炉膛尺寸 | 电炉重量 | |
GST-6-1400 | 1400 | 6 | 220v/50HZ | 250*150*150 | 180Kg | |
GST-10-1400 | 1400 | 10 | 380V/3/50HZ | 400*200*200 | 250kg | |
GST-20-1400 | 1400 | 20 | 380V/3/50HZ | 450*250*300 | 300Kg | |
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