测量专场,测量商家多、资料全面第68组

QCSN-AA气动测量头的型号有哪些？

气内测校（通孔）QC SN-A型

φ3~φ150mm

每套气内测校含上下限校对规及气内测头各1支。

与AQF型浮标式气动量仪配套，用作一般形式的通孔测量,适用范围：被测孔长度>6.5 mm的通孔。当被测孔长度<6.5 mm，可设计非标气内测校

　　　　　气内测校使用方法

测量头的标准件是上、下限校对规（环规）各一个，用来校正量仪的倍率。测量时，将测量头插入被测孔内，量仪指示的数值为被测孔内径的误差值。如果将测量头沿被测孔作轴向移动，量仪指示的差值为孔在移动范围内的锥度。如果测量头在被测孔内作相对转动，则可测得被测孔的圆度。

该公司产品分类：非标检具校表专用环规空气过滤器外径测量内径测量电子柱量仪气动量仪

量程: 0～1KPa～10KPa～100KPa～1（MPa）综合精度: 0.2%FS、0.5%FS、1.0%FS 输出信号: 4～20mA（二线制）、0～5V、1～5V、0～10V（三线制）供电电压: 24DCV（12～36DCV）介质温度: -20～85～150℃ 环境温度: 常温（-20～85℃）负载电阻: 电流输出型：最大800Ω；电压输出型：大于50KΩ 绝缘电阻: 大于2000MΩ （100VDC 密封等级: IP65 稳定性能: 0.1%FS/年振动影响: 在机械振动频率20Hz～1000Hz内，输出变化小于0.1%FS 电气接口（信号接口）: 四芯屏蔽线、四芯航空接插件、紧线螺母机械连接（螺纹接口）: 1/2-20UNF、M14×1.5、M20×1.5、M22×1.5等，其它螺纹可依据客户要求设计

ABB测量板/ABB电路板SDCS-PIN-205B-COAT诚信供应

ABB测量板/ABB电路板SDCS-PIN-205B-COAT诚信供应 ABB测量板/ABB电路板SDCS-PIN-205B-COAT大量现货ABB电路板SDCS-PIN-205B-COAT正品直销ABB芬兰原装正品 ABB测量板SDCS-PIN-205B-COAT质保一年售后有保障！变频器的组成－－－－控制盘防护盖控制盘支架外壳骨架接地板可选的适配器组件控制和I/O板 EMC滤波板功率板直流电抗散热片功率半导体支撑扳风机接线盒电机控制和外部I/0端子电机控制和外部端子塑料外壳功率板电抗和其他主电路组件

CI853K01 双RS232-C通信模件 CI867K01 双Mobus TCP通信模件 CI854AK01 Profibus-DP/V1通信模件CI858K01 DRIVEBUS通信模件CI858K01 DRIVEBUS通信模件TK850V007 CEX总线扩展电缆TK851 冗余连接电缆TB850 CEX总线终端（针式）TB851 CEX总线终端（孔式）CI801 通信模件附件

启动，调试，编程和维护工具 DriveWindow Light Vers. 2.xx为随机标准配置 DCS800调试和维护工具 DriveWindow 2.2x及PCMCIA组件见ACS800可选件使用DriveWindow需要同时选用SDCS-COM-8x板 PCI/PCMCIA Adapter （Used for Desktop）见ACS800可选件

IEC61131 编程 DCS800可编程卡内置 +S200 5,100SDCS-MEM-8 可单独购买 3ABD00020797 5,100

ABB励磁单元DCF503B0050 DCF504B0050ABB附件板：DSAB-01CABB接口板：DSSB-01C ABB接口模块ABB主板（电源）：DSMB-01CABB主板（整流桥）：DSMB-02CABB控制板SDCS-PIN-48-COATSDCS-PIN-41A-COATSDCS-PIN-51-COATABB测量板/ABB电路板SDCS-PIN-205B-COATSDCS-PIN-205A-COATSDCS-MEM-8 ABB可编程卡SDCS-FEX-2A-COATSDCS-CON-4-COATSDCS-PIN-4-COATAC-PIN-51-COATABB电源板AC-POW-4ABB控制板AC-PIN-51CABB接口板AC-IOE-2C ABB励磁板/电压检测板AC-PIN-41C/48CAC-CON-2CAC-IOB-23C1 3ADT220120R0003 SDCS-CON-3A ABB控制板查询 2 3ADT220120R0002 SDCS-PIN-3A ABB电源板查询 3 3ADT313600R0001 SDCS-FIS-31A ABB励磁板查询 4 3ADT220077R0009 DCS400-PAN ABB控制盘查询 1 68463815 RMIO-01C ABB主控板-裸板查询 RMIO-11C RMIO-02C RMIO-12C2 64607901 RDCU-02C ABB主控板-成套查询 RDCU-12C 3 64635867 FS300R12KE3/AGDR-61C ABB IGBT-逆变模块查询 4 64635875 FS450R12KE3/AGDR-61C ABB IGBT-逆变模块查询 5 68601649 RINT5514C ABB主电路板查询 6 68262640 RINT6611C ABB主电路板查询 7 68257867 AINT-02C ABB主电路接口板查询 AINT-12C AINT-14C8 64605666 APOW-01C ABB电源板查询 9 68258529 AINP-01C ABB输入控制板查询 10 64378660 CDP 312R ABB控制盘查询 1 61085301 CDP-312 ABB操作盘查询 2 58944106 NIOC-01C ABB I/O控制板查询 3 NIOC-02C ABB I/O控制板查询 4 64008757 NAMC-11C ABB程序板查询 5 NAMC-51C ABB程序板查询通讯协议适配器RMBA: RDNA: RLON: RPBA: RCAN: RCNA: RMBP: RETA: RIBA: RAIO: RDIO: RTAC

MODBUS通讯协议适配器 RMBADEVICENET通讯协议适配器 RDNALONWORKS通讯协议适配器 RLONPROFIBUS-DP通讯协议适配器 RPBACANOPEN通讯协议适配器 RCANCONTROLENT通讯协议适配器 RCNAMODBUSPLUS通讯协议适配器 RMBPETHTRNET通讯协议适配器 RETAINTERBUS-S通讯协议适配器 RIBA扩展模拟I/O模块 RAIO扩展模拟I/O模块 RDIO扩展模拟I/O模块 RTAC脉冲编码器接口模块 RDCO-03DCS800变流器控制板/调试板 ABB变流器的调试板ABB现场总线通讯适

配器NPBA-12 NPBA-01 RMBA-01 RDNA-01RLON-01 RCAN-01 SREA-01 供应ABB可控硅、二极管、IGBT

NCAN-02 NDNA-02 NMBA-01ABB可控硅、二极管、IGBT ABB适配器RUSB-02 ABB控制板RMIO-01C 主接口板 RMIO-11C RMIO-02C SMIO-

01CRDCU-02C 控制板 RDCU-12C 主控板FS300R12KE3/AGDR-61C

驱动模块FS450R12KE3/AGDR-61C 驱动模块FS450R17KE3/AGDR-71C 驱动模块 ABB励磁模块｜VVZF70-16IO7 ABB 变频器

附件/励磁板 SDCS-FIS-31-COAT ABB变频器附件/功率接口板SDCS-PIN-3BFS450R12KE3/AGDR-71C 驱动模块FS225R12KE3/AGDR-62C 驱动模块 ABB电机 QAL100L4B 12500/个FS225R12KE3/AGDR-71C 驱动模块 ABB控制板/ABB驱动板 RINT5514C

RINT5411C RINT5611C GINT5611C ABB电源板 AINT-02C I/O板 AINT-14C AINT-01CAPOW-01C

AINP-01C 可控硅触发板CDP 312R 面板

CM100DY-24A IGBT三菱模块CM150DY-24A IGBT 三菱模块 BSM300GB120DN2 IGBT 西门子模块

SKKH72/16E 西门康可控硅模块 TD162N16KOF 可控硅模块SKKH92/16E ATMB-01C ABB适配器 NPBA-82 NPBA-81 RDIO-01DSSB-01C PAPI-01C FPBA-01 接口模块 FMBA-01RDCO-02C RDCO-03C RDIO-01C NCTI-01RPBA-01 NPOW-42C NPOW-62C OVP-10NPCT-01C AGPS-21C AGBB-01C NDPC-02AOFC-02C NBIO-21C NMBC-01 NDPC-12NDPI-02 NTAC-02 SCA-01接口模块 SKKT42B16E OVP-10 SDCS-FIS-31

A6/12微生物消耗/呼吸测量系统

1、利用呼吸量的测量，来监视微生物成长及受抑制的研究。

2、可做微生物及耗氧量测量的应用。

3、利用氧气浓度的变化造成压力的改变，记录其压力的变化来做分析。

4、试验中可依实际的需求加入O2或空气（其他气体亦可），并可设定压力报警或设定值，可使使用者操纵其过程。

5、每种应用各有二种不同容器可供选择，以适合不同的样品测试

该公司产品分类：食品安全监测仪器

MR-2010二次元影像仪-深圳市明瑞测量仪器有限公司

MR-2010二次元影像测量仪产品用途

二次元影像测量仪广泛用一机械、电子、仪表、模具、五金、轻工业以及院校、研究院、计量检定部门等。本仪器能快速、、精确的检测各种工件、特别是各种复杂工件和细小精密工件的轮廓尺寸和表面型状，如样板、冲压件、螺纹、齿轮、钟表零件、弹簧、塑胶零件、半导体、复杂线路板等。

产品功能

新建文件、打开文件、保存文件、设订比例尺、系统校正、测量角度、测量线段长度、测量距离、测量圆、弧及圆心距，点线、圆弧线段之垂直线，水平线，修改线段、标注尺寸，自动检测、自动寻边，可将当前影像拍下，以图片格式存储。产品特点

二次元影像测量仪测量方便、绘图简单、精确度高、易学易懂、描边过程可以任意调整，直到满意为止、

可以将所绘图形输入AutoCAD，成为完整的工程图。

产品主要参数：

仪器型号 X/Y/Z测量行程 MR2010 MR3020 200X100X150 300X200X200

操作方式手动

放大倍率光学放大倍率0.7-4.5X 影像放大倍率28X-128X 电脑配置 P4高性能测量软件专用电脑示值解析度 1um

测量精度 3+L/200um

影像系统 SONY1/2彩色CCD

工作距离 90mm 光源系统 LED冷光源

重复性 2um

机台重量 100KG

深圳市明瑞测量仪器有限公司深圳市浩鑫测量仪器有限公司

FM-CL100C精密测量显微镜

一、精密测量显微镜——用途

精密测量显微镜是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业开发的。作为高级金相显微镜使用，可用来鉴别和分析各种金属和合金的组织结构，可广泛应用在工厂或实验室进行铸件质量的鉴定、原材料的检验或对材料处理后金相组织的研究分析等工作。

二、主要技术参数

目镜	类别	放大倍数	目视场直径（毫米）
	超宽视场平场目镜	10倍	Φ26
	0.1mm十字分划目镜	10倍	Φ22

物镜	类别	放大倍数	数值孔径（NA）	系统	工作距离（毫米）
	95mm平场无限远长工作距离复消色差	5倍	0.15	干	44
		10倍	0.30		34
		20倍	0.35		29
		50倍	0.50		17

显微镜的总放大倍率	物镜	目镜	镜筒系数	总放大倍数
	5X	10X	1.25X	62.5X
	10X			125X
	20X			250X
	50X			625X

名称	参数	名称	参数
光学系统	无限远光学系统	调焦方式	电动调焦
观察头	三目正像（带有0.3XCCD适配镜）	仪器基座	大理石
镜筒透镜	焦距f=250毫米	显示装置	调零、方向转换、数据输出、TTL讯号
偏光装置	检偏镜可360°旋转。起偏镜和检偏镜均可移出光路
照明方式	落射照明（12V50W卤素灯），下照明（5WLED）
载物台	XY行程200mm×200mm。测量方式：计量光栅。分辨率：0.001mm浮动的功能： X和Y轴快速移动功能
选购件	1、300万像素、500万像素、800万像素、1000万像素COMOS。 2、二维测量软件 3、物镜：2X、100X 4、显微光谱仪

该公司产品分类：显微镜

tfzdh手机电池尺寸测量机使用方法

产品特色：手机电池长宽高测量机额定电压：AC220V

功率范围：300W

产品描述：手机电池长宽高测量机是一款全自动进行电池长度,宽度,厚度尺寸检查的机器,只要设定公差范围,自动进行不良分选,代替人工用夹具检查效率慢,手感差造成误检,整机测试精度高,性能稳定.可通用不同尺寸的电池,软包装电池也可检测.

产品详细:

▲ （一）手机电池长宽高测量机介绍

手机电池长宽高测量机最大的优点就是灵活，效率高。根据设定设定好的电池公差，机器自动完成不良分选。长宽厚尺寸同时进行测量，极大提高生产效率。更换不同电池，只要通过修改公差和标准校正即可。操作非常简单。在如今产品更新换代较快的时代可以极大的节省固定资产的投资。

▲（二）手机电池长宽高测量机优点

1. 通用性强。体积小，可配合流水线作业，更换产品方便。

2. 效率高。长宽厚尺寸同时进行测量；每小时产能1300-1500PCS/小时

3.高精度,测量传感器采用日本三丰和碁恩士知明品牌,控制精度+-0.01mm,

4. 降低工人的劳动强度。传统的手工夹具测量和取放电池需要占用大量的工作时间和精力。

5. 自动化程度高。操作简单，员工讯速掌握操作和调试。一个工人可同时管理几台机器。节省人工。

6. 更换不同电池测量,只需用一个标准块进校正归零,设定上下限公差,3分钟可搞定。

7. 成熟的机械结构,批量化生产,精益的成本控制,最大化机器性价比.

▲（三）手机电池长宽高测量机视频

▲（四）手机电池长宽高测量机性能及参数

机器构造机器毛重：约100KG

外形尺寸：高1100*长1100*宽750(可根据客户订制)

电源： AC 220V 50HZ

功率： 300W

环境温度: -20~40度

机架: 钢板台面，方通烤漆机架

控制说明人机界面触摸屏

程式输入直接坐标示教输入

主机程序控制三菱PLC

通讯串口RS232C,电脑通讯软件

长宽厚测量精度 +-0.01mm

机器产能 1300-1500PCS/小时

检测传感器采用日本三丰和碁恩士知明品牌,控制精度和稳定性有保障.

检测数据存储按照客户要求,要连接电脑和不联电脑存储数据,加装扫描枪扫条码.

适用范围长度:30－－120mm,宽:30－－80mm,厚度3－－20mm也可根据客户产品定制。

不良品的处理放到各自小不良流水线上

▲（五）手机电池长宽高测量机组成及设计说明

(1) 结构组成：主要电池移送部分、长宽厚测量平台、不良分选放置及电气控制系统组成。

(2) 更换产品：可以直接调节长宽厚测量平台上可调螺丝移动距离,校正标准块,设定公差，就可以生产。

(3) 测量一个电池只要2秒。(视电池大小略有差异)。

(4) 测量电池软包装电池和铝壳电池都可以通用.

(5) 设备使用过程中不得损伤产品(如产品变形、划伤、外观损伤等)。

(6) 可靠性、稳定性：设备在产品质量合格的前提下，能每天连续稳定工作，故障率低，适应大规模生产的需要；

▲（六）手机电池长宽高测量机与传统人工比较

效率机器2秒测试一个电池人工可快可慢

可减少员工设定好机器后,不用人员,可节省2-3人

劳动强度机器自动测试人工需要取和放电池和夹具测试,人会疲劳,测试时人工手拿着电池在夹具上滑动,力度不均匀,有时还会误检.

▲（七）腾飞自动化手机电池长宽高测量机的优势

采用滚珠丝杆+直线导轨传动精度高，长时间运行稳定。

采用伺服驱动不存在步进电机的失步，运行速度更高。

采用PLC控制专门开发的电池测量机控制系统，操作人性化。

高精度的测量采用日本三丰和碁恩士知明品牌,控制精度和稳定性有保障.

操作方便智能化输入，调试非常简单。

售后保障一年整机保修,

▲（八）订购说明

1、手机电池规格和要求确定：跟东莞市腾飞自动化设备有限公司取得联系。技术总工:滕生:13650120800确认手机电池是否可行进行自动化测试。免费上门考察，试机。

2、方案价格确定：提供报价、方案或同类产品案例。

3、签定合同：签定合同，提供电池30PCS左右，调试测试机器使用。

▲ （九）成功案例

适用行业

手机电池长宽高测量机广泛应用于手机电池,其它要检测尺寸的方形物体等行业。

东莞市腾飞自动化设备有限公司成立于2008年,是一家专业的自动化设备研发,定制,生产厂家.主营:手机电池长宽高测量机,贴标机,点焊机.橡皮擦移印机,可按客户开发定制非标机器,咨询热线:13650120800

咨询：东莞市腾飞自动化设备有限公司滕生:13650120800 www.dgtf88.com

该公司产品分类：机械行业设备机械设备

测量型传感器

测量型传感器 USDS GS 754 ROD-4 ODSL 8 ODS 25 ODSL 30 ODS 96 CCD-Forked 基本参数功能距离测量，超声波边缘检测，直径识别距离测量，扫描仪，光学距离测量，光学距离测量，光学距离测量，光学距离测量，光学外形尺寸(mm) M 18x104 26,6x81,5x91,5 140x170x135 15x48x38 15x36x27 79x69,2x142,35 30x90x70 M 30x142 20x155x91,5 工作电压 20 - 30 V DC 18 - 30 V DC 24 V DC 10 - 30 V DC 18 - 30 V DC 10 - 30 V DC 10 - 30 V DC 18 - 30 V DC 18 - 30 V DC 18 - 30 V DC （模拟量）（模拟量）（模拟量）输出方式 4 - 20 mA 2 x 模拟量 3 x PNP, 4个防护区域，可切换 4 - 20 mA 1 - 10 V 4 - 20 mA 4 - 20 mA 0 - 10 V 1 - 10 V 1 - 10 V 1 - 10 V 2 x 模拟量模拟量 RS 232 RS 232/485 RS 232/485 RS 232/485 RS 232 RS 422 2 x 模拟量 RS 485 RS 485 1 x PNP 3 x PNP PNP / NPN 1 x PNP 2 x PNP 2 x PNP 接线方式 M 12 M 12 Sub-D 9/15芯 M 12 8芯 M 12 M 12 8芯 M 12，接线端防护等级 IP 67 / IP 65 IP 67 IP 67 IP 67 IP 67 IP 65 IP 67 技术参数（PDF）检测距离 (mm) 50 - 1000 参照开口宽度 up to 50 m 20 - 500 mm 25 - 200 mm 200 - 30,000 mm 60 - 5000 60 - 6000 检测原理超声波光学/LED 光学/激光光学/激光光学/LED 光学/激光光学/LED/激光检测时间 125 - 1000 ms > 10 ms 40 ms/scan < 10 ms < 10 ms 10 - 50 ms / < 7 ms 检测区域宽度 25 mm 1 mm > 0,1 mm 分辨率 ± 1 to ± 9 mm 14 μm 0,01 mm 1 mm 0,5 mm/5 mm 开口宽度 29 mm/100 mm - 开口深度 42 mm - 操作方式电位器，选项终端编程参数设定 Teach-In Teach-In 键盘编程或软件设置参数 Teach-In 参数设定 WIN 95/98/NT 参数设定参数设定其它加热功能可选，Teach-In 编程终端 UPG 5

LM-2 LM-1 LM-2型面积测量仪/GPS系统/欧卡报价

LM-2型面积测绘仪/GPS系统

详细介绍

LM-2型面积测绘仪

LM-2面积测绘仪在测量仪（LM-1）的基础上增加了大容量的FLASH储存器，可记录每个测量点的经纬度数据；配置了数据通讯接口，可与计算机联机通讯；提供专用GIS测绘软件，具有显示图形、添加文本、修正图形、比例尺、指北针、面积周长计算、图形复制与打印等功能，还可将测绘的图形保存到文件中，实现农林土地、水域湖泊、厂矿企业等用地信息的计算机管理。

应用领域：

农业：基本农田管理

林业：林地灾害监控

水利：湖泊水域测绘

土管：土地规划管理

税务：企业用地征税

软件功能：

本软件可以将仪器里

的数据导入到计算机中，

然后通过软件自动画图功

能，将所测的数据显示成

对应的图形，同时还显示

了土地的面积、周长及测

量点经纬度坐标。

软件提供了图形修

正功能可以将测量时不准

确的部分修正，让结果更

与实际符合。可以显示修

正前的面积周长也可以选

择显示修正后的面积与周

长。

添加文本、比例尺、

指北针。

技

术

指

标

1. 测量数据：面积；距离；周长；经纬度；时间；价格 2. 面积测量范围：0-9999999平方米，或0-999999.9 亩；精度：0.1亩或3% 3. 距离测量范围：0-999999.9米；精度: 2米 4. 时间精度：<0.5秒 5. 单价设置：0.5-999.5元/亩 6. 记录存储：128条，掉电保护 7. 电源：4节5号碱性电池 8. 仪器尺寸：156mm×80mm×25mm

应用实例

农机作业收费

园林绿地测绘

不规则地块测量

承包农田测量

企业用地征税

复杂地形或有障碍物地块测量

仪

器

使

用

常

见

问

题

解

答

1.使用卫星信号是否需要月租等额外费用? 不需要。仪器可免费接收卫星信号，就如收音机免费接收电台信号一样。 2.仪器开不了机？尝试多次按“电源”键，检查电池。 3.按测量后，测量点数量没有往上跳？仪器可能设置成手动测方式，这时可以按“保存”键保存测量点来进行测量，或按“功能”键选择自动测，然后进行测量。 4.测量坡地时，所测得数据是否是斜面面积？不是，所得数据是坡地斜面的水平投影面积。 5.行走速度对测量有影响吗？直线行走时没有影响，转弯时应减慢速度。 6.可以跑步，骑自行车，骑摩托车或开汽车测量吗？可以，建议转弯时，减慢速度。 7.阴雨天可以使用测量仪吗？可以，但有雷电时，应停止使用。

Croma系列海克斯康思瑞Croma系列自动三坐标测量机—湖南首选长沙双鑫

海克斯康思瑞Croma系列自动三坐标测量机—湖南首选长沙双鑫

长沙双鑫测量技术有限公司！海克斯康思瑞湖南厂家授权销售！为您提供免费三坐标选型方案！

Croma系列自动三坐标测量机◆采用海克斯康为Croma专业打造的IDC-Ⅰ控制系统，21项误差空间修正技术和自动调偕功能，稳定机器的动态性能和测量精度！◆软件为业界标杆的PC-DMIS BASIC (/PC-DMIS PREMIUM)，功能强大，易学高效！

海克斯康思瑞Croma系列自动三坐标测量机主要特征：◆先进的全铝技术，横梁与Z轴采用表面硬质阳极化航空铝合金，温度一致性极佳；并降低了运动部件的质量和测量机在高速运行时的惯性，保证高速高精度。◆三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损。◆三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺，系统分辨率可达0.078um；同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩。◆X向采用精密60°三角梁专利技术，相比矩形横梁，重心更低，质量刚性比最佳，运动更加可靠。◆Y轴采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度和稳定性。◆Z向采取获得专利的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的精度和长期稳定性。◆各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平稳和准确定位。◆采用海克斯康为Croma专业打造的IDC-Ⅰ控制系统，21项误差空间修正技术和自动调偕功能，保证了机器的动态性能和测量精度。◆软件为业界标杆的PC-DMIS BASIC (/PC-DMIS PREMIUM)，功能强大，易学高效！

海克斯康思瑞Croma系列自动三坐标测量机规格型号与技术指标：

机器型号	Croma564	Croma686	Croma8106	Croma8126
行程（mm)	500	600	800	800
	600	800	1000	1200
	400	600	600	600
测量空间（mm）	634	734	934	934
	144	144	144	144
	594	794	794	794
平台（mm）	783	783	805	805
平台（mm）	1155	1355	1555	1755
支撑(mm)	824	978	1178	1378
支撑(mm)	356	379	379	379
外形尺寸(mm)	1535	1735	1935	2135
	1050	1150	1350	1350
	2247	2647	2729	2729
承重(kg)	300	300	500	500
机器重量（kg)	590	730	1074	1196
MPEo(μm)	2.8 +L/300	2.8+L/300	3.0 +L/300	3.0+L/300
MPEp(μm)	3.5	3.5	3.5	4
光栅尺分辨率（μm）	0.078	0078	0.078	0.078
空间移动速度（mm/s）	520	520	520	520
空问移动加速度（mm/s2 ）	1730	1730	1730	1730
流量/供气压力	120 Nl/min， 0.45 Mpa	120 Nl/min， 0.45 Mpa	120 Nl/min， 0.45 Mpa	120 Nl/min， 0.45 Mpa
温度	20±2℃	20±2℃	20±2℃	20±2℃
湿度	45%-75%	45%-75%	45%-75%	45%-75%

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