美国Aalborg, Aalborg气体质量流量计, Aalborg控制器
美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产厂家,其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。
产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点:-刚性金属结构 -流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm -最大压力500psig(34.5Bar) -泄漏率1*10-7氦气 -NIST系统标定可追踪的证明 -可倾斜的LCD读表 -0-5Vdc或4-20mA信号输出 -电路保护 -可用作便携式的设备 -0到100%比例显示 -可配备流量计算机 精度:±1.5%满量程,包括59℉到77℉的气体温度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的压力。可选±1%满量程(标定精度),在给定的温度与压力值条件下。 重复性:±0.5%满量程 回应时间:实际流速±2%超过满量程25-100%一般2秒 温度系数:0.15%满量程/℃ 压力系数:0.01%满量程/psi(0.07bar) 气体/周围温度:32℉-122℉(5℃-50℃) 输出信号:0-5Vdc,最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻 传感器输出:+12Vdc;最大200Ω。+24Vdc可选 时间恒量:800ms 气体压力:最大1000psig(70bar)。可选20psig(1.4bar) 流体接触面材质:A:GFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环 B:GFC17S,37S,47S,57S,67S,77S不锈钢系列:316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。 方位灵敏度:水平到垂直旋转低于15度;标准校准是在水平位置 连接:GFC17和37:1/4"卡套螺纹VCR®或1/8"卡套可选(GFC17) GFC47:3/8"卡套螺纹 GFC57:3/8"卡套螺纹 GFC67:1/2"卡套螺纹 GFC77:3/4"卡套螺纹 VCR®或3/4"卡套可选(GFC77)
美国FATHOMS是一家生产和销售多种测量范围的气体流量仪表及控制仪表的公司。在其德克萨斯工厂生产全面的热质量流量计及控制器、水平开关以及流量计附件。
美国FATHOM公司,同样为美国国家标准与技术研究院提供行业内的气体流量仪器仪表规范。FATHOMS气体质量流量计
其产品主要有:
1 气体质量流量计
GR系列,GRMF系列,GRHF系列,IL系列,GRF系列
2 压力传感器
特点
1) 热式传感器
2) 1%精度 100:1 量程比
3) 一体化的阀、显示器及设定点
4) 线性化输出(0-5 VDC, 4-20 mA)
5) 单独的电源终端适配器
6) 316不锈钢流体
7) 符合NIST校准
8) 低廉的价位
应用:OEM、实验室、医学、过程控制、制药 、泄漏检测、R & D 、气体混合
FATHOMS气体质量流量计
型号列举:
GR111-3B-PO
GR111-4-B-PO
GR111-5-B-PO
GR112-4-B-PO
GR112-4-B-PO-MF
GR115-1-A-PO-SS
GR112-4-B-PO-MF-SS
GR112-01SS
GR112-04SS
GR115-01SS
GR115-04SS
GR116-01SS
GR116-04SS
MF111-1
MF111-2
MF112-1
MF112-2
HF111-1
HF111-2
HF112-1
HF112-2
GRF201
GRF301
热式气体质量流量计 气体质量流量仪
型号:LT/DY-EP
北京LT/DY-EP热式气体质量流量计使用方法是气体流量计量中新型仪表,区别于其它气体流量计不需要进行压力和温度修正,直接测量气体的质量流量,一支传感器可以做到量程从极低到高量程。它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。它依据的原理是流体吸收热的速度直接与质量流量相关。移动的气体分子撞击热电阻时吸收带走热量,流率越大,接触热电阻的分子越多,吸收的热量越多,热吸收与某种气体的分子数,热学特性和流动特性有关。
·北京LT/DY-EP热式气体质量流量计使用方法不需要温度,压力补偿;·一个流量计能同时兼顾小流量和大流量测量, 特别适合大口径测量。·施工量极小,由于采用插入式结构,只需要在 管道上开一个M20×1.5孔。·带球阀,校正维修方便。·智能数显流量积算仪配套。·基地式仪表可以就地显示和带报警控制。技术性能
热式气体质量流量计是气体流量计量中新型仪表,区别于其它气体流量计不需要进行压力和温度修正,直接测量气体的质量流量,一支传感器可以做到量程从极低到高量程。它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。它依据的原理是流体吸收热的速度直接与质量流量相关。移动的气体分子撞击热电阻时吸收带走热量,流率越大,接触热电阻的分子越多,吸收的热量越多,热吸收与某种气体的分子数,热学特性和流动特性有关。
·不需要温度,压力补偿;·一个流量计能同时兼顾小流量和大流量测量, 特别适合大口径测量。·施工量极小,由于采用插入式结构,只需要在 管道上开一个M20×1.5孔。·带球阀,校正维修方便。·智能数显流量积算仪配套。·基地式仪表可以就地显示和带报警控制。技术性能
产品特点:
技术参数:
机械尺寸:
管道直径 (mm) | 插入深度 (mm) | 探杆总长度(H为壁厚) (按15通径的球阀计算) | 定长 | 流量范围(Nm3/hr) |
80 | 11 | 168+H | 杆长250;直径14 球阀15 | 1000 |
100 | 13 | 170+H | 1600 | |
125 | 16 | 173+H | 2500 | |
150 | 20 | 177+H | 3500 | |
200 | 26 | 183+H | 6500 | |
250 | 33 | 190+H | 10000 | |
300 | 40 | 197+H | 15000 | |
350 | 46 | 203+H | 20000 | |
400 | 53 | 210+H | 25000 | |
450 | 60 | 217+H | 杆长325;直径14 球阀15 | 32000 |
500 | 66 | 223+H | 40000 | |
600 | 80 | 237+H | 55000 | |
700 | 93 | 250+H | 75000 | |
800 | 106 | 263+H | 100000 | |
900 | 119 | 276+H | 130000 | |
1000 | 132 | 289+H | 160000 | |
1100 | 146 | 302+H | 杆长400;直径19 球阀20 | 200000 |
1200 | 159 | 329+H | 230000 | |
1300 | 172 | 343+H | 270000 | |
1400 | 186 | 356+H | 320000 | |
1500 | 199 | 369+H | 360000 | |
1600 | 212 | 382+H | 400000 |
产品型号 | D07-11CM |
产品类型 | 高耐压型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
产品精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
响应时间 | ≤10sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
输入输出信号 | (0~5)VDC |
电源 | ±15V |
阀类型 | 无阀 |
温度系数 | - 无 - |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Male |
工作压差范围 | <0.02 MPa |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
标准接头形式 | 双卡套1/8”(满量程>10slm不适用),双卡套Φ3(满量程>10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,双卡套1/4” |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 1Kg |
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供应日本进口TOFCO东京流量G_THM气体质量流量计:
可以根据客户的要求,来设定流体的流量;
不受外界压力与温度的影响,稳定提供固定的流量;
电源电压DC24V。
咨询方式:壹叁陆捌壹陆捌零叁零贰
TOFCO东京流量
产品名称: | 插入式气体质量流量计 |
产品类别: | SIERRA产品 - 640S气体质量流量计 |
技术特点: | 热式原理,直接测气体质量流量,适用大管道低流速,带在线插拨球阀,量程范围1000:1 |
典型应用: | 空气、沼气、天然气、洁净煤气等气体测量 |
HWRSL系列流量计/流量开关是基于热扩散原理的流量仪表。即是利用流体流过发热物体时,发热物体的热量散失多少与流体的流量成一定的比例关系。具体来说,该流量计的传感器有两只标准级的RTD,一只用来做热源,一只用来测量流体温度,流体流过时,两者之间的温度差与流量的大小成非线性关系,该仪表就可以把这种关系转换为测量流量信号的线性输出。
产品特点:• 采用稳定性极高的专利技术铂RTD传感器• 采用享有专有技术”平衡结构封装”,介质温度自补偿• 专有算法,可实现高线性、高重复性、高精度• 量程比宽1000:1,可据用户要求可拓展• 可实现大管径小流量测量,最小流量可测低至零,分辨率0.001m/s• 无可动部件、振动影响可忽略• 直管段要求不高1-2D• 与介质的温度、压力无关• 专有高温算法,介质温度可达+510℃,• 采用高湿算法,实现高精度测量• 对流量信号键入12点动态修正,内置10点修正• 在线动态校正电流/电压输出• 对粉尘等小颗粒不敏感• 在线不断流装卸,维护方便
HWRSL | 热式气体质量流量计 | |||||||
公程通径 | -XXX | 100表示DN100 | ||||||
安装形式 | G | 管道式 | ||||||
C | 插入式 | 1 | 螺纹连接 | |||||
2 | 法兰连接 | |||||||
公称压力 | A | 0~0.6MPA | ||||||
B | 0~1.0MPA | |||||||
C | 0~1.6MPA | |||||||
D | 0~2.5MPA | |||||||
E | 0~4.0MPA | |||||||
F | 0~6.4MPA | |||||||
G | 0~10MPA | |||||||
H | 0~16MPA | |||||||
工艺条件 | 0 | 普通 | ||||||
1 | 防腐 | |||||||
2 | 防爆 | |||||||
3 | 高温 | |||||||
输入信号 | A | 无输出 | ||||||
B | 4~20MA | |||||||
C | RS485 MODBUS | |||||||
| 1 | 220V AC | ||||||
2 | 24V DC |