kurt j. lesker company pro line pvd 200 是一种模块化、功能齐全的薄膜沉积系统,可实现 8 英寸晶圆转移、多达 8 个溅射阴和 eklipse 高控制软件。pvd 系列在全球拥有 500 多台设备,是一种成熟、坚固且多功能的设计,由 pvd 75 和 200 平台组成。pro line pvd 200 建立在原始设计的成功基础上,改进了系统基础压力和抽空
kurt j. lesker company pvd-batch drum系列由两种标准尺寸(pvd 200 和 pvd 500)组成,可配置为水平或垂直配置。当颗粒物是一个主要问题时,水平配置优先。水平和垂直配置均可用于 3d 涂层的双轴旋转。通过每次运行的沉积面积来衡量的吞吐量范围从几百平方英寸到超过 2000 平方英寸,并且还提供更大的定制系统。