德国 picosun p-1000 pro ald 生产型原子层沉积机,156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(双面/背对背),高达400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(双面/背对背),(w x h x d) 230 cm x 270 cm x 125 cm,标准设备验收标准为 al2o3 工艺.
picosun p-300 advanced ald 高级型原子层沉积机.156 mm x 156 mm硅片50~100片/批次(双面/背对背),高达300 mm x 300 mm玻璃基板10~20片/批次(双面/背对背);roll-to-roll, 衬底最大宽 300 mm。全自动转载,用工业机器人实现,标准设备验收标准为 al2o3 工艺 .