CYG400高频动态压力传感器
产品综述:
在军事工程、化爆试验、石油勘采与试井、材料、力学、土木工程学、岩土力学、创伤医学、液压动力机械试验等科学试验与现代化仪器仪表中,需要不失真地测量一些变化频率高、压力波形上升快陡的动态压力波形与幅值、值,这就要求所用压力传感器具有高的固有频率、极短的上升时间和宽广优良的响应频带,以足够的动态测压精度,本系列产品即是为此设计开发的,它利用微机械加工技术使得集成硅膜片尺寸小,固有频率高;有优良的弹性力学特性,综合性能优于压电动态压力传感器,是动态测压的。
产品型号:
一、CYG401型(高频压力传感器)
1、特 点:采用感压膜片齐平封装设计,消除管腔效应,因而传感器频响极高。
2、量程及动态特性:
量 程 MPa | 1 | 2 | 4 | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有频率 KHz | 180 | 240 | 320 | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升时间 μs | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
3、工作介质温度: -40℃~105℃,特殊措施下可耐瞬时超高温2000℃/20ms
4、补 偿 温 度: J级-10℃~60℃;M级0℃~50℃。亦可按用户要求特订。
5、抗 光 敏 感: J级可加强抗红外及可见光;M级抗可见光
6、精 度 档 级:
指标 档级 | 零点时漂 mv/8h | 零位温度系数 ×10-4/℃.FS | 灵敏度温度系数 ×10-4/℃.FS | 非线性 ±%FS | 不重复性、迟滞 %FS |
JA | 0.1 | 3 | 3 | 0.5 | 0.3 |
JB | 0.1 | 1 | 1 | 0.2 | 0.1 |
MA | 0.2 | 5 | 5 | 0.5 | 0.3 |
MB | 0.15 | 3 | 3 | 0.2 | 0.2 |
1、特 点:本产品为国家攻关项目,采用耐高温S0I型感压膜片齐平封装设计,消除管腔效应。
2、量程及动态特性:
量 程 MPa | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有频率 KHz | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升时间 μs | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
3、工作介质温度:-40℃~200℃,特殊措施下可耐瞬时超高温2000℃/100ms
4、补 偿 温 度:-10℃~150℃,亦可按用户要求特订
5、抗 光 敏 感:抗红外及可见光
6、精 度 档 级:
指标 档级 | 零点时漂 mv/8h | 零位温度系数 ×10-4/℃.FS | 灵敏度温度系数 ×10-4/℃.FS | 非线性 ±%FS | 不重复性、迟滞 %FS |
JA | 0.1 | 5 | 5 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.1 | 1 | 1 | 0.2 | 0.1 |
三、CYG404型(特种高温动态压力传感器)
特 点:本产品为特殊设计专用产品,国家863成果,采用耐高温SOI力敏元件,及特殊结构设 计,
从而传感器仍有较高频响的同时,具有耐平衡高温和瞬时超高温的能力,需特殊订货。
量 程:0~10MPa至0~60MPa全量程覆盖。
固有频率:大于20KHz
工作介质温度:耐平衡高温220℃、瞬时高温2000℃/1000ms(或协商特订)
四、CYG406型(动态微压传感器)
特 点:采用微机械加工微型压阻力敏芯片,及尽量避免管腔效应影响,同时又具有较好抗光影响及介
质导电性影响的准齐平结构设计,因而传感器在低微压量程有较优良的动态频率特性、静态特
性及宽的介质适应能力
量程及动态特性:
量 程 KPa | 1 | 4 | 10 | 25 | 10 | 250 | 600 |
固有频率 KHz | >5 | >5 | >20 | >100 | >150 | >300 | >300 |
上升时间 μs | 5 | 5 | 2 | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 |
工作介质温度:-40℃~105℃,特殊措施下可耐瞬时超高温2000℃/20ms。
补 偿 温 度:J级-10℃~60℃;M级0℃~50℃。亦可按用户要求特订。
指标 档级 | 零点时漂 mv/8h | 零位温度系数 ×10-4/℃.FS | 灵敏度温度系数 ×10-4/℃.FS | 非线性 ±%FS | 不重复性、迟滞 %FS |
JA | 0.15 | 3 | 3 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.1 | 2 | 2 | 0.2 | 0.1 |
MA | 0.3 | 5 | 5 | 0.5(1.0*) | 0.3 |
MB | 0.2 | 3 | 3 | 0.2(0.5*) | 0.2 |
注:*为4MPa以下量程参数
五、CYG409型(水冷高频高温压力传感器)
特 点:本产品为国家创新基金项目成果,采用SOI高温压阻力敏芯片,齐平封装,消除管腔效应,
同时采用强制水冷结构,使得传感器在高温工况下仍具有极优良的高频动态特性。
量程及动态特性:
量 程 MPa | 1 | 2 | 4 | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有频率 KHz | 180 | 240 | 320 | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升时间 μs | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
气体介质温度:J级20℃~450℃;M级20℃~300℃。
供电电源:
传感器输出信号模式的产品,请用恒流源供电,供电电流大小参考产品卡片。无恒流源使用条件的用户,可在订货时说明恒压供电电压,我方可在传感器中加装恒流源,建议使用电压为15VDC或12VDC。
CYG1400高频动态压力变送器
各传感器型号均可配置下列宽带信号处理器,构成宽带动态压力变送器。传感器与信号处理器一体
式结构订货代号:YT;分体式结构订货代号:FT。凡订购动态压力变送器在原传感器型号三位前加“1”,
例:CYG401高频动态压力传感器,CYG1401 YT高频动态压力变送器。
宽带信号处理器,按带宽: 0~20KHz 订货代号MF
0~100KHz 上升时间1us, 订货代号HF
0~200KHz 上升时间0.5us, 订货代号UF
宽带信号处理器一律要求用户采用±15V线性电源供电,推荐采用朝阳军用电源。
动态压力变送器输出信号模式:0~5V(可按用户要求的电压输出模式特订)
注意:动态压力变送器的宽带信号处理器单元只能承受-20℃~100℃温度,高温动态压力变送器使用时
应注意合理使用。
六、CYG1411型(自由场高频动态压力变送器)
特 点:本系列是专为爆破力学实验设计的无反射自由场动态压力传感器,采用MEMS压阻芯片为敏感
元件,因而具有比压电传感器更高的固有频率,快一个数量级的上升时间,上升时间亚微秒
量级1~0.2μs。及从零频率开始的极宽频带响应,且信噪比极好。本产品内装宽带放大器,
可输出0~2V或0~5V的信号。
量 程:0~2MPa至0~60MPa全量程覆盖
固有频率:200KHz~1MHz 可用带宽:0~1/3固有频率
精度等级:
指标 档级 | 精度等级 %FS | 零位温度系数 ×10-4/℃.FS | 灵敏度温度系数 ×10-4/℃.FS | 零位短期时漂 %FS/24h | 稳定性 %FS/1年 |
JA | 1.0 | 5 | 5 | 0.2 | 0.5 |
JB | 0.5 | 3 | 3 | 0.15 | 0.3 |
JC | 0.25 | 1.5 | 1.5 | 0.1 | 0.1 |
产品介绍
压电式压力传感器大多是利用正压电效应制成的。是将压力转换为电信号输出的传感器,压力传感器一般由弹性敏感元件和位移敏感元件(或应变计)组成。弹性敏感元件的作用是使被测压力作用于某个面积上并转换为位移或应变,然后由位移敏感元件或应变计转换为与压力成一定关系的电信号。正压电效应是指:当晶体受到某固定方向外力的作用时,内部就产生电极化现象,同时在某两个表面上产生符号相反的电荷;当外力撤去后,晶体又恢复到不带电的状态;当外力作用方向改变时,电荷的极性也随之改变;晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。
产品特点 灵敏度高,温度范围宽。 应用范围 高频动态压力测量。 技术指标
量程 | 0MPa~2.5MPa,0MPa~4MPa | ||
灵敏度 | (800~1200)pC/MPa | 工作温度 | -40℃~+125℃ |
过载能力 | ≤120%F.S | 抗冲击 | 4500g |
固有频率 | ≥200kHz | 接口 | 螺纹M12×1 |
上升时间 | ≤3μs | 探头直径 | Φ8×4mm |
非线性 | ≤0.5% | 输出信号 | L5 |
特点 | 灵敏度高、温度范围宽 | 应用领域 | 高频动态压力测量 |
美国PCB M132系列超微型高频响爆炸压力传感器:
M132系列超微型高频响冲击波/激波/爆炸压力传感器 | |||||||||||||||||||
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M132系列高频响冲击波/激波/爆炸微型压力传感器:
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PCB小型压力传感器PCB高频动态压力传感器 (冲击波/激波/爆炸)
PCB小型压力传感器PCB高频动态压力传感器 (冲击波/激波/爆炸)
测量范围 | -100KPa~0~10KPa…200KPa...1MPa...100MPa |
过载能力 | 2倍满量程压力(其中100MPa的产品过压为1.1倍满量程压力) |
压力类型 | 表压、绝压、负压 |
测量介质 | 与316不锈钢兼容的气体或液体 |
综合精度 | ±0.1 %FS、±0.25%FS、±0.5%FS、±0.75%FS |
固有频率 | 150KHz~2MHz |
变送器频响 | 0~1KHz~200KHz |
上升时间 | 0~1mS~2μS |
长期稳定性 | 典型:±0.1%FS/年、最大:±0.2%FS/年 |
工作温度 | -40℃~85℃、特殊可为-10℃~200℃ |
零点温度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
灵敏度温度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
供电范围 | 变送器供电:12~36VDC(一般24VDC)、±15VDC开关电源或线性电源 |
传感器供电:恒流:1mA~4mA;恒压:5VDC~24VDC | |
信号输出 | 变送器输出:4~20mA、1~5 V DC、0~10VDC、 0~5V DC |
传感器输出:1.5mV~15mV/V | |
负载电阻 | ≤(U-12)/0.02Ω |
分辨率 | 理论上无限小、通常1/10000 |
绝缘电阻 | 100MΩ,500VDC |
外壳防护 | 电缆线为IP67和接插件连接为IP65 |
振动误差 | ≤±0.01%FS(X、Y、Z轴,200Hz/g) |
接口及壳体 | 不锈钢1Cr18Ni9Ti |
传感器膜片 | 不锈钢316L、硅 |
压力类型 | 表压-G、绝压-A、负压-L | |
测量范围 | 0~ X KPa、 0~ X MPa、 0~ X 压力单位 | |
项 目 | 代 码 | 参 数 |
频响范围 | H1 | 0~1KHz~3KHz |
H2 | 0~10KHz~20KHz | |
H3 | 0~100KHz~200KHz | |
综合精度 | 1 | ±0.25%FS |
2 | ±0.5%FS | |
3 | ±0.75%FS | |
信号输出 | E | 4~20mA |
V1 | 0~5VDC | |
V2 | 0~10VDC | |
V3 | 1~5VDC | |
过程连接 | N1 | M20x1.5 外螺纹 |
N2 | G1/4外螺纹 | |
N3 | G1/2外螺纹 | |
N4 | 客户定制 | |
电气连接 | T1 | 赫斯曼插头 |
T2 | 航空插头 | |
T3 | 电缆出线 | |
特殊定制 | F1 | 自由场(爆破专用) |
F2 | 平衡温度200℃,瞬时可达2000℃ | |
选型举例:AE-H-G-(0-1MPa)-H1-2-E-N1-T3 |
测量范围 | -100KPa~0~10KPa…200KPa...1MPa...100MPa |
过载能力 | 2倍满量程压力(其中100MPa的产品过压为1.1倍满量程压力) |
压力类型 | 表压、绝压、负压 |
测量介质 | 与316不锈钢兼容的气体或液体 |
综合精度 | ±0.1 %FS、±0.25%FS、±0.5%FS、±0.75%FS |
固有频率 | 150KHz~2MHz |
变送器频响 | 0~1KHz~200KHz |
上升时间 | 0~1mS~2μS |
长期稳定性 | 典型:±0.1%FS/年、最大:±0.2%FS/年 |
工作温度 | -40℃~85℃、特殊可为-10℃~200℃ |
零点温度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
灵敏度温度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
供电范围 | 变送器供电:12~36VDC(一般24VDC)、±15VDC开关电源或线性电源 |
传感器供电:恒流:1mA~4mA;恒压:5VDC~24VDC | |
信号输出 | 变送器输出:4~20mA、1~5 V DC、0~10VDC、 0~5V DC |
传感器输出:1.5mV~15mV/V | |
负载电阻 | ≤(U-12)/0.02Ω |
分辨率 | 理论上无限小、通常1/10000 |
绝缘电阻 | 100MΩ,500VDC |
外壳防护 | 电缆线为IP67和接插件连接为IP65 |
振动误差 | ≤±0.01%FS(X、Y、Z轴,200Hz/g) |
接口及壳体 | 不锈钢1Cr18Ni9Ti |
传感器膜片 | 不锈钢316L、硅 |
压力类型 | 表压-G、绝压-A、负压-L | |
测量范围 | 0~ X KPa、 0~ X MPa、 0~ X 压力单位 | |
项 目 | 代 码 | 参 数 |
频响范围 | H1 | 0~1KHz~3KHz |
H2 | 0~10KHz~20KHz | |
H3 | 0~100KHz~200KHz | |
综合精度 | 1 | ±0.25%FS |
2 | ±0.5%FS | |
3 | ±0.75%FS | |
信号输出 | E | 4~20mA |
V1 | 0~5VDC | |
V2 | 0~10VDC | |
V3 | 1~5VDC | |
过程连接 | N1 | M20x1.5 外螺纹 |
N2 | G1/4外螺纹 | |
N3 | G1/2外螺纹 | |
N4 | 客户定制 | |
电气连接 | T1 | 赫斯曼插头 |
T2 | 航空插头 | |
T3 | 电缆出线 | |
特殊定制 | F1 | 自由场(爆破专用) |
F2 | 平衡温度200℃,瞬时可达2000℃ | |
选型举例:AE-H-G-(0-1MPa)-H1-2-E-N1-T3 |