被测气体分别流经两个层流区,一路通过主流量管道,另一路通过毛细测量管。
两个管路的设计保证流体处于层流状态,因此两个管路流量比是恒定的。
两个精密的温度感应绕组在测量管上被加热,当有流量产生时,被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上。产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。
测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系,采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。
根据被测气体的质量流量,输出0-5VDC或者4-20mA信号。
经过两个层流区的气体混合后流过具体特定孔径的电磁比例阀,质量流量测量与电磁比例阀组成闭环的控制系统,使流量稳定在设定的流量值上。
在一定范围内温度和压力的变化不会影响流速。参数规格:
产品名称:气体流量控制器 精度: 精度%FS
型号 GFC17,37,47 GFC57,67,77
流量范围 0-100% 20-100% 0-20%
精度 ±1% ±1.5% ±3%
可选精度%FS
型号 GFC17 GFC37,47,57,67,77
流量范围 0-100% 20-100% 0-20%
精度 ±1% ±1% REF DATA with ±1%
校准:标况【14.7psia(101.4kpa),70℉(21.1℃)】
重复性:±0.25%满里程、
响应时间:在满里程的25-100%范围内,2秒内达到2%精度
温度系数:0.05%满里程/℃
压力系数:0.01%满里程/psi(0.07bar)
推荐气体压力:25psig(1.73bars)
最大气体压力:GFC17,37,47最大1000psi(70bars).GFC57,67,77最大500psig(34.5bars)
量程比:40:1
最大压差:GFC17/37/57/67/77 50psi(3.4bars),GFC47 40psi(2.7bars)
气体和周围温度:32℉-122℉(0℃-50℃),14℉-122℉(-10℃-50℃),干燥气体
方位灵敏度:水平到垂直旋转低于15度;标准校准是在水平位置
输出信号:线性0-5Vdc(3000ohms最小负载阻抗);线性4-20mA(500ohms最大回路电阻)最大噪声±20mV
控制信号:远程设定模式:模拟0-5Vdc或4-20mA;NPN兼容清洗/关阀
连接:GFC17and37:1/4"卡套连接
可选6mm,1/4VCR,3/8或1/8卡套
GFC47:3/8"卡套
GFC57:3/8"卡套
GFC67:1/2"卡套
GFC77:3/4"FNPT.可选:3/4"卡套
泄漏率:氦气泄漏率1*109sml/s
输入电源:+12Vdc,800mA;可选+24Vdc,650mA
回路保护:电路板内置极性保护,自动恢复电阻保护电源过载输入
显示:3-1/2数字LCD,0.5"英寸高字符
CE认证:EN55011class1,classB;EN50082-1
上海琅琨仪表的技术结晶-微小流量的测量
1.微小气体测量方案,选用进口品牌VFC101型,全不锈钢设计,接口采用螺纹连接和软管两种连接方式,测量管径DN3-DN20,测量范围最小可以达到5SCCM-25SLM测量精度可达0.8,可以实现实时通讯,在实验室和工厂均有成熟的案例。 2.微小液体测量方案,采用上海琅琨仪表(www.lkmeter.com)的品牌LKEF电磁流量计,最小特制管径达到DN10,最小流量范围0.0064m3/H,管道内衬采用聚氨酯橡胶,的避免了普通氯丁橡胶在小管径易脱落的缺陷,针对小管径低流速的特点,采用计算机精确对比法,按照客户指定的流量范围特殊标定流量,精度可达到0.5%,上述小管径测量方式在合肥臣僚化工有限公司得到的试用,使客户的成品合格率提高了5个百分点,得到了客户的好评。 3.微流速解决方案,在客户部分流速0.003M/S,普通的流量计已不能显示数据,上海琅琨仪表公司(www.lkmeter.com)的LKUF超声波流量计,采用铠装式磁性探头,特别处理了表面,加大探头功率,采用进口TDC的芯片,加快芯片处理速度,流速可以显示0.0026M/S,最小管径可做到DN15,此类应用广泛的应用于消防水检漏和小流量报警系统中,已在各石油化工企业消防部队和海军后勤基地得到大量的应用。 |
上海琅琨仪表的技术结晶-微小流量的测量
1.微小气体测量方案,选用进口品牌VFC101型,全不锈钢设计,接口采用螺纹连接和软管两种连接方式,测量管径DN3-DN20,测量范围最小可以达到5SCCM-25SLM测量精度可达0.8,可以实现实时通讯,在实验室和工厂均有成熟的案例。 2.微小液体测量方案,采用上海琅琨仪表(www.lkmeter.com)的品牌LKEF电磁流量计,最小特制管径达到DN10,最小流量范围0.0064m3/H,管道内衬采用聚氨酯橡胶,的避免了普通氯丁橡胶在小管径易脱落的缺陷,针对小管径低流速的特点,采用计算机精确对比法,按照客户指定的流量范围特殊标定流量,精度可达到0.5%,上述小管径测量方式在合肥臣僚化工有限公司得到的试用,使客户的成品合格率提高了5个百分点,得到了客户的好评。 3.微流速解决方案,在客户部分流速0.003M/S,普通的流量计已不能显示数据,上海琅琨仪表公司(www.lkmeter.com)的LKUF超声波流量计,采用铠装式磁性探头,特别处理了表面,加大探头功率,采用进口TDC的芯片,加快芯片处理速度,流速可以显示0.0026M/S,最小管径可做到DN15,此类应用广泛的应用于消防水检漏和小流量报警系统中,已在各石油化工企业消防部队和海军后勤基地得到大量的应用。 |
主要技术指标
质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量单位为:mL/min(毫升/分钟);(SCCM行业标准)
L/min (升/分钟)。 (SLM行业标准)
标准状态为:温度----273.15K(0℃);
气压----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示满量程值
表1 S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标
编号 | 项目 | S49 32/MT |
1 | 流量规格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10)L/min |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
4 | 准确度 | ±1.5%F.S |
5 | 线性 | ±1.5%F.S |
6 | 重复精度 | ±0.2%F.S |
7 | 响应时间 | ≤8秒(T95) |
8 | 工作压差范围 | (50~300)kPa; (100~300)kPa(10L/min) |
9 | 耐压 | 3MPa; 10MPa |
10 | 工作环境温度 | (5~45)℃ |
11 | 材料 | 不锈钢316L |
12 | 标准密封材料 | Viton®, EPDM, 或其他由用户指定 |
13 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s |
14 | 接头 | Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定 |
15 | 输入输出信号 | (0~+5.00)V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) |
16 | 供电电源 | ±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA) |
17 | 外形尺寸mm | 130(宽)×102(高)×28(厚) |
18 | 重量kg | 0.8 |
S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)特点:
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合MT-60 系列流量积算仪,可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域:
半导体制造行业的气体流量控制;
分析仪器设备的气体计量与控制;
各种形式的真空镀膜设备;
环境检测与分析设备;
化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制;
特种材料表面处理装置与燃烧控制;
混气配气系统和泄露探测系统等。
微小气体流量计 低耐压型质量
D-600CD数字型质量流量计
特性:D-600CD 产品采用单电源供电(6~16VDC);一体显示,也可以直接连电脑显示;数字,模拟输入输出;具有多气体多量程,高精度,极低零漂,软起动功能及强大的免费客户端使用软件。
1、 两种输入方式:1、1 模拟输入 :外部 0~5VDC或4~20 mA ;可选内部物理量(0~5VDC或4~20mA 状态下的% 、满量程)输入1、2 数字输入: PC上位机软件设定(RS232 或者RS485)2、两种输出方式:2、1 模拟输出 : 0~5VDC或4~20 mA ;2、2 数字输出:通过 RS232 或者RS485 输出到PC机
D-600MD数字型质量流量控制计主要指标:流量规格(N2):可选, (0~1,5,10,20,50,100,150,200)SCCM;
(0~1,5,10,20,30)SLM
准确度: ±1%F.S.线性: ±0.5%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.响应时间: ≤1Sec工作压差范围: (0.05~0.3)MPa最大耐压: 10Mpa工作环境温度: 5~65℃电气连接: 8 针(小型圆插头)输入/输出信号 Digital:RS232/RS485 ; Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA电源: 6~16VDC ;1A标准接头: Swagelokφ6;Swagelok 1/4″;VCR1/4″
产品实拍图:
SFC4000技术规格:-高精度:设定点的0.8%(10%~100%满量程) -超快响应:<100ms -量程范围:0~0.05/0.5/2/5/20 ln/min-数字化标定&温度补偿 -标准接口(0~5V) -标准供电电压:24V -标准的机械接口:G1/4”-提供NIST-traceable标定证书
应用领域:-分析仪器 -干刻(RIE/DRIE)-生物技术 -气相色谱分析-激光焊机 -过程自动化-真空镀膜 -燃料电池