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EM22EM22 自动椭圆偏振测厚仪

EM22自动椭圆偏振测厚仪是基于消光法（或称“零椭偏”）椭偏测量原理，针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款自动测量型教学仪器。

EM22仪器适用于纳米薄膜的厚度测量，以及纳米薄膜的厚度和折射率同时测量。

EM22仪器还可用于同时测量块状材料（如，金属、半导体、介质）的折射率n和消光系数k。

特点

经典消光法椭偏测量原理

仪器采用消光法椭偏测量原理，易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。

方便安全的样品水平放置方式

采用水平放置样品的方式，方便样品的取放。

紧凑的一体化结构

集成一体化设计，简洁的仪器外形通过USB接口与计算机相连，方便使用。

高准确性的激光光源

采用激光作为探测光波，测量波长准确度高。

丰富实用的样品测量功能

可测量纳米薄膜的膜厚和折射率；块状材料的复折射率、样品反射率、样品透过率。

便捷的自动化操作

仪器软件可自动完成样品测量，并可进行方便的测量数据分析、仪器校准等操作。

安全的用户使用权限管理

软件中设置了用户使用权限（包括：管理员、操作者等模式），便于仪器管理和使用。

可扩展的仪器功能

利用本仪器，可通过适当扩展，完成多项偏振测量实验，如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。

应用

EM22适合于教学中单层纳米薄膜的薄膜厚度测量，也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。

EM22可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。

技术指标

项目	技术指标
仪器型号	EM22
测量方式	自动测量
样品放置方式	水平放置
光源	He-Ne激光器，波长632.8nm
膜厚测量重复性^*	0.5nm （对于Si基底上100nm的SiO₂膜层）
膜厚范围	透明薄膜：1-4000nm 吸收薄膜则与材料性质相关
折射率范围	1.3 – 10
探测光束直径	Φ2-3mm
入射角度	30°-90°，精度0.05°
偏振器方位角读数范围		偏振器步进角	样品方位调整	Z轴高度调节：16mm 二维俯仰调节：±4°
允许样品尺寸	样品直径可达Φ160mm
配套软件	* 用户权限设置 * 多种测量模式选择 * 多个测量项目选择 * 方便的数据分析、计算、输入输出
最大外形尺寸	约400400250mm
仪器重量（净重）	约20Kg
选配件	* 半导体激光器

注：（1）测量重复性：是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。

性能保证

ISO9001国际质量体系下的仪器质量保证
专业的椭偏测量原理课程
专业的仪器使用培训

该公司产品分类：在线椭偏仪激光椭偏仪光谱椭偏仪

o 仪器测量精度：在10nm处误差为±0.5nm； o 光学中心高度：75㎜； o 允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜； o 外形尺寸：730 x230X 290； o 主机重量：30kg；测量范围：1nm～4000nm； o 测量最小值：≤1nm； o 镀膜折射率范围：1.3 ~ 2.49 o 入射角：40°～90°　　误差≤0.05°； o 偏振器方位角范围：0°～180°；仪器测量精度：在10nm处误差为±0.5nm；光学中心高度：75㎜；允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；外形尺寸：730 x230X 290；主机重量：30kg；偏振器步进角：0.0375°/步；本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分，外观参看右图。1、　光源：采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是：光强大、光谱纯、波长稳定性好。2、　接收器：采用光电倍增管⑤，把光讯号变为电讯号，经放大后输出至微机，由微机选择出消光位置的角度值。3、　主机部分：除以上两项外，还有起偏组件②，样品台③，检偏组件④。4、电子及通讯部分⑥：采集光强及对应的角度值并传输到计算机，再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。

BXS10-SGC-I椭圆偏振测厚仪椭圆偏振厚度测定仪椭圆偏振厚度仪出租

椭圆偏振测厚仪椭圆偏振厚度分析仪椭圆偏振厚度仪

型号:BXS10-SGC-I

※ 测量范围 1nm-300nm

※ 测量小值 ≤1nm

※ 入射角 30°- 90° 误差≤0.1°

※ 偏振器方位角读数范围 0°- 180°

※ 度盘刻度每格2度

※ 游标小读数 0.05°

※ 光学中心高度 152

※ 工作台直径 ?70

※ 外形尺寸 730*230*290

※ 主机重量 20kg

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型号:BXS10-SGC-I

※ 测量范围 1nm-300nm

※ 测量最小值 ≤1nm

※ 入射角 30°- 90° 误差≤0.1°

※ 偏振器方位角读数范围 0°- 180°

※ 度盘刻度每格2度

※ 游标最小读数 0.05°

※ 光学中心高度 152

※ 工作台直径 ?70

※ 外形尺寸 730*230*290

※ 主机重量 20kg

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北京LT/SGC-1A自动椭圆偏振测厚仪使用方法

自动椭圆偏振测厚仪偏振测厚仪

型号：LT/SGC-1A

北京LT/SGC-1A自动椭圆偏振测厚仪使用方法仪器参数

测量范围1nm-300nm测量最小值≤1nm入射角30°- 90°误差≤0.1°偏振器方位角读数范围0°- 180°度盘刻度每格2度游标最小读数0.05°光学中心高度152工作台直径φ70外形尺寸730*230*290主机重量20kg

北京LT/SGC-1A自动椭圆偏振测厚仪使用方法仪器参数

仪器参数

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