重现性
<0.002MM
外形尺寸(L×W×H)
541×460×705mm
解析力标准
0.4um
台面大小
460×313mm
位移驱动
0.1um
机台重量
80kg
线性精度
±(2+L/150) um
放大倍数
15X-100X
精度
±2um
台面荷重
36kg
X行程
200mm
测量速度
500mm/min
Y行程
100mm
CCD
SONY高清晰