产用途:结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用域包含:玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光碟/影碟、精密微机电元件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、IC封装、材料分析与微表面研究等。
产特点:● 纳米深度3D检测● 高速、无接触量● 表面形状、粗糙度分析● 非透明、透明材质皆适用● 非电子束、非雷射的安全量测● 低维护成本
的3D图形处理与分析软体(Post Topo):● 提供多功能又具友好界面的3D图形处理与分析● 提供自动表面平整化处理功能● 提供高阶标准片的软件自校功能● 深度、高度分析功能提供线性分析与区域分析等两种方式● 线性分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Roughness)与起伏度● (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer)● 区域分析方式提供图形分析与统计分析● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
高速精密的干涉解析软件(ImgScan):● 系统硬件搭配ImgScan处理软件自动解析白光干涉条纹● 垂直高度可达0.1nm● 高速的分析算法则,让你不在苦候测量结果● 垂直扫描范围的设定轻松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择● 平台X、Y、Z位置数字式显示,使检测目标寻找快速又便利● 具有手动/自动光强度调整功能以取得佳的干涉条纹对比● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择● 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌● 具有自动补点功能● 可自行设定扫描方向
万濠rational 纳米白光干涉仪AE-100M技术规格参数:
型号 | AE-100M | ||
移动台(mm) | 平台尺寸100*100 ,行程13*13 | ||
物镜放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
观察与量测范围(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
光学分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
工作距离 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
传感器分辨率 | 640*480像素 | ||
机台重量(kg)/载重kg | 20kg/小于1kg | ||
Z轴移动范围 | 45mm , 手动细调;可订制150mm | ||
Z轴位置数字显示器 | 分辨力1μm | ||
倾斜调整平台 | 双轴/手动调整 | ||
高度测量 | |||
测量范围 | 100(μm)(400μm ,选配) | ||
量测分辨力 | 0.1nm | ||
重复精度 | ≤ 0.1% (量测高度:>10μm) | ||
≤10nm(量测高度1μm 10μm) | |||
≤ 5nm(量测高度:<1μm ) | |||
量测控制 | 自动 | ||
扫描速度(μm/s) | 12(高) | ||
光源 | |||
光源类型 | 仪器用卤素(冷)光源 | ||
平均使用寿命 | 1000小时100W 500小时(150W) | ||
光强度调整 | 自动/手动 | ||
数据处理与显示用计算机 | |||
中央处理运算屏幕 | 双核心以上CPU | ||
影像与数据显示屏幕 | 21" 双晶屏幕 | ||
操作系统 | Win7 | ||
电源与环境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
环境振动 | VC-C等以上 | ||
测量分析软件 | |||
量测软件ImgScan | ImgScan测量软件:具VSI/ PVSI/PSI 测量模式(PSI量测模式需另选配PSI模块搭配) | ||
分析软件PosTopo | ISO 粗燥度/阶高分析,快速传利叶转换和滤波,多样的2D和3D 观测视角图,外形/面积/体积分析,图像缩放、标准影像文件格式转换 报表输出,程序教导测量等。 |
万濠rational 纳米白光干涉仪AE-100M
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品牌: | SNU | 型号: | SIS 2000 | 操作方式: | 自动 |
功能: | 检测、观察、分析 | 精度 : | 1nm | ||
其它型号: | SIS 1200 |
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Talysurf CCI 6000白光干涉仪 随着科技潮流,非接触式的量测至今已被广泛的应用在生产及研发上,而Taylor Hobson经多年的研发于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉仪可堪称目前世界上精度最高功能最强的白光干涉仪,,其超高解析度的特性(0.1Å),可以运用在量测晶圆 ,微机电及抛光元件等产品的粗糙度 平面度 及膜厚分析等,而非破坏性的特性更可以有效的量测软性物质,在迈入奈米纪元同时相信Talysurf CCI 6000绝对是各大企业不可少的量测系统。 Talysurf CCI 6000白光干涉仪: &解析度(Z轴) 0.01nm (0.1Å) &测量范围(Z轴) 100um &测量范围(X x Y) 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm(依物镜倍率不同可自由选择) &1024 x 1024 高解析量测点数 &受测物的反射率 0.3% - 100% (透明物亦可量测) 硬件及软件 &气浮式防震系统已隔绝楼板震动‧隔离罩以隔离外在环境避免影响量测精度 &相容于Windows 2000及 Windows XP 系统 CCI干涉仪 Mirau 干涉 白光干涉仪3D分析软件 &Talymap 3D & 2D 分析软体。 &可分析项目: 粗度 平面度 波纹 膜厚 体积计算 承压比值 等等。 &微机电尺寸计算(距离 高度 等计算)‧表面频谱分析(FFT) MEMS Sensor Optics Diamond Turned& Wafer Step Talysurf CCI 6000白光干涉仪应用: &MEMS 微小尺寸计算 &Silicon Wafer 表面粗度 平面度 &非球面镜表面粗糙度 &硬碟 光碟表面组织形状 &OLED PDP LCD 膜厚分析计算
供应张家港常熟靖江扬州厂家二次元三次元白光干涉仪智泰集团南通办事处主要从事光学影像量测仪、三维激光抄数机、光谱仪、无损探伤仪、白光干涉仪、三坐标测量仪和投影仪在苏北地区的销售和售后服务。 同时也承接各种精密测量仪器技术咨询,测量仪维修,改造服务。 公司生产的仪器广泛应用于机械加工、汽配、摩配、制冷、家电、厨具、电机、电动工具、轴承、精密五金、精密工具、刀具、模具、冲压制品、光学元件、塑胶制品等行业。可测轴承套圈、滚针、滚子、钢球、电机轴、电机换向器(整流子)、花键轴、齿轮轴、凸轮轴、曲轴、圆柱销、活塞销、活塞、缸套、气门、阀门、齿轮、凸轮、油泵油嘴、液压件、气动件、纺机配件等工件相关参数;适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室、车间在线检测等。我公司产品使用范围广,成立十年来一直畅销于各行各业. Super View超大行程系列基本信息品牌: 3DFAMILY 型号: SV1200 操作方式: 自动功能: 三维测量 精度 : 4.5μm 软件: OVM Pro其它型号: SV1500 SV1000
产品介绍 Super View超大行程系列量测仪是3DFAMILY又一创新力作,产品拥有多项专利设计,弥补了目前市场上销售各品牌大行程机型的多项缺陷。 产品特点1、采用流线型外观,减少运行时的阻力,提率。2、模块化设计,超大行程移动桥架式结构,运行性能稳定,且机构稳定不变形。3、的低阿贝误差,测量精度大幅度提升。4、日本三洋伺服马达,X、Y轴加装德国高减速比减速机减少马达负载、提高运行速度使运行速度快、稳定。5、Y轴同步传动X轴硬件闭环结构,确保运行时不会出现左右偏摆或甩尾的现象。技术参数 具体型号 SV-1200测量行程(X/Y/Z) 1000×1200×200(mm)机台尺寸(长/宽/高) 1800×2500×1500(mm)机台承重 20KG机台 底座、立柱和横梁材料为高精度花岗石光源材质 LED冷光源精度 (4.5+L/200)?m放大倍率 光学放大率:0.7X-4.5X,影像放大率:28X-180X光学尺解析度 1?m重复性 4.5?m操作方式 自动显示器 17"液晶电源供给 220±10%适宜温度 、湿度 温度:20±2℃ 湿度:55%-65%保修期 一年应用领域大型钣金件、PCB板及目前最热门的TFT产业的刀模、背光板、绝缘材料、面版、边框行业等 附件CCD、镜头、光学尺、LED冷光源、OVM Pro软件等
白光干涉仪:非接触式三维表面形状测量仪可以沿垂直轴方向对被测物体进行扫描,它采用光学干涉技术,精密测量样品的表面形状分布。 与共聚焦显微镜、调焦显微镜等三维表面测量技术相比,该表面形状测量仪具有更高的垂直分辨率。
Sunny VSI三维表面形状测量仪可安装在配套的三维数控平台上,实现横向扫描。
系统构成1)光学照明系统2)光学成像系统3)垂直扫描控制系统:4)信号处理系统:5)应用软件:6)显示器
应用领域LED晶片基板测量表面粗糙度/平整度分析硬盘悬臂焊接点的直径测量太阳能电池纹理缺陷检测
参数 白光干涉仪型 号 Sunny VSI 垂直测量分辨率 0.05um 横向测量分辨率 2.767um/plxels 图像分辨率 768*576 plxels 扫描体积 2.125mm*1.593mm*100um 均方根值重复精度 <0.5nm
白光干涉仪网址 www.-china.com
德国BMT WLIRing 干涉仪 |
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德国BMT WLIRing 干涉仪 该测量系统用于快速准确测量圆柱形工件的表面形貌,计算粗糙度参数,微型结构,及内外部表面特征。 特点 l 对内外层都可进行测量 l 光滑粗糙表面都可进行测量 l 测量结果不受工件的颜色和材料影响 l 数秒内进行快速测量 l 用于在线测量的OEM测量头 l 光源:LED l 垂直分辨率(nm):<1 l 水平分辨率(μm):≥1 l 焦距,大约(mm):1 l 测量区域的尺寸:由物体决定 l 图像尺寸(Pixel):1000×1000 移动平台 l Z轴(mm):10~50 l 步进速度(μm/min):1 |
产特点:● 纳米深度3D检测● 高速、无接触量● 表面形状、粗糙度分析● 非透明、透明材质皆适用● 非电子束、非雷射的安全量测● 低维护成本
的3D图形处理与分析软体(Post Topo):● 提供3D图形处理与分析● 提供自动表面平整化处理功能● 提供高阶标准片的软件自校功能● 深度、高度分析功能提供线性分析与区域分析等两种方式● 线性分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Roughness)与起伏度● (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer)● 区域分析方式提供图形分析与统计分析● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
高速精密的干涉解析软件(ImgScan):● 系统硬件搭配ImgScan处理软件自动解析白光干涉条纹● 垂直高度可达0.1nm● 高速的分析算法则,让你不在苦候测量结果● 垂直扫描范围的设定轻松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择● 平台X、Y、Z位置数字式显示,使检测目标寻找快速又便利● 具有手动/自动光强度调整功能以取得佳的干涉条纹对比● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择● 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌● 具有自动补点功能● 可自行设定扫描方向技术规格参数:
型号 | AE-100M | ||
移动台(mm) | 平台尺寸100*100 ,行程13*13 | ||
物镜放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
观察与量测范围(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
光学分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
工作距离 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
传感器分辨率 | 640*480像素 | ||
机台重量(kg)/载重kg | 20kg/小于1kg | ||
Z轴移动范围 | 45mm , 手动细调 | ||
Z轴位置数字显示器 | 分辨力1μm | ||
倾斜调整平台 | 双轴/手动调整 | ||
高度测量 | |||
测量范围 | 100(μm)(400μm ,选配) | ||
量测分辨力 | 0.1nm | ||
重复精度 | ≤ 0.1% (量测高度:>10μm) | ||
≤10nm(量测高度1μm 10μm) | |||
≤ 5nm(量测高度:<1μm ) | |||
量测控制 | 自动 | ||
扫描速度(μm/s) | 12(高) | ||
光源 | |||
光源类型 | 仪器用卤素(冷)光源 | ||
平均使用寿 | 1000小时100W 500小时(150W) | ||
光强度调整 | 自动/手动 | ||
数据处理与显示用计算机 | |||
中央处理运算屏幕 | 双核心以上CPU | ||
影像与数据显示屏幕 | 17 " 双晶屏幕 | ||
操作系统 | Windows XP(2) | ||
电源与环境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
环境振动 | VC-C等以上 | ||
测量分析软件 | |||
量测软件ImgScan | ImgScan测量软件:具VSI/ PVSI/PSI 测量模式(PSI量测模式需另选配PSI模块搭配) | ||
分析软件PosTopo | ISO 粗燥度/阶高分析,快速传利叶转换和滤波,多样的2D和3D 观测视角图,外形/面积/体积分析,图像缩放、标准影像文件格式转换 报表输出,程序教导测量等。 |
获取报价请电议,或者访问中图仪器与我们取得联系,http://www.chotest.com SuperView W1 1200光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。
SuperView W1 1200光学3D表面轮廓仪只需操作者装好被测器件,在软件测量界面上设置好视场参数,调整镜头到接近器件表面,选择自动聚焦,仪器会对器件表面进行自动对焦并找到干涉条纹,调节好干涉条纹宽度后即可开始进行扫描测量;扫描结束后,软件分析界面自动生成器件3D图像,操作者可通过软件对生成的3D形貌进行数据处理与分析,获取表征器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。
SuperView W1 1200 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法,它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,其光源模式保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。
系统软件为简体中文操作系统,操作方便。
二、 产品功能1.行业域和应用对象
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。