产品介绍
1、高精度测针型 CNC 表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状 / 轮廓的测量。
2、X1 轴和 Z2 轴的最大驱动速度分别为40mm/s 和 200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓 / 多工件测量的效率。3、 X1 轴和 Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨率 [X1 轴分辨率 ：6.25nm, Z1 轴分辨率 ：4nm/8nm（CS-5000CNC）, 1nm/2nm （CS-H5000CNC）] 的轮廓 / 形状测量、表面粗糙度的批量测量。
4、Z1 轴检出器采用主动控制方式，减少 Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
5、Z1 轴检出器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。
6、 CS-5000CNC 带有 a 轴，可以通过电动旋转 X1 轴连续测量水平面和倾斜面。
7、带有 Y 轴工作台的型号，可沿 Y 轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。
8、提供易于操作的控制盒，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。
9、通过USB端口与数据处理/分析装置（选件）进行信息交换。
产品属性
X1 轴测量范围 : 200mm
分辨率 : 0.00625μm
检测方法 : 激光全息光栅尺
驱动速度 : 最大 40mm/s （CNC 模式）0 - 40mm/s （操纵杆控制模式）
测量速度 : 0.02 - 0.2mm/s （表面粗糙度）0.02 - 2mm/s （形状/轮廓）
测量方向 : 向前／向后
直线度 : （0.1 0.0015L）μm 使用标准测针（0.2 0.0015L）μm使用二倍长型测针直线度 : （0.05 0.0003L）μm 使用标准测针（0.1 0.0015L）μm使用二倍长型测针（CS-H5000CNC）指示精度 （20oC）: ±（0.3 0.002L）μm指示精度 （20oC）: ±（0.16 0.001L）μmL 为驱动长度 （mm）Z1 轴
测量范围 : 12mm （使用标准测针）24mm （使用二倍长型测针）
分辨率 : 0.004μm （使用标准测针）0.008μm （使用二倍长型测针）0.001μm （使用标准测针）（CS-H500CNC）0.002μm （使用二倍长型测针）（CS-H500CNC）测针上／下运作 : 弧形运动
检测方法 : 激光全息光栅尺指示精度 （20oC）: ±（0.3 I0.02HI）μm指示精度 （20oC）: ±（0.07 I0.02HI）μmH 为测量高度 （mm）测力 : 4mN （使用标准测针）0.75mN （使用二倍长型测针）
跟踪角度 : 向上 60o, 向下 60o（取决于表面粗糙度）
测针方向 : 向下
其他说明
福建精析仪器有限公司位于交通方便的厦门市区中心，一直致力于实验室精密测量仪器代理销售，专业销售日本三丰Mitutoyo千分尺、卡尺、高度尺、厚度尺、粗糙度仪、轮廓仪、圆度仪、工业显微镜、投影仪、三坐标测量机等全系列产品，欢迎广大客户来电咨询选购