1.由于将X轴、Z轴加以数字化,所以不必完全仰赖于测定倍率的大小,即可做到大范围的高分解能测定。
2.与计算机连接并加上计算机解析软件「Formpak-1000」,即可做出各式各样的测定与分析。
3.若不连接计算机,亦可连接XY绘图机,并可在绘图机专用的数据处理机上先行确认图形或量测方式是否正确。产品参数
测量范围 | 50mm(CV-1000)或100mm(CV-2000) | ||
分辨率 | 0.2μm | ||
测量方法 | 反射型光栅尺 | ||
驱动速度 | 0.2mm/s\\\\\\\\1mm/a和手动 | ||
测量速度 | 0.02-5mm/s | ||
测量方向 | /向后 | ||
直线度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm(当X轴在水平方向上 | ||
指示精度 (20℃) | ±(3.5+2L/100)μm L为驱动长度(mm) | ||
倾斜范围 | ±45°(CV-2000) | ||
Z1轴 | 测量范围 | 25mm(CV-100)或40mm(CV-2000) | |
分辨率 | 0.4μm(CV-1000系列) 0.5μm(CV-2000系列) | ||
测量方法 | 弧形编码器 | ||
指示精度 (20℃) | ±(3.5+14H/25)μm) H为水平位置上的测量高度(mm) | ||
探针上下运作 | 弧形运动 | ||
探针方向 | 向下 | ||
测力 | 10-30mN | ||
跟踪角度 | 向上 | 77° | |
向下 | 87° | ||
探针针尖 | 半径 | 25μm | |
材料 | 硬质合金针尖 | ||
基座尺寸(WxH) | 750x600mm(CV-2000) | ||
基座材料 | 花岗岩(CV-2000) | ||
重量 | 主机 | 5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4) | |
控制装置 | 14kg | ||
遥控箱 | 0.9kg | ||
电源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
能耗 | 150W仅限主机 |
型号CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8测量范围X 轴100mm 200mmZ1 轴(检测部) 60mm (水平位置±30mm)Z2 轴(立柱) 移动量300mm 500mm 300mm 500mm检测器(Z1 轴 : 检测器)测量单元圆弧光栅尺分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm测针上/ 下运作弧形移动移动方向向前/ 向后 双方向测针方向CV-3200 系列 : 向上/ 向下(单独测量)、CV-4500 系列 : 向上/ 向下(上下可连续测量)测力CV-3200 系列 : 30mN (根据配重调整)、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN (根据软件转换)跟踪角度向上77o、向下83o(根据表面粗糙度*1 使用标准单切面测针)驱动部标尺X 轴 激光全息光栅尺Z2 轴(立柱) ABS 光栅尺分辨率X 轴 0.05 μmZ2 轴(立柱) 1 μm驱动速度X 轴0 ~ 80mm/s 外加手动Z2 轴(立柱) 0 ~ 30mm/s 外加手动测量速度X 轴 0.02 ~ 5mm/s直线度*2 X 轴 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm倾角范围X 轴 ±45o指示精度(20oC)CV-3200系列X 轴 ±(0.8+0.01L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 1.8 μm/100mm窄范围 : 1.05 μm/25mm ±(0.8+0.02L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 4.8 μm/200mm窄范围 : 1.3 μm/25mm Z1 轴(检测部) ±(1.6+ ?? 2H ?? /100)μm H= 为水平位置上的测量高度(mm)CV-4500系列X 轴 ±(0.8=0.01L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 1.8 μm/100mm窄范围 : 1.05 μm/25mm ±(0.8=0.02L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 4.8 μm/200mm窄范围 : 1.3 μm/25mm Z1 轴(检测部) ±(0.8+ ?? 2H ?? /100)μm H= 为水平位置上的测量高度(mm)外观尺寸(W×D×H)主机*3 756×482×966 mm756×482×1166 mm1156×482×1176 mm766×482×966 mm766×482×1166 mm1166×482×1176 mm遥控箱221×344×490 mm遥控箱 248×102×62.2 mm重量主机140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg遥控箱14kg遥控箱 0.9kg使用温度范围15 ~ 25oC (校正时和测量时的温度变化在±1o)使用湿度范围20 ~ 80%RH (无凝结状态)保存温度范围-10 ~ 50oC保存湿度范围5 ~ 90%RH (无凝结状态)*1
型号CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8测量范围X 轴100mm 200mmZ1 轴(检测部) 60mm (水平位置±30mm)Z2 轴(立柱) 移动量300mm 500mm 300mm 500mm检测器(Z1 轴 : 检测器)测量单元圆弧光栅尺分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm测针上/ 下运作弧形移动移动方向向前/ 向后 双方向测针方向CV-3200 系列 : 向上/ 向下(单独测量)、CV-4500 系列 : 向上/ 向下(上下可连续测量)测力CV-3200 系列 : 30mN (根据配重调整)、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN (根据软件转换)跟踪角度向上77o、向下83o(根据表面粗糙度*1 使用标准单切面测针)驱动部标尺X 轴 激光全息光栅尺Z2 轴(立柱) ABS 光栅尺分辨率X 轴 0.05 μmZ2 轴(立柱) 1 μm驱动速度X 轴0 ~ 80mm/s 外加手动Z2 轴(立柱) 0 ~ 30mm/s 外加手动测量速度X 轴 0.02 ~ 5mm/s直线度*2 X 轴 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm倾角范围X 轴 ±45o指示精度(20oC)CV-3200系列X 轴 ±(0.8+0.01L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 1.8 μm/100mm窄范围 : 1.05 μm/25mm ±(0.8+0.02L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 4.8 μm/200mm窄范围 : 1.3 μm/25mm Z1 轴(检测部) ±(1.6+ ?? 2H ?? /100)μm H= 为水平位置上的测量高度(mm)CV-4500系列X 轴 ±(0.8=0.01L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 1.8 μm/100mm窄范围 : 1.05 μm/25mm ±(0.8=0.02L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 4.8 μm/200mm窄范围 : 1.3 μm/25mm Z1 轴(检测部) ±(0.8+ ?? 2H ?? /100)μm H= 为水平位置上的测量高度(mm)外观尺寸(W×D×H)主机*3 756×482×966 mm756×482×1166 mm1156×482×1176 mm766×482×966 mm766×482×1166 mm1166×482×1176 mm遥控箱221×344×490 mm遥控箱 248×102×62.2 mm重量主机140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg遥控箱14kg遥控箱 0.9kg使用温度范围15 ~ 25oC (校正时和测量时的温度变化在±1o)使用湿度范围20 ~ 80%RH (无凝结状态)保存温度范围-10 ~ 50oC保存湿度范围5 ~ 90%RH (无凝结状态)*1
三丰轮廓仪CV-1000技术参数
X1轴
测量范围: 50mm
分辨率: 0.2μm
测量方法:反射型光栅尺
驱动速度: 0.2, 1mm/s和手动
测量速度: 0.2, 0.5mm/s
测量方向:向后
直线度: 3.5μm/50mm , *当X轴在水平方向上
指示精度:±(3.5+2L/100)μm * L为驱动长度(mm)
Z1轴(检测器)
测量范围: 25mm
分辨率: 0.4μm
测量方法:弧形编码器
指示精度:±(3.5+I4HI/25)μm (20°C时) *H为水平位置上的测量高度(mm)
探针上/下运作:弧形运动
探针方向:向下
测力: 10 - 30mN
跟踪角度:向上:77°、向下:87°(根据表面粗糙度,使用标准单切面探针)
探针针尖半径: 25μm、硬质合金针尖
重量: 5kg
电源: 100 - 240VAC±10%, 50/60Hz
能耗: 150W (主机)
型号CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8测量范围X 轴100mm 200mmZ1 轴(检测部) 60mm (水平位置±30mm)Z2 轴(立柱) 移动量300mm 500mm 300mm 500mm检测器(Z1 轴 : 检测器)测量单元圆弧光栅尺分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm测针上/ 下运作弧形移动移动方向向前/ 向后 双方向测针方向CV-3200 系列 : 向上/ 向下(单独测量)、CV-4500 系列 : 向上/ 向下(上下可连续测量)测力CV-3200 系列 : 30mN (根据配重调整)、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN (根据软件转换)跟踪角度向上77o、向下83o(根据表面粗糙度*1 使用标准单切面测针)驱动部标尺X 轴 激光全息光栅尺Z2 轴(立柱) ABS 光栅尺分辨率X 轴 0.05 μmZ2 轴(立柱) 1 μm驱动速度X 轴0 ~ 80mm/s 外加手动Z2 轴(立柱) 0 ~ 30mm/s 外加手动测量速度X 轴 0.02 ~ 5mm/s直线度*2 X 轴 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm倾角范围X 轴 ±45o指示精度(20oC)CV-3200系列X 轴 ±(0.8+0.01L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 1.8 μm/100mm窄范围 : 1.05 μm/25mm ±(0.8+0.02L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 4.8 μm/200mm窄范围 : 1.3 μm/25mm Z1 轴(检测部) ±(1.6+ ?? 2H ?? /100)μm H= 为水平位置上的测量高度(mm)CV-4500系列X 轴 ±(0.8=0.01L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 1.8 μm/100mm窄范围 : 1.05 μm/25mm ±(0.8=0.02L)μm L 驱动长度(mm)宽范围 : 4.8 μm/200mm窄范围 : 1.3 μm/25mm Z1 轴(检测部) ±(0.8+ ?? 2H ?? /100)μm H= 为水平位置上的测量高度(mm)外观尺寸(W×D×H)主机*3 756×482×966 mm756×482×1166 mm1156×482×1176 mm766×482×966 mm766×482×1166 mm1166×482×1176 mm遥控箱221×344×490 mm遥控箱 248×102×62.2 mm重量主机140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg遥控箱14kg遥控箱 0.9kg使用温度范围15 ~ 25oC (校正时和测量时的温度变化在±1o)使用湿度范围20 ~ 80%RH (无凝结状态)保存温度范围-10 ~ 50oC保存湿度范围5 ~ 90%RH (无凝结状态)*1