- 行程范围:X轴------500mmY轴-----400 mmZ轴------400 mmT轴------360° (可选)
- 传动方式:(德国)高精密光杠+空气轴承+(日本)伺服电机
- 反馈系统:RENISHAW(雷尼绍)开放式光栅尺,分辨率为0.001 mm
- 控制方式:高速PCI 四轴运动控制卡
- 图像采集系统(可选):(比利时)Euresys 高速图像采集卡+(日本)精工镜头+ 低照度高分辨率CCDX、Y、Z轴的直线度:≤0.005mmX、Y、Z轴的定位精度:≤±(2+L/250)μm
- 机台:高精度花岗岩平台
- 使用环境:温度≤85℃,湿度≤95℃
- 整机尺寸:1.2 m X 1.4 m X 2.2 m
- 整机重量:850 kg
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