产品简介
薄膜测厚仪适用于塑料薄膜、薄片的厚度测试,还可适用于纸张、纸板的厚度测试、箔片、硅片、金属片的厚度测试、纺织材料的厚度测试、固体电绝缘体的厚度测试。产品相册常用型号TSY-35型
参数规格
1、分度值0.001mm量程0-1mm
2、上下测量面为平面时,测量面对试样施加的负荷为0.5N到1.0N之间。
3、上下测量面为凸/平面时,上测量面的曲率半径在15-50(mm)时,其测量面对试样施加的负荷为0.1N-0.5N之间。
4、测量精度
100μm以内 精度1μm
100μm到250μm精度2μm
250μm以上 精度3μm
使用方法
1.测试前先把千分表清零,并拨动操纵杆试几次回零后,再进行测试。操作时轻抬轻放以免损坏测足及仪表。
2.用手指按下操纵杆使测足上抬,将被测物置于工作台、测足之间。轻放操纵杆,此时表的读数即被测物的厚度,
3.使用完毕后将仪器装入盒内并置于干燥处防止受潮。品质保证
1、我厂出售的所有产品保修期为一年,保修期内免费上门维修(人为因素或不可抗拒的自然现象所引起的故障或破坏除外)。
2、用户可以通过售后电话咨询有关技术问题,并得到明确的解决方案。
3、用户在正常使用中出现性能故障时,本公司承诺以上保修服务。除此以外,
国家适用法律法规另有明确规定的,本公司将遵照相关法律法规执行。
4、在保修期内,以下情况将实行有偿维修服务;
(1)由于人为或不可抗拒的自然现象而发生的损坏;
(2)由于操作不当而造成的故障或损坏;
(3)由于对产品的改造、分解、组装而发生的故障或损坏;
(4)未在一个月内回传本页《售后服务承诺书》。合作单位天津工业大学、中国矿业大学、新疆水利水电勘测设计研究院、新疆水利水电科学研究院、新疆城建集团、吉林长春水科院、吉林银河水利水电新技术有限公司、路桥建设贵州试验检测有限公司、深圳市政工程总公司、大连理工大学、中交第一航务工程局有限公司、武警水电四支队、中国中铁六局集团、中国铁建十二局集团、中铁三局、江西水利水电建设有限公司中心实验室、华南理工大学、北京城建集团、青岛市建筑材料研究院、兰州交通大学、甘肃省土木工程科学研究院、青海省建设工程设计研究院、长江水利委员会长江科学院
公司介绍
河北三思试验设备科技有限公司始建于一九九五年 是专业化生产建筑防水材料系列、土工合成材料系列,建筑节能材料系列、高速、公路、铁路、以及水利测试仪器等方面的生产企业,并与实力雄厚的天津科技大学通力合作,共谋发展。集科研开发、加工制造、经营经销于一体的高新技术企业。 ,是目前国内生产公路试验仪器、建筑试验仪器的重点骨干企业。在国内具有较高的知名度,本厂设备一流,检测手段完善,技术力量雄厚。产品严格按照,国家标准设计生产,多次在国家重点工程中标。我厂现有员工230余人,其中大专以上技术人员58人,自1995年起,我厂开始生产销售公路建筑仪器,经过十多年的努力,我厂产品不断推陈出新,自主创新,同时吸收国内国外的先进技术,现经营的仪器有十几个大系列(沥青试验仪器系列 压力机 能试验机系列混凝土,水泥,砂浆试验仪器系列 公路,铁路检测系列 土工试验仪器系列试验箱系列 试模系列 天平仪器系列 建筑材料燃烧性能测试仪系列建筑节能仪器系列 土工合成材料测试仪器系列 筛具/振筛机系列建筑防水材料测试仪器系列)我厂是河北专业生产仪器设备的专业厂,产品以最低价格、最新的型号、最好的质量供应用户。
适用范围:本仪器广泛应用于各种透明半透明塑料薄膜、纸张等产品的在线测量监控。
功能:采用精密“口”字形扫描机构连续对被测物进行宽度方向上的左右扫描,工业用计算机采集数据,具有数据处理、扫描测量、任意点定点测量、图形曲线显示、偏差报警、数据存储等功能。
特 点:采用无污染红外测量法,连续对被测物进行非接触、无损伤厚度测量,采样速度快,精度高,性能稳定,工控机作为主处理系统,操作简单,人机界面友好,图形与数据同时显示,厚度变化一目了然。
测量方式:
1、扫描式:主要应用于各种流延膜、压延膜、伸缩膜等薄膜制品的在线测量监控,采用“口”字形精密扫描机构左右来回扫描测量。
2、定点式:主要应用于吹膜、肠衣等产品的在线定点测厚,或用于实验室检验。
技术参数:
1、 测量范围:0~400um;
2、 精度:±1%H±0.1um;
3、 分 辨 率:0.1um;
4、 扫描宽幅:按照客户要求制定。
DRK-204A高精薄膜测厚仪
型 号 | 数显分辨率 | 最大示值误差 | 测量范围 |
DRK204A | 0.1μm | ±(0.4+0.04L)μm | 0-10mm |
DRK204B | 0.01μm | ±(0.1+0.01L)μm | 0-10mm |
DRK204C | 0.001μm | ±(0.03+0.003L)μm | 0-10mm |
MLTX150P 型声光报警器/价 MLTX-150P MLTX150P 声光报警器/价 HBJ-5 声光报警器/价格/生 HBJ-5 HBJ5 声光报警器/价格/生 YH-5 声光报警器/价格/生 YH-5 YH5 声光报警器/价格/生 TBJ-185 型便携式声光报警 TBJ-185 TBJ185 便携式声光报警 KTC-110 型声光报警器/价 KTC-110 KTC110 声光报警器/价 KTC-6 型声光报警器/价格/ KTC-6 KTC6 声光报警器/价格/ DWJ-10 型声光报警器/价 DWJ-10 DWJ10 声光报警器/价 DWJ-10L 型声光报警器/价 DWJ-10L DWJ10L 声光报警器/价 DWJ-5 声光报警灯/价格/生 DWJ-5 声光报警灯/价格/生 DWJ-5 DWJ5 声光报警灯/价格/生 DWJ-5L 声光报警灯/价格/ DWJ-5L DWJ5L 声光报警灯/价格/ MTC1 声光报警器/价格/生 MTC1 MTC-1 声光报警器/价格/生 MTED型φ125mm 声光报警器 MTED型φ125mm 声光报警器 MTCDW 声光报警器/价格/生 MTCDW 声光报警器/价格/生 MTHD2 型双喇叭声光组合报 MTHD2 MTHD-2 双喇叭声光组合报 MTHD 型声光报警器/价格/ MTHD 声光报警器/价格/ SAL125D 型声光报警器/价 SAL125D
GB/T 6672台式薄膜测厚仪 包装薄膜厚度测定仪LabthinkPARAM博每 CHY-C2A测厚仪产地:济南兰光机电技术有限公司品牌:Labthink兰光咨询热线:0531-85068566、15764121171
参数规格
| leeb 210 | leeb211 | ||
测头类型 | F1(不可拔插) | N1(不可拔插) | ||
工作原理 | 磁感应 | 电涡流 | ||
测量范围 | 0~1250μm | |||
低限分辨率 | 0.1μm | |||
示值误差 | 一点校准 | ±(3%H+1) | ||
二点校准 | ±[(1~3%)H+1] | |||
测试条件 | 最小曲率半径mm | 凸1.5 | ||
最小面积直径mm | Φ7 | |||
基本临界厚度mm | 0.5 | |||
工作环境 | 温度 | 0~40℃ | ||
湿度 | 20%~90% | |||
磁场 | 无强磁场环境 | |||
电源 | AAA型碱性电池两节 | |||
外形尺寸 | 115×70×30mm (主机) | |||
重量 | 152g | 195g |
测厚仪<
测厚仪 20012IS 分度值 0.01 mm 测量范围 0 – 10 mm 弓形架深度 50 mm 误差极限 15 μm | 测厚仪 20093IS 分度值 0.01 mm 测量范围 0 – 0.5 mm 弓形架深度 50 mm 界面 RS 232 误差极限 5 μm | 测厚仪 20009IS 分度值 0.01 mm 测量范围 0 – 10 mm 弓形架深度 18mm 误差极限 15 μm |
测厚仪技术参数
型号 | 分度值 mm | 量程 mm | 颈深 mm | 提升器 | 测量头形状 | |
标准型 | 可选,非标准型 | |||||
20001IS | 0,1 | 10 | 15 | 无 | 6,35 mm Φ 平头 | 10 mm Φ 平头,凸起或球形 |
20045IS | 0,1 | 20 | 50 | 无 | 6,35 mm Φ 平头 | 10 mm Φ 平头,凸起或球形 |
20002IS | 0,1 | 10 | 15 | 无 | c | a, b, d 或 e |
20066IS | 0,1 | 10 | 50 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20003IS | 0,1 | 20 | 50 | 无 | c | a, b, d 或 e |
20004IS | 0,1 | 30 | 50 | 无 | c | a, b, d 或 e |
20043IS | 0,1 | 50 | 50 | 无 | c | a, b, d 或 e |
20005IS | 0,1 | 30 | 100 | 无 | c | a, b, d 或 e |
20006IS | 0,1 | 30 | 200 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20007IS | 0,1 | 30 | 300 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20008IS | 0,1 | 30 | 400 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20042IS | 0,01 | 8 | 12 | 有 | 6,35 mm Φ 平头 | 球形 |
20009IS | 0,01 | 10 | 18 | 有 | 6,35 mm Φ 平头 | 10 mm Φ平头, 凸起或球形 |
20011IS | 0,01 | 10 | 45 | 有 | 6,35 mm Φ 平头 | 10 mm Φ平头, 凸起或球形 |
20012IS | 0,01 | 10 | 50 | 无 | c | a, b, d 或 e |
20067IS | 0,01 | 10 | 50 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20048IS | 0,01 | 10 | 50 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20099IS | 0,01 | 10 | 50 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20015IS | 0,01 | 30 | 50 | 无 | c | a, b, d 或 e |
20076IS | 0,01 | 30 | 50 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20087IS | 0,01 | 25 | 50 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20013IS | 0,01 | 5 | 50 | 有 | 滚子测头 | |
20038IS | 0,01 | 5 | 50 | 有 | 滚子测头,无侧面夹合垫片 | |
20086IS | 0,01 | 10 | 50 | 有 | 滚子测头 | |
20098IS | 0,01 | 10 | 50 | 有 | 滚子测头,无侧面夹合垫片 | |
20039IS | 0,01 | 10 | 50 | 有 | 适合测量管壁 | |
20049IS | 0,01 | 10 | 50 | 有 | 适合测量管壁 | |
20055IS | 0,01 | 20 | 50 | 有 | 适合测量波纹 | |
20014IS | 0,01 | 10 | 100 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20051IS | 0,01 | 10 | 100 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20079IS | 0,01 | 30 | 100 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20089IS | 0,01 | 25 | 100 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20017IS | 0,01 | 10 | 200 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20052IS | 0,01 | 10 | 200 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20018IS | 0,01 | 30 | 200 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20046IS | 0,01 | 25 | 200 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20019IS | 0,01 | 10 | 300 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20053IS | 0,01 | 10 | 300 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20083IS | 0,001 | 1 | 30 | 有 | 6,35 mm Φ 平头 | 上测量头为半球形 |
20084IS | 0,001 | 1 | 30 | 有 | 6,35 mm Φ 平头 | 上测量头为半球形 R15 |
上测量头为半球形 R 40 | ||||||
平头 10 mm Φ 球形 | ||||||
下测量头为半球形 R 15 | ||||||
20080IS | 0,001 | 5 | 50 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20054IS | 0,001 | 10 | 50 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20093IS | 0,001 | 25 | 50 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20095IS | 0,001 | 25 | 100 | 有 | c | a, b, d 或 e |
20047IS | 0,001 | 25 | 200 | 有 | c | a, b, d 或 e |
CORDIX 快速测厚仪
CORDIX 快速测厚仪 | CORDIX 快速测厚仪 | CORDIX 快速测厚仪 |
快速测厚仪因其测量范围和测量深度广泛、测头形式多等优点,在生产中得到了广泛应用。 由特殊轻金属合金制作而成的高刚性构架,使操作更为简便并且适应长时间测量。测头和指示表壳具有防腐性。SERIE 3000的直角测杆可以最大限度的减小摆动对于测量的影响,尤其是可以避免扭转对测量带来的干扰。 应用时,请注意正确选择测量仪的测量深度(T)、测量范围(B)和测头(F) |
CORDIX 快速测厚仪参数表:
SERIE 3000 | 1/10mm | [F]=测头形式 | |||||||||
型号 | 测量范围[B]=mm | 测量深度[T]=mm |
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a | b | c | d | e | f | h | i | ||||
726M-001 | 0-10 | 15 |
| ●* |
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| |
726M-002 | 0-25 | 30 | ● | ● | ● | ● | 〇 | 〇 |
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| |
726M-003 | 0-30 | 50 | ● | ● | ● | ● | 〇 | 〇 |
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| |
726M-004 |
|
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| ● | ● | |
726M-005 |
| 150 | ● | ● | ● | ● | 〇 | 〇 |
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| |
726M-006 |
| 275 | ● | ● | ● | ● | 〇 | 〇 |
|
| |
726M-007 |
| 420 | ● | ● | ● | ● | 〇 | 〇 |
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| |
726M-008 |
| 600 | ● | ● | ● | ● | 〇 | 〇 |
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726M-009 | 0-50 | 50 | ● | ● | ● | ● | 〇 | 〇 |
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| |
726M-010 |
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| ● | ● | |
726M-011 |
| 275 | ● | ● | ● | ● | 〇 | 〇 |
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726M-012 | 30-80 | 50 | ● | ● | ● | ● | 〇 | 〇 |
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SERIE | 1/100mm | 注: ●标准测头;〇特殊测头 | |||||||||
726M-013 | 带偏差表 0-10 | 50 | ● | ● | ● | ● |
| ||||
726M-014 | ● | ● | ● | ● | |||||||
726M-015 | 150 | ● | ● | ● | ● | ||||||
726M-016 | 275 | ● | ● | ● | ● | ||||||
726E-001 | 带数显表 0-10 | 50 | ● | ● | ● | ● | |||||
726E-002 | ● | ● | ● | ● | |||||||
726E-003 | 150 | ● | ● | ● | ● | ||||||
726E-004 | 275 | ● | ● | ● | ● |
注:CORDIX快速测厚仪要定期依据. DIN ISO 9000 ff标准进行重新校准;请寻求. KORDT提供校准服务。我们根据要求提供带质量证书的检具并提供定期的校准。
详情请咨询北京伊斯来福电话:陈先生,邮箱:islive@islive.com.cn,或者访问产品详情页面薄膜测厚仪,厚度测量仪
一、超高精度薄膜测厚仪配置
Mahr Millitron高精度薄膜测厚仪1240 包含:
1.高精度型显示器1240(分辨率:0.01um)
2.高精度型电感测头1340
3.脚踏提升器1340/1F
4.Mahr 小型比较仪座820N
5.Mahr Millimar 薄膜测厚仪专用统计分析软件
二、超高精度薄膜测厚仪应用范围
薄膜测厚仪主要用于塑料薄膜、薄片、隔膜、纸张、箔片等各种材料的厚度精确测量。广泛应用于薄膜生产企业、质检机构、研究院校等对薄膜厚度有严格要求的领域。
高精度型显示器1240与传感器1340配合使用,可以实现4000μm量程范围内的高精度测量。
测量分辨率可达0.01μm,可实现超高的测量精度。
测量结果可通过数字显示也可以在刻盘上以指针显示,满足不同的读数要求。
Millimar 1240可连接计算机,通过在计算机中安装我司开发的MarCom薄膜测厚仪专用统计分析软件,可实现测量数据手动或自动采集,实时统计分析最大值,最小值,平均值,偏差值等,可实现高频率测量。
三、高精度型显示器1240产品特性
• 对测量值进行高精度处理
• 可在测量范围内的任意点置零
• 按一下按钮, 即可获得标准的实际值
• 具有对1个特征统计x-bar、s、r、和n的功能
• 公差显示(可以调节滞后性)
• 公差带可在整个范围内设置
• 可进行常规分级
• 长时间稳定的存储极值
• 2个Mahr兼容的电感测头输入口,用于单个、叠加、比较测量
• RS232C接口用于连接打印机/电脑/数据记录器
• 模拟输出用于连接记录器
• 所有功能均可通过RS232C口进行控制
• 标准配置:操作说明书和电源连接
• 标准配置:操作说明书和电源连接
四、高精度型显示器Millimar 1240技术参数
型号 | Millimar 1240显示设备 | ||
显示方式 | 指针/数字 | ||
指针显示(量程可选) | 数字显示 | ||
量程(μm) | 分辨率(μm) | 量程(μm) | 分辨率(μm) |
±1 | 0.02 | ±200 | 0.01 |
±3 | 0.1 | ±2000 | 0.1 |
±10 | 0.2 | 在测量范围内的误差分布 | |
±30 | 1 | 模拟显示 | ≤1.5 % |
±100 | 2 | 数字显示 | ≤0.01% |
±300 | 10 | 模拟输出 | ≤1 % |
±1000 | 20 | 响应时间 | 15 ms |
±3000 | 100 | 耗电量 | 约30 VA |
±10000 | 200 | 模拟输出电压 | ± 5 V |
数据输出 | RS 232 C | 信号灯 | 3 |
极限开关量 | 2 | 控制输出 | 3 |
零位调节 | 在任意位置置零 | 输出类型 | TTL |
外形尺寸(W x H x D) | 156x 195 x 120 mm | 重量 | 2.3 kg / 5.07 lbs |
单个/组合测头测量 | +A, -A , +B, -B, A+B, +A-B, -A+B, -A-B | ||
动态测量功能 | Max, Min, Max-Min,(Max+Min)/2, mean | ||
工作温度范围 | +10 . . . +40°C / + 50. . . + 104° F | ||
电源要求 | 230 V~ /115 V~ ± 10%, 50–60 Hz (可切换) | ||
统计功能 | n, xn, x, s, R | ||
防护等级 | 依据DIN IP40 |
五、电感测头Millimar 1340详细介绍
型号 | Millimar(马尔) 1340电感侧头 | ||
测量范围 | ±2mm | 提升/回退 | 真空提升 |
上限位 | -2.2mm | 重复性误差fw | ≤0.08μm |
下限位 | ﹢3.0mm | 滞后性误差fu | 0.08μm |
电子零点处的测力 | 0.75N±0.15N | 灵敏度经过修正后的线性误差 | |
灵敏度误差 | 0.3% | 在±0.3量程内 | — |
测力增量 | 0.08N/mm | 在±0.5量程内 | — |
缆线长度 | 1.5m(可提供加长线) | 在±1.0量程内 | 0.15μm |
防护等级 | IP64 | 在±2.0量程内 | 0.4μm |
兼容类型—Mahr | 仅使用于Millimar(马尔)1240 |
六、Mahr Millimar 薄膜测厚仪专用统计分析软件MarCom
厚度测量仪,电线电缆测厚仪,薄膜测厚仪产品简介本测厚仪符合GB527《硫化橡胶物理试验方法的一般要求》、GB5723《硫化橡胶试验用试片和制品尺寸测量的一般规定》及《橡胶测厚计技术条件》中有关规定。手提橡塑测厚仪,可随身携带,手持测量,适用于车间现场测定。
厚度测量仪,电线电缆测厚仪,薄膜测厚仪参数规格1.测量范围:0-10mm2.分度值:0.01mm3.上测足直径:6±0.05mm 4.施加压力: 22±5Kpa5.净重:1kg厚度测量仪,电线电缆测厚仪,薄膜测厚仪产品相册
厚度测量仪,电线电缆测厚仪,薄膜测厚仪售后服务1.我公司产品实行“质量三包”质量保证期一年(裁刀为消耗品,不在保修范围之内)。在质量保证期内,对由于设计、制造、工艺或材料的缺陷所发生的故障负责,并免费维修和更换缺陷的零件或整机。质量保证期过后硬件更换接受成本费用,软件免费升。2.对于我公司随机配置的易损件不在“质量三包”期内不做免费处理,但保证及时有偿长期优惠供应。3.我公司设有分公司或办事处,在接到用户故障信息后1小时内响应,2小时内提供解决方案,若需派业的维修工程师到现场服务,可在48小时内到达现场维修,4小时内排除故障。4.在质保期满以后,我方将以优惠的价格提供保修服务,当发生故障时,我方仍将第3项处理。公司介绍
公司坐落于风景如画、人杰地灵的古城扬州。距离江都真武邵伯高速路口仅5分钟路程,地处工业园区中心,良好的地理环境也给源峰的工作带来了更多的快捷和方便。
扬州市源峰试验机械厂是一家门研发、制造、销售试验机设备的业厂商。公司拥有先进的加工设备,严格的管理体系以及雄厚的技术实力和良好的售后服务。
公司注于金属、非金属等材料的机械性能测试设备的研发制造。主要完成螺纹钢、金属板材、电力金具、紧固件、铸造材料、锚杆、托盘、用接骨板、接骨螺钉、弹条、钢管、铜板、弹簧、减震器、扣件、玻璃钢、塑料、橡胶等材料和产品的拉伸、压缩、弯曲、剪切、撕裂、剥离等性能试验。满足GB、ASTM、ISO、DIN等国家和行业的标准测试要求。正在运行的400多个标准,配置合适的夹具,可完成力学性能测试。
扬州市源峰试验机械厂以精良的产品、到位的服务赢得了广大用户和市场,是国内同行业发展快速的企业之一,源峰博采众长,以“技术引导潮流,质量打造品牌”为方针,以诚信服务至上的宗旨,力争为客户提供成熟的产品和完善的服务,使用户得到较大程度的满足。
Yangzhou Yuanfeng is located in Yangzhou, an ancient city with picturesque scenery and outstanding people. It is only 5 minutes away from the junction of Jiangdu Zhenwu Shaobu Expressway. It is located in the center of the industrial park. The good geographical environment also brings more convenience and quickness to Yuanfeng's work.
Yangzhou Yuanfeng specializes in the research and production of material testing machine, and has become a major manufacturer of material testing machine in China. Has many years of production experience, has an independent scientific research, software programming, material testing, marketing, production management and other technical personnel team.
In view of the current market demand, the successful development and improvement of the testing machine has changed the shortcomings of the original testing machine, such as large size, poor accuracy, poor repeatability, cumbersome structure and inconvenient operation. The products have been widely used in many factories, laboratories, scientific research institutes and universities throughout the country, and are welcomed by the vast number of engineers and technicians.
Yangzhou Yuanfeng will adhere to the purpose of "user first", take the advantages of all, take "technology guides the trend, quality builds brand" as the guideline, never forget the original intention, and serve more users in need. Looking forward to becoming your partner and escorting the quality of your products!
基本功能 | 1,测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数 2,实现薄膜均匀性检测 3,实现反射、投射以及颜色测量 |
产品特点 | l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库; l 简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数; l 快捷、准确、稳定的参数测试; l 支持多功能配件集成以及定制; l 支持不同水平的用户控制模式; l 支持多功能模拟计算等等。 |
系统配置 | l 型号:SR100R l 探测器: 2048像素的CCD线阵列 l 光源:高稳定性、长寿命的卤素灯 l 光传送方式:光纤 l 台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量,200mmx200mm的大小 l 软件: TFProbe 2.2版本的软件 l 通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连 l 测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率 l 电脑硬件要求:P3以上、最低50 MB的空间 l 电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A l 保修:一年的整机及零备件保修 |
规格 | l 波长范围:250nm到1100 nm l 光斑尺寸:500μm至5mm l 样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm l 基板尺寸:最多可至50毫米厚 l 测量厚度范围*:2nm~50μm l 测量时间:最快2毫秒 l 精确度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较) l 重复性误差*:小于1 Ǻ |
可选配件项 | l 用于传递和吸收测量的传动夹具(SR100RT) l 最低可测量直径为5µm大小的微光斑(MSP100) l 在多个位置下,多个通道用于同时测量 (SR100xX) l 在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘(SRM100-200/300) |
应用领域 | 主要应用于透光薄膜分析类领域: l 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…) l 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…) l 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...) l 医学,生物薄膜及材料领域等 l 油墨,矿物学,颜料,调色剂等 l 医药,中间设备 l 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... .. l 半导体化合物 l 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 l 非晶体,纳米材料和结晶硅 |