烘箱专场,烘箱商家多、资料全面第36组

HNDS-90Ahmds真空烘箱/hmds烤箱、hmds预处理系统/hmds真空镀膜机

HMDS预处理系统

在半导体生产工艺中，光刻是至关重要的一个工艺环节，而涂胶工艺的好坏，直接影响到光刻的质量，所以涂胶也显得尤为必要，尤其在所刻线条比较细的时候，任何一个环节有一点纰漏，都可能导致光刻的失败。在涂胶工艺中，所用到的光刻胶绝大多数是疏水的，而晶片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，如果在晶片表面直接涂胶的话，势必会造成光刻胶和晶片的粘合性较差，甚至造成局部的间隙或气泡，涂胶厚度和均匀性都受到了影响，从而影响了光刻效果和显影。

为了解决这一问题，涂胶工艺中引入了一种化学制剂，即HMDS，它的英文全名叫Hexamethyldisilazane（HMDS），化学名称叫六甲基二硅氮甲烷，把它涂到硅片表面后，通过加温可反应生成以硅氧烷为主题的化合物，这实际上是一种表面活性剂，它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起到耦合的作用，再者，在显影的过程中，由于它增强了光刻胶与基底的粘附力，从而有效地抑制刻蚀液进入掩模与基底的侧向刻蚀。最初，人们用液态的HMDS直接涂到晶片上，然后借着晶片的高速旋转在晶片表面形成一层HMDS膜。这样就阶段性的解决了基片和光刻胶之间的结合问题，但随着光刻线条的越来越细，胶的越来越薄，对粘附力提出了更高的要求，于是我们研制出了现在的HMDS预处理系统。

2 HMDS预处理系统的优越性

HMDS预处理系统的优点在于：

（1）预处理性能更好，由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理，所以不会有尘埃的干扰，再者，由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺，同一个容器中进行，晶片在容器里先经过100℃-200℃的去水烘烤，再接着进行HMDS处理，不需要从容器里传出，而接触到大气，晶片吸收水分子的机会大大降低，所以有着更好的处理效果。

（2）处理更加均匀。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性。

（3）效率高。液态涂布是单片操作，而本系统一次可以处理多达多盒的晶片。

（4）更加节省药液。实践证明，用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理多盒晶片所用药液还多；

（5）更加环保和安全，HMDS是有毒化学药品，人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整个过程是在密闭的环境下完成的，所以不会有人接触到药液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机，所以也不会对环境造成污染。

3系统结构

整个系统由加热、真空系统、充氮、加药和控制模块等5部分组成。

3.1加热模块

由于工艺的整个过程都需要在150℃左右的环境下进行，所以自始至终加热系统都在工作。

本系统采用在腔体外侧加热，采用人工智能PID调节仪实现闭环控制，调节仪控制固态继电器的输出，从而实现温度的精确稳定控制，测温采用通用的高精度热敏电阻Pt100。

3.2真空模块

由机械泵、真空组件、真空测量等组成，主要作用是置换气体和抽走剩余的HMDS蒸汽，不再赘述。

3.3充氮模块

作用是在置换过程中，用氮气来逐渐稀释空气或药液蒸汽，从而最终替换空气或药液蒸汽的气氛。

主要由氮气源、控制阀和喷头组成。

3.4加药模块

加药模块的作用是在需要的时候把药液变成蒸汽，均匀的涂布到晶片表面。

它主要由药液瓶，接口、控制阀和喷头组成。

3.5控制模块

控制模块是本系统的核心模块，它的作用是控制各个模块的动作和时序，完成整个工艺过程。

它主要由人机界面，CPU控制中心，控制接口和输出部件，报警等5部分组成。

人机界面采用台湾威纶通触摸屏来实现参数、状态等界面的显示和参数的设定输入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。

4软件组成

整个控制软件共分4个部分，即自动运行、手动控制、参数设定、帮助。

当按下自动运行键后，画面转换到运行画面，显示当前的工艺状态，运行时间等，同时系统开始运行。

首先打开真空泵、开始抽真空、待腔内真空度达到某高真空度（该值可预设）后，开始充入氮气，充到达到某低真空度（该值也可预设）后的再次重复抽真空、充入氮气的过程，达到设定的充入氮气的次数后再次抽真空，然后充入药液，达到设定时间后，停止充入药液，进入保持阶段。当到达设定的保持时间后，再次开始抽真空、充入氮气，次数为设定值，当系统自动工作完成后，画面切换到结束画面，同时给出声光报警等待取片，在自动工作过程中若出现异常可点击运行画面中的停止键，随时终止程序的运行。5、 HMDS-90真空系统规格参数

内部尺寸：450X450X450

电源： AC220V，功率：3000W

真空度：常压到—133pa或1TORR以下

材质：内部SUS316电解处理外壳SS41静电喷涂。

管路： SUS洁净管

层架； SUS316材质

门内板：钢化玻璃

流程控制：液晶触摸屏（台湾威纶通）、PLC控制(三菱)，流程可编辑，可以预存5组程序。（可根客户要求可以更改流程）

加热方式：腔体外侧加温。温度：RT+10℃～ 200℃；微电脑温度控制器，控温

精确可靠。控温精度：1℃，真空室温度均匀

氮气装置：氮气进入箱内有调压装置，控制有自动阀完成。

HMDS装置：HMDS药液进入箱内采用压力差吸取瓶内HMDS方式，自动阀控制

真空泵：抽气速度4升\秒

工作流程：

该公司产品分类：烘箱

GST热风循环烘箱上海广树

上海广树机电有限公司专业生产GST系列硅碳棒箱式电阻炉，罩式平板烧结炉，罩式电阻炉，1700度升降式电阻炉，热风循环烘箱，500度高温热风循环炉，恒温热风循环烘箱等是本公司自行设计的机电一体化产品。特点大部分热风在箱内循环／热效率高，节约能源。利用强制通风作用，箱内设有可调式分风板，物料干燥均匀。热源可采用蒸汽／热水／电／远红外，选择广泛。整机噪音小，运转平衡，温度自控，安装维修方便。适用范围广，可干燥各种物料，是通用干燥设备。应用范围　　热风循环烘箱适用于制药、化工、食品、农副产品、水产品、轻工、重工等行业物料及产品的加热固化、干燥脱水。如原料药、生药、中药饮片、浸膏、粉剂、颗粒；中剂、水丸、包装瓶、颜料、染料、脱水蔬菜、瓜果干、香肠、塑料树脂、电器原件、烘漆等。

本公司，具有完善的检测手段、雄厚的技术实力和的工艺设备，产品全部采用材料，并可根据用户需求进行设计加工。经过努力。在全国开拓了一定的销售规模，产品不断更新换代，深受用户青睐。不断拓宽产品系列，提高产品技术含量，使产品向高强度、高精度、异性化和综合化方向发展。企业现拥有全国协作厂商100余家，先后在全国大、中城市设立了销售机构，有着坚实的市场基础。

该公司产品分类：印字机马弗炉

101呼伦贝尔电热烘箱

电热烘箱的选择：根据自己的喜好

电热烘箱的外形：卧式电热烘箱和立式电热烘箱两种。

电热烘箱送风方式：水平送风和垂直送风。

电热烘箱的选择：根据使用温度

电热烘箱的额定温度：按照电热烘箱的额定温度，我们可以将电热烘箱分为低温电热烘箱（100℃以下，用于电气产品老化，普通料件的缓速干燥，部分原料、塑料等产品的干燥用），常温电热烘箱（100-250℃，用于大多数料件的水分干燥、涂层固化、加温、加热、保温等），高温电热烘箱（250-500℃，高温干燥特种材料、工件加温安装、材料高温试验、化工原料的反应处理等）。订购-热线：贾经理136-07-68-76-77-　，0371-6398-9979-

电热烘箱的选择：根据材质和性能

1.电热烘箱工作室（内胆）：内胆的材质对于高温环境的要求也是非常高的，一般情况分搪瓷钢板，镀铝钢板，镀锌钢板，不锈钢四种材质，我公司生产的电热烘箱采用不锈钢，在质量方面是最好的选择。

2.加热性能：市场上一般有电阻丝和电热管，两者各有千秋，注重节能的可以选购价格便宜的石英管，但是在使用和寿命方面不锈钢优势更大。温控器一般采用较贵的数字式简易操作，易控制。

附万博部分电热烘箱参数：

型号/数据	-0	-1	-2	-3
工作电压（V）	220v 50Hz	220v 50Hz	220v 50Hz	220v 50Hz
功率（kw）	1.6	2.4	2.4	5
工作室尺寸（mm）	350×350×350	350×450×450	450×550×550	500×600×750
控温范围（℃）	室温+10-250℃	室温+10-250℃	室温+10-250℃	室温+10-250℃
温度波动（℃）	±1	±1	±1	±1

注：以上是万博电热烘箱部分产品参数，更多真空、电热烘箱烤箱请来电咨询：

郑州万博专业为您提供电热烘箱、干燥箱、电热鼓风电热烘箱、恒温电热烘箱、高温电热烘箱、烤箱等等，更多产品参数欢迎您来电咨询详细信息！！

CZY-NS1240苏州诺达烘箱对接小车

【产品概述】CZY-NS1240充电式百级层流车是风机以一定的风速将经过预过滤后的空气压入静压箱，再经高效过滤器后由阻尼层均压，使洁净气流呈垂直单向流送入工作区，从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度【技术参数】净化等级：百级材质：SUS304T1.2拉丝，四周PC板围护，宽边一侧带两只手套，窄边一侧门可以上下移动外形尺寸：W1240*D850*H1750工作尺寸：W1100*D750*H 900 底板离地高155MM风速:0.36-0.54m/s断电后电源持续工作：2小时洁净度：ClassA六控制,压差可显示

产品特点应用领域

该公司产品分类：手套检漏仪空气过滤器代理仪器气溶胶发生器光度计温湿度记录仪过滤器生物安全柜粉尘发生器光度计气溶胶发生器手持式粒子计数器大流量激光尘埃粒子计数器触摸式尘埃粒子计数器大流量尘埃粒子计数器尘埃粒子计数器气流流行测试产品 PBS-100[S] PBS-E PBS-100

高温烘箱

苏州晨光试验设备有限公司　本公司是一家集科研.开发.生产环境试验设备的专业公司！主要产品：盐雾试验箱.高低温试验箱.高低温（交变）试验箱.恒温恒湿试验箱.程控高温试验箱.快速温度变化试验箱.温度冲击试验箱.高温老化试验箱.真空干燥试验箱. 　其它类：箱式淋雨试验箱.摆管淋雨试验箱.滴水淋雨试验装置.压力蒸煮（仪）试验箱.砂尘试验箱.紫外光耐气候试验箱.等各种非标环境试验设备和试验室！！　电话：0512-66361656 　传真：0512-66365363 　联系人：张广浩（0）13912636169 　欢迎访问本公司网站：http;www.chen-guang.com

0-4药用GMP型烘箱

药用GMP型烘箱特点> 加热热源有蒸汽、电、电蒸汽两用型三种方式。> 使用温度：蒸汽加热50-140℃，150℃；电加热50-350℃；> 温度实行自动控制，并且有记录仪记录；> 箱体内壁均满焊，各过渡处均采用圆弧过渡，无。> 整机密封性好，独特的导轨密封装置，了整机的密封性；> 进风口配套空气过滤器；排湿口配套中效空气过滤器。> 双开门烘箱双门实现机械联锁；> 烘箱内各零部件均可快速拆卸、快速安装，以方便清洗；> 控制系统备有文本显示器、触摸屏可供选择；> 整机符合GMP要求。

安装示意图

GMP-I（蒸汽加热型） hspace=0

技术参数

型号规格	每次干燥量	风机功率	耗用蒸汽	烘箱（辆）	烘箱（只）	宽＊深＊高	上下温度
GMP-O	35	0.45	8	/	16	1130＊1100＊1750	±2
GMP-I	120	0.45	18	2	48	2300＊1200＊2000	±2
GMP-II	240	0.9	36	4	96	2300＊2200＊2000	±2
GMP-III	360	1.35	54	6	144	2430＊2200＊2200	±2
GMP-IV	480	1.8	72	8	192	4460＊2200＊22900	±2

烘箱点火器，烘炉点火器，烤箱点火器，烤炉点火器

肇庆光辉热能专业销售、批发－－－－-烘箱点火器,烘炉点火器，烤箱点火器，烤炉点火器

，厂价直销，质量三包,量大更优。

红外线点火器:（保用一年）

1，烘箱点火器，燃气设备系统点火的最佳主要部件，优质安全，性能稳定,自动断气保护，自动点火。

2，烘箱点火器，广泛应用于涂装前处理、烘干固化、食品烘烤、农产品烘干、室内外采暖、造纸、印染、等领域的工业设备的点火控制系统。（燃料为瓦斯、石油气、天燃气的点火设备）

3，烘箱点火器，采用程式化集成IC控制; 两个继电器，保证了电路的自动控制、安全保护、以弱控强，转换电路等作用; 优质的绝缘灌封胶封装，更加保障了安全性能。

4，燃气设备系统中，烘箱点火器和性能、质量、安全的电磁阀是保证燃气设备瓦斯燃烧的安全，最为重要而且是关键的环节。

5，烘箱点火器输出高压是16KV,正常使用中熄火能自动再点火，超时20秒仍点不着火时会自动关闭瓦斯电磁阀，切断供给燃料系统并发出故障信号声，从而达到安全。

烘箱点火器一般参数：

1、输出电压ac200v——240v，输出高压16kv以上。 2、外型尺寸：128mm* 73mm *42mm 3、安装孔距118mm 孔径φ5mm 红外线燃烧器点火器接线说明如下：

1、N：点火线　（接点火针）

2、S：信号感应线（接点火针）

3、绿：电源220＇V （点火器火线）　

4、蓝：电源共用线　（零线）

5、橙：瓦斯电磁阀火线（零线是蓝色共用线）　　

6、白：点火指示灯（L1熄火）

7、红：燃烧指示灯（L2表示正常工作）

8、黄：警报器线

9、黑：接地线

该公司产品分类：配件涂装设备

LFY-307汗渍色牢度烘箱

技术指标1、温度控制范围：室温～99.9℃2、温度控制精度：±2℃3、外形尺寸：390×420×570（mm）4、电源电压：AC220V 50Hz

适用标准

GB/T3922-1995《纺织品耐汗渍色牢度试验方法》

该公司产品分类：色牢度类测试仪器仪器配件静电类测试仪器阻燃类测试仪器织物类测试仪器纱线类测试仪器

GT-TL-72精密烘箱|恒温试验设备|高温恒温试验箱

高天试验设备有限公司供应工业烤箱，烘箱，烤箱用途１３７９４９１６１７６主要用于工业生产中对产品的干燥、烘焙、热处理等。

特点：

GTT系列精密烘箱测试空间共分8种标准规格，可满足各种不同需要（另可根据生产或测试需要订造非标尺寸）。特殊设计之强制循环送风系统，工作温度分布均匀度。

采用压缩玻璃棉，保温效果易显著。

另有其它工业烤箱，100级无尘烤箱等供选择。

主要规格和技术参数型号 GT-TL-72

温度范围室温-200℃（300℃）

温度稳定度 ±0. 5℃温度分布均匀度 ±2℃升温时间 200℃约需50min

内/外箱材质 SUS 304#不锈钢外箱：钢板烤漆A：内胆为镜面不锈钢保温材质压缩玻璃棉保温装置无熔丝开关，超温保护开关，瓷质保险丝

配件可调隔层板2-6件

消耗电力 3.0 3.0 4.2 5.1 6.0 7.0 8.0 9.0电源 3ф380VAC±10%或2ф220VAC±10%

温度表日本名厂“SHTIMADEN”PID配SSR输出,风机延时断电功能(可另购配程式控制)

时间计 999小时跳字显示

保险装置次超温报警,第二次超温切电功能,MCCB过载保护,温度自整定电热鳍片式散热管形电热管

运风系统强制送风循环系统及特别设计出风口,温度分布均匀度特佳

排气烟道叶片式设计可调出风量控制形成温度到达设定温度后自动打开时间计,时间到达后切断发热电源,蜂鸣提示

测试标准 GB5170.2-1996

高天试验设备有限公司专业生产并制造性环境试验箱１３７９４９１６１７６：恒温恒湿试验箱，高低温试验箱，交变湿热试验箱，盐雾腐蚀试验箱，单臂跌落试验机，线材弯折试验机，多光源对色灯箱，盐雾试验箱，盐雾机，温度冲击试验箱，破裂强度试验机，模拟运输振动台，电磁振动台，工业烤箱，恒温恒湿试验机，恒温恒湿箱，可程式恒温恒湿机，老化试验箱，湿热试验箱，高温试验箱等．

FDL-0431厂家直销沥青旋转薄膜烘箱（85型）FDL-0431

富兰德沥青旋转薄膜烘箱（85型）FDL-0431适用范围沥青旋转薄膜烘箱是按照国家标准GB/T5304，行业标准JTJ052-2000《公路工程沥青及沥青混合料试验规程》中T0609-1993《沥青薄膜加热试验》的要求设计生产的，适用于测定道路石油沥青薄膜加热后的质量损失，并根据需要，测定沥青薄膜加热后，沥青残留物的针入度、软化点、脆点及延度等性质的变化，以评定沥青的耐老化性能。功能特点 1、沥青旋转薄膜烘箱采用一体化设计，操作维护简单方便 2、沥青旋转薄膜烘箱采用PID温控控温体系，控温精度高，稳定 3、沥青旋转薄膜烘箱采用精密传统系统，转速精确控制 4、沥青旋转薄膜烘箱可同时做4个样，方便操作平行实验技术参数 1、工作电源： AC　220V±10%，50Hz; 2、额定功率： 2.5kw;3、工作室温度： 163℃±0.5℃；4、控温精度： ±0.5℃； 5、转盘转速： 5.5r/min±1r/min； 6、试样数量： 4件； 7、工作室尺寸： 450×450×510mm3；8、环境温度： 5-50℃；9、相对湿度： ≤85％美国Keith Brandon(简称K.B)技术创业投资基金是一家立足于美国，专注于投资中国高新科技技术项目的专业投资公司。在中国是以具有高速成长潜力的高新技术企业为主要的风险投资对象。通过投资为合作伙伴提供直接和务实的增值服务，将合作伙伴培育成为中国市场的领跑者。长沙富兰德实验分析仪器有限公司是由美国K.B技术创业投资基金（风险投资商）资深合伙人Aid先生与中国分析仪器行业精英人才为主导成立的一家以研制、生产、销售油品分析仪器的专业生产厂商。产品适用于石油、电力、化工、科研、质检及大专院校等相关行业领域。富兰德自成立起就秉持着中西工业文明的“工匠精神”为思路，不断雕琢自己的产品，不断改善自己的工艺，紧贴市场需求，努力创造新的管理模式及新的产品来满足客户不断增长的使用需求。富兰德为构筑企业长远竞争力始终致力于新产品的自主研发，提高产品附加值，提升品牌美誉度作为企业生命力延续的保障。通过政府关于加强技术人才培养机制的平台和美国KB技术创业投资基金的投资经验，公司大力引入了一批行业综合人才，加速了公司主营业务的提升，并努力正成为行业最具成长性企业。富兰德一直坚守与客户单位事业联盟发展的策略，积极整合企业优势资源，追求卓越的产品品质，务实求新的态度为客户的需求提供专业的售前、售中、售后服务。 “富兰当为王者香；德于行” 富兰德将以坚定的步伐，践行对客户的每一个承诺!

该公司产品分类：其他分析仪器防冻液，沥青分析仪器苯，石油，液化气仪器润滑脂分析仪器润滑油分析仪器燃料油，溶剂油分析仪器通用及电力用油分析仪器