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美国 KRI 霍尔离子源 eH 系列紧凑设计, 高电流低能量宽束型离子源, 提供原子等的细微加工能力, 霍尔离子源 eH 可以以纳米精度来处理薄膜及表面, 多种型号满足科研及工业, 半导体应用. 霍尔离子源高电流提高镀膜沉积速率, 低能量减少离子轰击损伤表面, 宽束设计提高吞吐量和覆盖沉积区. 整体易操作, 易维护. 霍尔离子源 eH 提供一套完整的方案包含离子源, 电子中和器, 电源供应器, 流量控制器 MFC 等等可以直接整合在各类真空设备中, 例如镀膜机, load lock, 溅射系统, 卷绕镀膜机等.美国 KRI 霍尔离子源 eH 特性无栅高电流低能量发散光束 >45可快速更换阳模块可选 Cathode / Neutralize 中和器美国 KRI 霍尔离子源 eH 主要应用辅助镀膜 IBAD溅镀&蒸镀 PC表面改性、激活 SM沉积 (DD)离子蚀刻 LIBE光学镀膜Biased target ion beam sputter deposition (BTIBSD)Ion Beam Modification of Material Properties (IBM)
例如1. 离子辅助镀膜及电子枪蒸镀2. 线上式磁控溅射及蒸镀设备预清洗3. 表面处理4. 表面硬化层镀膜5. 磁控溅射辅助镀膜7. 偏压离子束磁控溅射镀膜
霍尔离子源 eH 系列在售型号:
型号 | eH400 | eH1000 | eH2000 | eH3000 | eH Linear |
中和器 | F or HC | F or HC | F or HC | F or HC | F |
阳电压 | 50-300 V | 50-300 V | 50-300 V | 50-250 V | 50-300 V |
离子束流 | 5A | 10A | 10A | 20A | 根据实际应用 |
散射角度 | >45 | >45 | >45 | >45 | >45 |
气体流量 | 2-25 sccm | 2-50 sccm | 2-75 sccm | 5-100 sccm | 根据实际应用 |
本体高度 | 3.0“ | 4.0“ | 4.0“ | 6.0“ | 根据实际应用 |
直径 | 3.7“ | 5.7“ | 5.7“ | 9.7“ | 根据实际应用 |
水冷 | 可选 | 可选 | 是 | 可选 | 根据实际应用 |
F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.若您需要进一步的了解 KRI 霍尔离子源, 请参考以下联络方式上海伯东: 叶小姐 台湾伯东: 王小姐T: +86-21--3511 ext 109 T: +886-3--9508 ext 161F: +86-21-- F: +886-3--0049M: +86 -883- M: +886---958上海伯东版权所有, 翻拷必究!
上海沪宇是一家技术服务型渠道企业,在行业发展中所承担的角色是一种沟通产出方和需求方(科研和市场)的媒介,我们为行业人才提供了包括科研在内的更多出口,为科研提供了有力的硬件支持,地促进科研和市场需求结合,提高了科研成果的转化效率,使得科研更具活力。目前国家对于生物行业的发展给予了极大的重视,但更多地侧重于科研的投入,行业内缺乏的技术服务体系和渠道支撑。详细信息请登录www.huyusw.com网站查询,也可来电在线咨询!
产品名称:2-硝基苯基正辛醚[快原子轰击质谱和二次离子质谱仪的基质]
产品编号:K7373201
CAS号:37682-29-4
规格:TCI
包装:5ml
上海沪宇生物试剂产品:
C109740250 2-氯-5-硝基吡啶 Acros 25gTC092301 2-氯-5-硝基三氟甲苯 TCI 25gxw010085 2-氯-5-溴吡啶 98%(沃凯) 1gTA195901 2-氯-6- TCI 25gL1124902 57264-46-7 2-氯-6-甲基苄胺, 97% Lancaster 5gxw010086 2-氯-6-三氟甲基吡啶 98%(沃凯) 1gLB2402903 2-氯-P-苯二胺硫酸盐 Alfa-B24029 250gTC171901 2-氯苯并咪唑 TCI 5g80034828 95-57-8 2-氯苯酚 CP 500mlLA1190001 2-氯苯甲基氯, 98% Alfa-A11900 250gAC2479501 2-氯苯甲腈 Aldrich 98% 100gL0695201 2-氯苯甲醚,98% Lancaster 50g30038782 89-98-5 2-氯苯甲醛 进分 100ml
K7373201 37682-29-4 2-硝基苯基正辛醚[快原子轰击质谱和二次离子质谱仪的基质] TCI 5ml