ZDL3/4型（数显）冷阴极真空计（表） 产品说明：ZDL3型冷阴极真空继电器 采用M014冷阴极规进行测量。利用潘宁放电原理，放电电流与被测真空系统的压强呈非线性的特征测量真空。广泛应用于真空镀膜，真空冶炼，真空排气系统等设备的真空测量和控制。冷规采用反磁控原理，容易激化。 ZDL4型数显冷阴极真空继电器 是利用潘宁放电原理，放电电流与被测真空系统的压强呈非线性的特性测量真空。一般可应用于真空镀膜，真空冶炼，真空排气系统等设备的真空测量和控制。冷规采用反磁控式原理，容易激化。ZDL3型和ZDL4型技术指标： 测量范围：1×10-1pa～1×10-5Pa（ZDL3）测量范围：热偶部分：1×10-1pa～1×10-5Pa（ZDL4）冷规工作电源：3～3.3KV 记录输出：0～+10V 正常工作条件：环境温度：0～+40℃；相对湿度：不大于75％电源：AC220V±10％ 50Hz；工作环境：无强烈的机械振动和幅射。体积重量：119×320×280（mm）4kg 3kg
970系列971/972/974是一个家庭的结构紧凑，成本低，通用传感器，利用从一个到四个传感器-冷阴极，micropirani™，和压电技术。结合这些传感技术能够从大气测量范围宽10-8 Torr. 970 10-8乇。除了它的体积小，范围广泛，成本低，970系列971/972/974可以.通过数字通信或作为一个自主的模拟单元操作。
美国MKS真空计 MKS 970系列971/972/974冷阴极真空计优势：
•小巧的设计提供了一种紧凑传感器解决方案存储工具房地产
• Single transducer provides a wide measurement
•单传感器提供了一个广泛的测量大气10-8乇的范围(972B ａnd 974B models),（972b和974b模型），消除多个表的需要
• The MEMS based MicroPirani sensor
•基于MEMS的micropirani传感器 972B 974B 在972b和974b允许低的汽车 (user冷阴极的开启压力（用户
programmable from 2x10-4 to 1x10-3 Torr)
可编程从2x10-4到1×10 - 3毫米汞柱）提高可靠性
• The cold cathode anode module design is
•冷阴极阳极模块的设计用户可减少停机时间保存外部的修理费用
• All transducers include both analog and
•所有传感器包括模拟量和为便于数字通信operation操作
• MicroPirani is automatically zeroed
•micropirani自动调零泵送循环的过程中提高了 (972B ａnd 974B models)精度（972b和974b模型）
• Mountable in any orientation for ease
•安装在任何方向的易设计中的灵活使用
• Simplified interface via a single
•简化接口通过一个单一的平滑的模拟输出，结合单个传感器的测量
• Three user configurable relays for process
•三用户可配置的继电器的过程control控制
• Alternate analog output ａnd electrical
•交替的模拟输出电可另配连接器供应商的仪表和方便容易升级
• Can be used with the PDR900 controller
•可以用pdr900控制器for easy set up容易设置
• RoHS ａnd CE Compliant
•CE和ROHS标准
美国MKS真空计 MKS 970系列971/972/974冷阴极真空计应用：
970系列传感器是紧凑的，低成本的解决方案，用户对真空测量操作在大气压力范围10-8乇。该系列的小尺寸970个传感器，使他们的理想的系统集成商希望减少足迹使小型化。应用包括：
• Analytical equipment (mass spectrometer control)
•分析设备（质谱仪控制）
• Scanning electron microscopes
•扫描电子显微镜
• Coating systems
•涂层系统
• Semiconductor loadlock pressure control
•半导体的负载压力控制
• General vacuum base pressure measurement
•一般真空压力测量
美国Granville-Phillips真空计 GP 500系列冷阴极真空计结合高精度对流增强皮拉尼计电子提供了一个紧凑，方便，可靠，和真空测量从大气到10-4乇的节约成本的解决方案。35年以上成功的现场安装，该对流测偏仪表已成为一种行业标准。它是一种独特的热导率变化表上的压力测量是基于从传感器导线的热损失率。不同于传统的热电偶和皮拉尼计，只使用导电的热损失，由于对流测偏仪表，利用在较高压力下的对流热损失。这延伸的准确范围，对大气的可重复的测量。对流测偏仪表在使用今天的真空处理成千上万的世界各地，使他们对许多真空应用一个明智的选择。模块可提供模拟输出，RS-485接口，和DeviceNet™接口。
美国Granville-Phillips真空计 GP 500系列冷阴极真空计优势：
l 从10-10到10-2乇•宽的压力测量范围
l 单独校准量规提供最高的精度
l 显示压力表状态
l RS-485通信接口与编程关闭状态，输出模拟信号开始点，和斜率
l USB接口可用于校验仪的现状和进行设置
l 量规的设计减少了关键元器件的寿命增加的污染
l 寿命指示器显示在表需要维修
l 易于拆卸，电子和磁组件使烘烤、安装方便
l 包括2个可编程设定继电器
美国Granville-Phillips真空计 GP 500系列冷阴极真空计
•测量范围宽：允许真空系统的性能进行连续监测，从1x10-10到1x10-2托。
• Long Lifetime: Cold Cathode Gauges do not require a filament, which simplifies gauge construction, increases reliability ａnd lifetime, ａnd lowers the cost of ownership. An internal guard ring reduces contamination on critical components ａnd isolates leakage current from the measurement.
•寿命长：冷阴极规不需要灯丝，从而简化了规范建设，提高可靠性和寿命，并降低拥有成本。一个内部的保护环，减少污染和隔离关键元件的漏电流的测量。
• Quick Starting: The field emission starter provides faster ａnd more predictable start times.
•快速启动：场发射起动机提供更快和更可预测的开始时间。
• Easy Access Magnet: Tool-free magnet removal simplifies gauge installation ａnd bakeout.
•易于访问的磁铁：免工具永磁除简化了仪表安装和烘烤。
• High Accuracy: For applications requiring higher precision, an optional calibrated Series 500 CCG provides ±10% accuracy.
•高精度：精度要求较高的应用，一个可选的校准500系列提供10%的精度±CCG。
• Digital Display: Displays pressure, USB connectivity, RS-485 address, remaining lifetime, ａnd self diagnostics status.
•数字显示：显示压力，USB连接，RS-485通讯，剩余寿命，和自诊断状态。
• Status LEDs: Indicate when power is applied to the module, when discharge is achieved, the state of the 2 setpoint relays, ａnd if maintenance is suggested at the next PM or immediately.
•状态LED：指示当电源应用到模块，当流量达到设定值的2，继电器的状态，如果维修是建议在下一个点或立即。
• Auto On/Off: The gauge can be programmed to turn ON automatically based on an analog voltage input coming from a higher pressure (i.e. Pirani) gauge. The Series 500 CCG can also automatically turn the gauge OFF based on the analog input and/or the pressure reading from the CCG itself.
•自动开/关：表可以被编程为将基于一个模拟电压输入来自于一个更高的压力自动（即皮拉尼）计。500系列CCG还可以自动关闭测量仪的基础上，模拟输入和/或从CCG本身的压力读数。
• Easy Maintenance: Internal components are easily replaced for quick maintenance.
•维修方便：内部部件易于更换快速维修。
• Baffle: Keeps sputtered material from entering your process chamber.
•挡板：保持溅射材料进入您的处理室。
• Lifetime Indicator: To avoid guesswork, the Series 500 CCG displays the estimated remaining lifetime of the gauge – the point at which accuracy is compromised ａnd gauge maintenance or replacement is recommended.
•寿命：避免猜测，500系列CCG显示估计的剩余寿命的计–点精度受到损害，仪表维修或更换的建议。
• USB Interface: The USB port provides connection to a PC together with an easy-to-use software program to setup, control, view diagnostics status, ａnd display pressure trends. Communications over USB can occur while the gauge is ON without disrupting normal operation.
•USB接口：USB端口提供的连接到PC和一个易于使用的软件程序设置，控制，查看诊断状态，并显示压力的趋势。在USB通信，计是在不破坏正常操作发生。
成都四洋科技有限公司有着充足的库存，交货期短，在价格上有很大优势，有一支兼销售、技术支持、售后服务为一体的优秀团队为您提供贴心服务！欢迎致电4008-567-377或发邮件到siyangchina@163.com索取您所感兴趣的产品资料。
更多详细参数请访问【成都四洋科技有限公司】网站:
www.4-ocean.com