nre-4000是一款独立式rie反应离子刻蚀系统,配套有淋浴头气体分布装置以及水冷rf样品.具有不锈钢柜子以及13"的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2"的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持最大到12”的晶圆片。腔体为超净设计,并且根据配套的真空泵可以达到10-6 torr 或更小的极限真空。该系统系统可以在20mtorr到8torr之间的真空下工作。真空泵组包含一个节流阀,一个250l/s的涡轮分子泵,滤网过滤器,以及一个10cfm的机械泵(带formblin泵油).rf射频功率通过600w,13.56mhz的电源和自动调谐器提供。系统将持续监控直流自偏压,该自偏压可以高达-500v.这对于各向异性的刻蚀至关重要。
更新时间:2024-03-28