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掩模的完整性对高标准光刻工艺的成功起主要作用。masktrack pro 掩膜清洗处理系统满足下一代光刻节点在掩模清洗、烘烤和显影工艺方面的所有标准。它是应对 193i 1x half-pitch dpt、紫外光刻 (euvl) 和纳米压印光刻 (nil)高要求的创新解决方案。以创新技术大限度地提高光掩模性能。
更新时间:2024-08-13
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