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FZ-14M(G)区熔晶体生长系统

fz-14m(g)区熔晶体生长系统为制备单晶硅晶体样品而设计开发，该系统用于工业多晶硅生产中的材料分析。生产过程中的小型多晶体样品在氩气环境中被感应熔化，并在籽晶上结晶，形成单晶，然后进行光谱分析，以检测和记录所生产的多晶硅质量。该系统采用无接触熔化工艺，通过使用涡轮分子泵和超纯氩气作为工艺气体，产生高限真空环境，有效地防止了工艺过程中的污染。

更新时间:2024-08-15

该公司产品分类：深圳市矢量科学仪器有限公司

SICma System物理气相传输系统

sicma系统为通过物理气相传输系统（pvt）的方式生产碳化硅晶体而开发。在此过程中，粉末状的原材料在高温下被加热和升华，后沉积在特定准备的基片上。这项工艺将通过使用一个感应线圈在千赫兹范围内完成加热。随着全球工业域环保意识的提高，pva tepla也紧跟时代步伐，通过对该感应线圈进行优化设计以实现低能源消耗。

更新时间:2024-08-15

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FZ-14区熔晶体生长系统

fz-14 区熔晶体生长系统是为工业生产直径达100毫米（4英寸）的单晶硅晶体而设计。根据源棒的尺寸，可以拉出长度达1. 1米的晶体。在这个过程中，晶体的直径和液体区的高度可以通过摄像系统来监测。并且该系统的上部主轴和线圈都是自动定位的。该系统采用无接触熔化工艺，通过使用涡轮分子泵和超纯氩气作为工艺气体，产生高限真空环境，有效地防止了工艺过程中的污染，同时还能将氮气以受控的方式引入工艺炉体。

更新时间:2024-08-15

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SR110区熔法硅芯炉

sr110区熔法硅芯炉的工作方式与区熔系统类似。该系统使用一个在高频感应线圈下直径为100毫米的多晶硅棒（源棒）。根据硅棒的长度，在多个拉动工艺中可以产生特定数量的硅芯；然后这些硅芯被用作西门子下游工艺中的原棒。通过隔离阀将接收炉体与工艺炉体分开，可以将完成的硅芯取出，并立即开始下一个工艺。通过引入扩散到熔体中的工艺气体可以对细杆进行掺杂处理。

更新时间:2024-08-15

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