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光伏电池片hmds处理系统，hmds预处理烘箱就是涂胶要进行增粘处理。由于衬底表面吸水特性，使疏水的光刻胶无法与亲水的晶圆表面结合良好。未经过hmds表面处理的晶圆在后道工艺中容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。
更新时间:2024-12-25
氮气烘箱，掩膜板烘箱目的是用加热蒸发的方式祛除掩膜版上光阻中多余的溶剂，增强光阻与掩膜版基板之间的粘附力，并使光阻起到固化的作用；同时，涂覆光阻后的掩膜版在曝光显影后也需要做显影后烘，目的是祛除掩膜版上多余的水分、残留溶剂和消除驻波效应。
更新时间:2024-12-25
hmds烘箱用真空泵，hmds系统无油泵为无油、紧凑型、噪音小的高性能真空泵。idp 泵采用单面涡轮设计，可通过简单的工具直接执行 15 分钟的维护操作。高泵送速度和紧凑的尺寸使其成为研究，分析仪器和实验室市场中许多应用的理想选择。
更新时间:2024-12-25
氮气洁净烘箱 光刻胶无尘烘箱 前烘氮气烘箱 百级烤箱在匀胶结束后，使用温度95°烘5min来提高光刻胶的致密性以及与晶圆的粘附性。
更新时间:2024-12-25
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