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硅片光刻预处理系统,芯片hmds烘箱
硅片光刻预处理系统,芯片hmds烘箱用于芯片、晶圆、硅片等半导体在光刻前对wafer进行预处理,在高温高真空的状态下均匀喷洒雾状“oap”药液并在氮气保护下烘干以增强wafer的光刻性能。通过对烤箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层hmds,降低了hmds处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
更新时间:
2024-12-27
氮气烤箱,千级洁净烤箱
氮气烤箱,千级洁净烤箱适用于电子液晶显示、lcd、cmos、ic、医药、实验室等生产及科研部门 ;led封装胶水固化,银胶固化,支架烘干,前固化,后固化;晶圆光刻前烘(软烘)、后烘(硬烘)、坚膜烘烤。也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其它高温试验。
更新时间:
2024-12-27
智能型HMDS烤箱定做,不锈钢HMDS烘箱
智能型hmds烤箱定做,不锈钢hmds烘箱预处理性能更好,更加均匀;效率高,一次可以处理多达4盒的晶片;更加节省药液;低液报警、防药液泄漏等具有很强的安全保护功能;,有可自动吸取添加hmds功能,智能型的程式设定,一键完成作业。
更新时间:
2024-12-27
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