探针台价格
1仪器概述
CS-4探针台造型小巧，测量精度，操作方便，符合人机工程学。
2适用范围
CS-4探针台的适用范围：
主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、速器件的精密电气测量的研发。
主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、速器件的精密电气测量的研发。
3技术参数
CS-4探针台的技术参数：
| 规格 | ||
| Chuck（可选） | 4" 或6" 不锈钢，真空吸附型，独立开关控制 | |
| Chuck X-Y轴行程，精度 | 4" x4"，10um | |
| Chuck 旋转角度 | 0~360 度 | |
| Chuck 旋转角度微调精度 | 0.01° | |
| Chuck快速升降（选配） | 4mm | |
| Chuck微调升降（选配） | 4mm ，1um精度 | |
| Chuck 平整度 | 5um | |
| 针座平台 | C型设计，可放置8个BT 型针座，可扩展为O型平台 | |
| 针座平台平整度 | 5 um | |
| 显微镜Z轴行程，精度 | 2"，细调精度0.1um | |
| 需求 | ||
| 电力 | 220 VAC, 60Hz | |
| 真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
| 尺寸 | ||
| 320mm宽*320mm长*400mm（带显微镜） | ||
| 重 20 Kg（带显微镜） | ||
| 可选附件 | ||
| 激光切割 | ||
| 加热台 | ||
| 防震桌 | ||
| 显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 | ||
| 光强/波长测试接口部件 | ||
| 射频测试探头和线缆 | ||
| 有源探头 | ||
| 低电流/电容测试 | ||
| 压测试 | ||
| CCD视频系统 | ||
| 液晶漏电分析套装 | ||
| 屏蔽箱 | ||
| 镀金Chuck | ||
4工作环境
CS-4探针台的工作环境：
●探针台应放在稳定可靠的台面上，好是具有防震装置的工作台上，避免在温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。
●使用佳温度范围为5℃～40℃，佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。
●使用电源：220±10%，50~60Hz
●探针台应放在稳定可靠的台面上，好是具有防震装置的工作台上，避免在温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。
●使用佳温度范围为5℃～40℃，佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。
●使用电源：220±10%，50~60Hz
5测试应用
CS-4探针台能够胜任的测试有：
| 序号 | 根据测试样品分类 | 序号 | 根据应用分类 |
| 1 | 晶圆测试 | 1 | 射频测试 |
| 2 | LED测试 | 2 | 温环境测试 |
| 3 | 功率器件测试 | 3 | 低电流（100fA 级）测试 |
| 4 | MEMS测试 | 4 | I-v/c-v/p-iv测试 |
| 5 | PCB测试 | 5 | 压，大电流测试 |
| 6 | 液晶面板测试 | 6 | 磁场环境测试 |
| 7 | 太阳能电池片测试 | 7 | 辐射环境测试 |
| 8 | 材料表面电阻率测试 | 9 | 积分球测试 |
6部件名称
CS-4探针台的部件名称：
| 1、CCD转接口 | 6、镀鉻U型平台 | 11、显微镜调焦架 | 16、X平移旋钮 |
| 2、显微镜倍率调节旋钮 | 7、显微镜架固定座 | 12、环形光源 | 17、Y平移旋钮 |
| 3、显微镜调焦旋钮 | 8、探针台底板 | 13、4寸样品台（卡盘） | 18、气孔吸附开关 |
| 4、显微镜支撑架 | 9、底板支柱 | 14、样品台旋转微调 | |
| 5、固定块 | 10、显微镜目镜20X | 15、U型平台支柱 |
7安装说明
CS-4探针台的安装说明：
1、样品台安装：在样品台X平移上找到样品台组件螺孔，选择合适螺杆进行安装；
2、显微镜支撑架安装：选择合适位置用固定块将不锈钢管固定在起（如下图），固定好之后放入固定座，并用顶丝顶住；
3、显微镜调焦架安装：
4、显微镜安装：
5、光源安装：将紧固螺丝拧松，将环形光源安装在显微镜下方，紧固螺丝。
6、探针夹具安装
● 使用配套螺丝将夹具倾仰安装固定到探针座上，可以根据需要进行上下调节位置
● 将探针座摆放在U型平台上固定好，拧松倾仰夹头4个螺丝，把夹具金属杆放入限位孔内，调整合适位置后拧紧螺丝
● 用镊子夹住探针中部，将弹簧夹具的弹簧压缩至探针固定孔露出，将探针插入固定孔，调整好位置后放松弹簧（注意：操作过程中不要触碰到针尖，否则针尖会变弯）
1、样品台安装：在样品台X平移上找到样品台组件螺孔，选择合适螺杆进行安装；
● 使用配套螺丝将夹具倾仰安装固定到探针座上，可以根据需要进行上下调节位置
● 将探针座摆放在U型平台上固定好，拧松倾仰夹头4个螺丝，把夹具金属杆放入限位孔内，调整合适位置后拧紧螺丝
● 用镊子夹住探针中部，将弹簧夹具的弹簧压缩至探针固定孔露出，将探针插入固定孔，调整好位置后放松弹簧（注意：操作过程中不要触碰到针尖，否则针尖会变弯）
8相关配件
CS-4探针台的相关配件：
1、体式显微镜 （可选配倍率晶相显微镜）
产品参数和点
1、鉴别力，视场范围大，景深长。
2、工作距离长至115mm。
3、左右目镜屈光度可调正负5度，能满足不同视力的操作者观察。
4、能随意调节手轮的力矩，满足不同操作者的使用习惯，更可以锁定手轮，方便定倍观察。
5、本显微镜为连续变倍，变倍比为6.3：1 ，物镜变倍范围0.8X-5X。
6、双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52-75mm.
产品优点：
产品造型比较新颖
机械性优越，操作舒适度。
光学系统鉴别力达300线对以上，符合际标准
长的工作距离位于内同行之首
独有的3A设计
创见性人机学设计，产品细节考虑全面。
3A性：
密封性-------防尘,防油\防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘\防油\防水或其它污染-----这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性------使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在温或是潮湿下都能安然无恙
防静电------防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提产量和降低产品成本
应用领域：
教学示范，生物工程,IT产业检测，材料分析等领域。
2、针座和探针夹具（可选）
3、JVC模拟CCD
点
●1/3寸CCD,44万像素
●535电视线的水平分辨率
●0.7Lux的低照度（F1.2，25%，AGC开启）
●50dB的信噪比（AGC OFF）
●内置10bit 数字图像处理器
Winfast XP100视频采集卡
性
●可选择的影像来源信号
可以提供不同的输入端子，使其能够连接不同的影像
输出设备，如录放影机、家庭摄影机、雷射光碟机、
影音光碟机及CCD摄影机，提供全方位的解决方案。
●可编辑剪接影像片段
可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉，并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或般的图形档，再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体，便可加入各种效与剪接编辑。
4、探针夹具
● 弹簧式
使用便利，可用于较短时间的大电流（过1安培）稳定性好，采用进口同轴线缆，精度漏电为10PA，输出BNC（male）接头
● 管状式
测量微弱电流用，同时可接压，采用进口triax线缆，前端管装屏蔽结构，漏电小于100FA，压可耐1000V（需要配合屏蔽箱）
5、探针
美GGB
6、真空泵
日东工器VP0125
规格：
●电压：AC220V
●流量：7L/min
●真空度：-60KPa
●质量：0.7Kg
功能
●提供真空动力源。
●配合 CHUCK上的真空吸附孔来固定样品。
●配合真空吸附型探针座，固定探针座。
点
●无油静音，别适合实验室和洁净室使用。
●7升/分钟，可24小时无间断运转。
7、防震桌：韩大DVIO系列
规格说明
●尺寸：48”宽X36”长（120cm宽X90cm长）
●承重：200kg
防震效果
小承重 @ 20 psi 大承重 @ 80 psi
垂直本征频率 1.9HZ 垂直本征频率 1.5Hz
防震效率@ 5Hz 70% 防震效率@ 5Hz 85%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
水平本振频率 2.2Hz 水平本振频率 1.2Hz
防震效率@ 5Hz 64% 防震效率@ 5Hz 91%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
8、屏蔽箱
CINDBEST CB-6
参数和点
●尺寸：880mm宽x710mm长x1140mm
●屏蔽光线和电磁干扰。
●匹配探针台和防震桌设计。
●与探针夹具配合可将测试电信号的漏电精度达到100fa ，可抗2000V压。
●屏蔽箱上配备转接头，便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接。
●上掀式结构，节约空间，操作便捷。
●可根据客户需求定制。
1、体式显微镜 （可选配倍率晶相显微镜）
1、鉴别力，视场范围大，景深长。
2、工作距离长至115mm。
3、左右目镜屈光度可调正负5度，能满足不同视力的操作者观察。
4、能随意调节手轮的力矩，满足不同操作者的使用习惯，更可以锁定手轮，方便定倍观察。
5、本显微镜为连续变倍，变倍比为6.3：1 ，物镜变倍范围0.8X-5X。
6、双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52-75mm.
产品优点：
产品造型比较新颖
机械性优越，操作舒适度。
光学系统鉴别力达300线对以上，符合际标准
长的工作距离位于内同行之首
独有的3A设计
创见性人机学设计，产品细节考虑全面。
3A性：
密封性-------防尘,防油\防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘\防油\防水或其它污染-----这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性------使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在温或是潮湿下都能安然无恙
防静电------防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提产量和降低产品成本
应用领域：
教学示范，生物工程,IT产业检测，材料分析等领域。
2、针座和探针夹具（可选）
| 针座规格 | CB-80型 | CB-100型 | CB-40-T型 | CB-40型 |
| 尺寸 | 94mmW× 97mmD× 95mmH | 112mmW× 86mmD× 108mmH | 73mmW ×48mmD× 68mmH | 38mmW ×62mmD× 45mmH |
| 重量 | 680克 | 650克 | 300克 | 200 克 |
| 精度 | 0.7 Micron | 0.7 Micron | 2 Micron | 10 Micron |
| 牙具 | 100牙/寸 | 牙具100牙/寸 | 80牙/寸 | 40牙/寸 |
| X-Y-Z线性行程 | 13mm×13mm×13mm | 13mm×13mm×13mm | 13mm×13mm×13mm | 13mm×13mm×13mm |
●1/3寸CCD,44万像素
●535电视线的水平分辨率
●0.7Lux的低照度（F1.2，25%，AGC开启）
●50dB的信噪比（AGC OFF）
●内置10bit 数字图像处理器
Winfast XP100视频采集卡
●可选择的影像来源信号
可以提供不同的输入端子，使其能够连接不同的影像
输出设备，如录放影机、家庭摄影机、雷射光碟机、
影音光碟机及CCD摄影机，提供全方位的解决方案。
●可编辑剪接影像片段
可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉，并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或般的图形档，再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体，便可加入各种效与剪接编辑。
4、探针夹具
● 弹簧式
使用便利，可用于较短时间的大电流（过1安培）稳定性好，采用进口同轴线缆，精度漏电为10PA，输出BNC（male）接头
测量微弱电流用，同时可接压，采用进口triax线缆，前端管装屏蔽结构，漏电小于100FA，压可耐1000V（需要配合屏蔽箱）
美GGB
| 型号 | 针尖直径 | 针杆直径 | 针长 | 材质 | 根/盒 |
| 软针类:适用于集成电路内部线路点针 |
|||||
| T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬钨材质 | 5 |
| 0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上 | |||||
| T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬钨材质 | 5 |
| 0.7 微米针须焊接于镍质针杆上 | |||||
| 硬针类:适用于集成电路电极点针 |
|||||
| ST-20-0.5 | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬钨材质 | 5 |
| ST-20-1.0 | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬钨材质 | 5 |
| ST-20-2.0 | 5 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 5 |
| ST-20-5.0 | 10 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 5 |
| ST-20-10 | 20 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 5 |
规格：
●电压：AC220V
●流量：7L/min
●真空度：-60KPa
●质量：0.7Kg
功能
●提供真空动力源。
●配合 CHUCK上的真空吸附孔来固定样品。
●配合真空吸附型探针座，固定探针座。
点
●无油静音，别适合实验室和洁净室使用。
●7升/分钟，可24小时无间断运转。
7、防震桌：韩大DVIO系列
●尺寸：48”宽X36”长（120cm宽X90cm长）
●承重：200kg
小承重 @ 20 psi 大承重 @ 80 psi
垂直本征频率 1.9HZ 垂直本征频率 1.5Hz
防震效率@ 5Hz 70% 防震效率@ 5Hz 85%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
水平本振频率 2.2Hz 水平本振频率 1.2Hz
防震效率@ 5Hz 64% 防震效率@ 5Hz 91%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
8、屏蔽箱
CINDBEST CB-6
●尺寸：880mm宽x710mm长x1140mm
●屏蔽光线和电磁干扰。
●匹配探针台和防震桌设计。
●与探针夹具配合可将测试电信号的漏电精度达到100fa ，可抗2000V压。
●屏蔽箱上配备转接头，便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接。
●上掀式结构，节约空间，操作便捷。
●可根据客户需求定制。
9使用说明
CS-4探针台的使用说明：
1、将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
4、显微镜切换为倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。
5、待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。
6、确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。
1、将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
4、显微镜切换为倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。
5、待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。
6、确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。
10常见故障
CS-4探针台的常见故障：
当您使用本仪器时，可能会碰到些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。
当您使用本仪器时，可能会碰到些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。
| 症状 | 可能原因 | 解决方法 |
| 移动样品后画面变模糊 | 显微镜不垂直 | 调垂直显微镜 |
| 样品台不水平 | 调水平样品台 | |
| 样品不平 | ||
| 显微镜视场亮度不足，边缘切割或看不到像 | 转换器不在定位位置上 | 把转换器转到定位位置上 |
| 管镜转盘不在定位位置上 | 把管镜转盘转到定位位置上 | |
| 照明的亮度不足 | 调节光源亮度或者把孔径光栏孔调大 | |
| 没有装目镜 | 装上目镜 | |
| 没有装物镜 | 装上物镜 | |
| 显微镜像质变差 | 目镜脏 物镜脏 管镜脏 |
对目镜，物镜，管镜脏的地方进行清洁 |
| 孔径光栏关的太大或者太小 | 调节孔径光栏 | |
| 没有调好焦 | 调节调焦手轮 | |
| 样本上盖有盖玻片等介质 | 移开盖玻片等介质 | |
| 图像边清晰，边模糊 | 样本倾斜放置 | 放平样本，或者调节样品台水平 |
| 物镜没有旋紧 | 旋紧物镜 | |
| 眼睛容易疲劳 | 双目头的瞳距和操作者不匹配 | 调节双目头的瞳距 |
| 目镜视度调节不正确 | 调节目镜视度 | |
| 照明亮度不合适 | 调节光源亮度或者孔径光栏孔 |
11维护保养
CS-4探针台的维护保养：
1、避免碰撞
●在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。
2、仪器的运输
●仪器运输时，请先拔掉电源线插头。
●仪器运输应使用门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。
3、仪器的存放
●使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。
●探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。
●探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。
●停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.
●操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。
1、避免碰撞
●在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。
2、仪器的运输
●仪器运输时，请先拔掉电源线插头。
●仪器运输应使用门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。
3、仪器的存放
●使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。
●探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。
●探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。
●停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.
●操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。
12同类案例
CS-4探针台的同类案例：
清华大学材料系，厦门大学，华侨大学，南京邮电大学，成都电子科技大学，中科院半导体所，中科院苏州纳米研究院，世纪晶圆，方正微电子等数十客户。
清华大学材料系，厦门大学，华侨大学，南京邮电大学，成都电子科技大学，中科院半导体所，中科院苏州纳米研究院，世纪晶圆，方正微电子等数十客户。
13售后服务
CS-4探针台的售后服务：
15产品相册
17留言咨询(5分钟应答)
您留言咨询的信息，系统会以短信、邮件、微信三种方式同时通知客户。
14相关产品
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