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快讯:我司精密恒温加热台与国内高科技创新中心合作成功
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该中心在柔性电子相关的材料、传感、芯片、电路及算法等研究域处于 先水平。还牵头成立了浙江省柔性电子制造业创新中心,已形成了柔性电子技术体系化发展的格局。
通过国家重大任务牵引,承担大量国 家重大科研项目,攻关国家战略域关键技术来服务和支撑柔性电子技术行业的发展。
精密恒温加热台,恒温热板概述:
用于晶圆的单面烘烤,可用于预烘烤(Pre-bake),烘(soft bake),底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。热板温度稳定度高,重复性好。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。
精密恒温加热台,恒温热板技术性能:
加热面积尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm,多尺寸定制
控温范围:室温--200、300/400/500/600℃
温度分辨率 :0.1℃
温度波动度:≤±0.5℃
温度均匀性:≤±0.5/1℃
电源输入:AC220V 10A
加热功率:1500W
热板表面: 由硬质阳氧化铝制成
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