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parcannano单探针电子束光刻系统p-spl，扫描针尖低能电子场发射的原理、采用压阻式微纳米针尖和多维纳米定位与测量技术、在半导体器件材料表面制造尺寸小于5纳米线宽结构的高性能微纳加工系统。可在大气环境下，高经济效益、快速直写5纳米以下结构和制备纳米器件。该系统的闭环回路可实现使用同扫描探针对纳米结构的成像、定位、检测和操纵。
更新时间:2024-12-24
parcannano百及纳米工业型原子力显微镜，可集成大尺寸样品位移台、全自动光学导航系统和配套自动控制软件，可对大尺寸样品 进行全方位的光学成像定位，根据光学成像结果自动标定多个精确测量区域，并根据缺陷/待测结构的特点进行模式识别，智能选取原子力显微镜测量
更新时间:2024-12-24
parcannano 纳米精准定位的单离子注入系统 sii,基于新型扫描针尖精准定位的离子注入系统，实现有效控制注入半导体器件的杂质种类、数量和位置。可用于基于电离杂质诱导的量子点所构建的量子信息域，研制的设备可用于探索纳米结构器件、量子比特系统和量子信息处理器电路的开发。
更新时间:2024-12-24
德国nanoscrib 双光子微纳3d打印机quantum x,结合了灰度光刻机的卓越性能和纳米筛网创的双光子聚合技术的精确性和灵活性。该无掩模光刻系统实现了二维和2.5d的衍射和折射显微光学的快速制作。
更新时间:2024-12-24
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